一种微动台、工件台和光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种微动台、工件台和光刻装置，其中微动台包括微动盘，设置于微动盘一侧的电机，以及冷却装置；冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管设置于微动盘上。本实用新型专利技术实施例实现了对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种微动台、工件台和光刻装置
本技术涉及光刻机领域，尤其涉及一种微动台、工件台和光刻装置。
技术介绍
在半导体光刻设备中，工件台精密运动装置是极为重要的分系统，其定位精度直接影响光刻设备的性能。工件台精密定位通常采用粗动台和微动台结合的方式，由粗动台进行粗定位，由微动台最终完成精密定位。为了实现微动台的运动性能，微动台包括多个电机驱动微动台垂向或旋转运动，但是电机工作会产生热量使微动盘升温，当微动盘升温超出其升温指标时，微动盘产生的形变将影响微动台的定位精度，导致光刻机的性能降低。
技术实现思路
本技术提供了一种微动台、工件台和光刻装置，以实现对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。第一方面，本技术实施例提供了一种微动台，包括微动盘，设置于所述微动盘一侧的电机，以及冷却装置；所述微动盘为铝合金微动盘；所述冷却装置包括至少一个水冷管，所述水冷管设置于所述微动盘上。可选的，所述冷却装置还包括分水块和供水单元，所述分水块包括一个进水口、至少一个进水输出口、一个回水口和至少一个回水输入口；每一个所述水冷管的输入端均与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均与所述分水块的一个回水输入口连接；所述分水块的进水口与所述供水单元的供水口连接，所述分水块的回水口与所述供水单元的回水口连接。可选的，所述冷却装置还包括水冷板接头和快拧接头；所述水冷板接头设置于所述微动盘上，所述水冷板接头的一端与所述水冷管的输入端或输出端连接，所述水冷板接头的另一端与所述快拧接头连接；每一个所述水冷管的输入端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个回水输入口连接。可选的，所述冷却装置还包括开关球阀；所述开关球阀设置于每一个所述水冷管的输入端和与其连接的所述分水块的进水输出口之间，用于控制所述水冷管的冷却水输入量，以及设置于每一个所述水冷管的输出端和与其连接的所述分水块的回水输入口之间，用于控制所述水冷管的冷却回水输出量。可选的，所述冷却装置还包括流量计；所述流量计设置于每一个所述水冷管的输入端和与其连接的所述分水块的进水输出口之间，用于检测所述水冷管的冷却水输入量，以及设置于每一个所述水冷管的输出端和与其连接的所述分水块的回水输入口之间，用于检测所述水冷管的冷却回水输出量。可选的，所述水冷管设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，和/或所述水冷管设置于所述微动盘远离所述电机的一侧。可选的，还包括气浮和多个重力补偿器；所述气浮和所述重力补偿器均设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，且关于所述微动台重心匹配设置。可选的，所述微动盘上设置至少一个减重凹槽，所述减重凹槽用于减轻所述微动盘的重量。可选的，若所述水冷管设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，则所述微动盘上所述气浮、所述重力补偿器、所述电机和所述减重凹槽所占区域之外的其余区域均设置所述水冷管。可选的，所述微动盘上设置第一凹槽，所述水冷管设置于所述第一凹槽内。可选的，该微动台还包括盖板，所述盖板设置于所述水冷管远离所述微动盘的一侧；所述盖板靠近所述水冷管的一侧设置第二凹槽，所述第二凹槽和所述第一凹槽将所述水冷管卡合。可选的，所述水冷管为不锈钢水冷管。第二方面，本技术实施例还提供了一种工件台，包括上述任意实施例提供的微动台。第三方面，本技术实施例还提供了一种光刻装置，包括上述任意实施例提供的工件台。本技术实施例通过设置微动台包括冷却装置，冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管用于输送冷却水，水冷管设置于微动盘上，可实现对微动盘散热。本技术实施例解决了现有微动盘受热变形导致的微动台定位精度下降的问题，保证了微动盘满足其升温指标，提高了微动台的定位精度。附图说明图1为本技术实施例提供的一种微动台的俯视图；图2为图1中沿AA′方向的剖面图；图3为本技术实施例提供的另一种微动台的剖面图；图4为本技术实施例提供的又一种微动台的俯视图；图5为本技术实施例提供的又一种微动台的俯视图；图6为本技术实施例提供的一种工件台的结构示意图；图7为本技术实施例提供的一种光刻装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图1为本技术实施例提供的一种微动台的俯视图，参见图1，该微动台包括微动盘110，设置于微动盘110一侧的电机120，以及冷却装置；微动盘110为铝合金微动盘，冷却装置包括至少一个水冷管130，水冷管130设置于微动盘110上。