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本实用新型实施例提供了一种微动台、工件台和光刻装置，其中微动台包括微动盘，设置于微动盘一侧的电机，以及冷却装置；冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管设置于微动盘上。本实用新型实施例实现了对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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