其中，微动盘110受热会产生形变，为了保证微动台的定位精度，微动盘110需要满足其升温指标Δt。具体的，当微动盘110上的温度升高值t＜Δt时，微动盘110不会由于热形变影响微动台的定位精度，当微动盘110上的温度升高值t＞Δt时，微动盘110产生的热形变将导致微动台的定位精度降低，影响光刻机的性能。电机120设置于微动盘110的一侧，用于控制微动台运动，电机120工作会产生热量传递至微动盘110上，使微动盘110上的温度升高。可选的，电机120包括多个垂向电机和多个旋转电机，垂向电机用于控制微动台进行垂向运动，旋转电机用于控制微动台进行旋转运动。在图1中，示例性地，微动台包括6个电机120，其中，可选的，电机120可包括4个垂向电机和2个旋转电机，这仅是本技术的一个具体示例，而非对本技术的限制。需要说明的是，本技术实施例中所提到的电机120均为电机动子，电机动子需要和电机定子共同控制微动台实现垂向运动或旋转运动。微动盘110上设置至少一个水冷管130，冷却水从水冷管130的一端输入，输入的冷却水在水冷管130中与微动盘110进行热交换，完成热交换的冷却回水从水冷管130的另一端输出。需要说明的是，本实施例以水冷管130内流通冷却水为例进行说明，在其他实施方式中，还可以是其他流体，本技术不作具体限定。当微动台开始工作后，电机120产生热量，热量传递至微动盘110使微动盘110升温，由于微动盘110上设置至少一个水冷管130，水冷管130中有冷却水流通，因此水冷管130中流通的冷却水可以和微动盘110进行热交换降低微动盘上的温度，实现对微动盘110散热，使微动盘110满足其升温指标。本技术实施例通过设置微动台包括冷却装置，冷却装置包括至少一个水冷管130，水冷管130设置于微动盘110上，可实现对微动盘110散热。本技术实施例解决了现有微动台受热变形导致的定位精度下降的问题，保证了微动盘满足其升温指标，提高了微动台的定位精度。需要说明的是，图1中的水冷管130分布在微动盘110的两侧，通过这样的设置可以减小水冷管30对微动台运动的干扰，该排布方式仅是本技术的一个具体示例，在实际应用中，水冷管130的排布方式可根据实际情况进行选择，本技术对此不做限制。可选的，水冷管设置于微动盘与电机相同的一侧，和/或水冷管设置于微动盘远离所述电机的一侧。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微动台，其特征在于，包括微动盘，设置于所述微动盘一侧的电机，以及冷却装置；所述微动盘为铝合金微动盘；所述冷却装置包括至少一个水冷管，所述水冷管设置于所述微动盘上。

【技术特征摘要】
1.一种微动台，其特征在于，包括微动盘，设置于所述微动盘一侧的电机，以及冷却装置；所述微动盘为铝合金微动盘；所述冷却装置包括至少一个水冷管，所述水冷管设置于所述微动盘上。2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述冷却装置还包括分水块和供水单元，所述分水块包括一个进水口、至少一个进水输出口、一个回水口和至少一个回水输入口；每一个所述水冷管的输入端均与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均与所述分水块的一个回水输入口连接；所述分水块的进水口与所述供水单元的供水口连接，所述分水块的回水口与所述供水单元的回水口连接。3.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述冷却装置还包括水冷板接头和快拧接头；所述水冷板接头设置于所述微动盘上，所述水冷板接头的一端与所述水冷管的输入端或输出端连接，所述水冷板接头的另一端与所述快拧接头连接；每一个所述水冷管的输入端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个回水输入口连接。4.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述冷却装置还包括开关球阀；所述开关球阀设置于每一个所述水冷管的输入端和与其连接的所述分水块的进水输出口之间，用于控制所述水冷管的冷却水输入量，以及设置于每一个所述水冷管的输出端和与其连接的所述分水块的回水输入口之间，用于控制所述水冷管的冷却回水输出量。5.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述冷却装置还包括流量计；所述流量计设...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋光辉，魏银雷，宋兴龙，张飞，廖飞红，许伍，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31