注入机传片报警装置制造方法及图纸

一种注入机传片报警装置，属于半导体元器件生产领域。注入机传片报警装置包括箱体、电路系统。箱体具有容纳空腔。电路系统设置于箱体的容纳空腔内。电路系统包括电路板以及匹配安装在电路板的电源、显示部分、报警部分、隔离部分。报警装置被配置来根据隔离部分反馈的注入机的原始报警信息通过显示部分显示相应的注入机的机台代码、并使报警部分发出声音报警。报警装置能够在减轻操作员劳动强度的同时更及时地处理注入机的报警信息。

【技术实现步骤摘要】
注入机传片报警装置
本技术涉及半导体元器件生产领域，具体而言，涉及一种注入机传片报警装置。
技术介绍
半导体元器件离子注入行业中，因工作环境、设备布局等原因，硅片在注入完结或传片报警时，操作人员无法及时发现处理，导致设备产能利用率低。为了提高设备利用率和生产效率，对员工的数量以及素质需要更高的要求，以应对多台设备的传片报警。若操作人员处理报警速度慢或发现报警不及时，将直接影响注入机的生产效率。由于350D/CF3000/NH-20S/CF5型注入机生产年代较早，设备没有远程监控的装置或远程监控装置失效，在实际生产活动中，操作人员不易及时发现操作区域较远的设备报警，为提高注入机生产效率以及产品质量，常规方法只能是增加操作人员的数量，虽然生产效率和产品质量得到了一定的保障，但需牺牲较多的人力资源。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
基于现有技术的不足，本技术提供了一种注入机传片报警装置，以便能够在一定程度上减少由于人员不充足而导致的人工操作报警处理慢、发现慢的情况，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。本技术是这样实现的：在本技术的第一方面，提供了一种注入机传片报警装置。注入机传片报警装置用于对多个注入机的传片过程进行集中化的告警。注入机传片报警装置包括：箱体，箱体被构造来提供支撑和固定的着力点以及容纳各种器件的空间，箱体由围壁构成，围壁限定容纳空腔，箱体设置有显示窗口；设置于箱体的容纳空腔内的电路系统，电路系统包括电路板以及匹配安装在电路板的电源部分、显示部分、报警部分、隔离部分；电源部分被配置来为显示部分、报警部分提供电能；显示部分被配置来分别对应匹配地显示多个注入机的机台代码；报警部分被配置来在注入机完成注入完结或传片动作异常时发出声音报警；隔离部分被配置来隔离注入机的电路和注入机传片报警装置的电路，以便将注入机的原始报警信息集中并对应向报警部分反馈；报警装置能够根据隔离部分反馈的注入机的原始报警信息通过显示部分显示相应的注入机的机台代码、并使报警部分发出声音报警。在其他的一个或多个示例中，显示部分为与多个注入机一一对应的指示灯，机台代码包括用于指示指示灯处于工作的具有点亮状态和处于非工作的熄灭状态，其中，点亮状态对应于相应的注入机完成注入完结或传片动作异常。在其他的一个或多个示例中，指示灯为LED灯。在其他的一个或多个示例中，显示部分为由透明数字码、小灯和灯筒组成，且显示部分能够在注入机完成注入完结或传片动作异常时对应显示注入机的代号。在其他的一个或多个示例中，电源采用开光电源作为供电电源。在其他的一个或多个示例中，电源采用市电作为供电电源，且以开关电源作为稳压器，开关电源被配置来将转变市电为注入机传片报警装置中的用电器件适用的稳定电源。在其他的一个或多个示例中，注入机传片报警装置还包括用于切断或恢复供电电源工作的电源开关。在其他的一个或多个示例中，报警部分设置是声音报警器，声音报警器为蜂鸣器。有益效果：本技术实施例提供的注入机传片报警装置能够使注入机的报警更加的集中化，从而便民操作员进行对应的操作，以提高注入机的工作效率、减少设备浪费和产品报废率。采用本技术提供的注入机传片报警装置，可以将原有的各个注入机单独进行报警的方式转变为集中在注入机传片报警装置进行报警提示。如此，操作员巡视各个注入机的工作量将被显著地降低，操作员的劳动强度降低。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例中的注入机传片报警装置的原理框图；图2示出了本技术实施例中的注入机传片报警装置的结构示意图；图3示出了本技术实施例中的注入机传片报警装置的电路原理图：图4示出了本技术实施例提供的注入机传片报警装置中的箱体的结构示意图。图标：21-保护电路；22-电源开关；23-交流电源输入接口；24-报警信号取样接口；25-LED灯；26-箱体；27-蜂鸣器；28-开关电源。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本技术中，在不矛盾或冲突的情况下，本技术的所有实施例、实施方式以及特征可以相互组合。在本技术中，常规的设备、装置、部件等，既可以商购，也可以根据本技术公开的内容自制。在本技术中，为了突出本技术的重点，对一些常规的操作和设备、装置、部件进行的省略，或仅作简单描述。在现有的半导体生产工艺中，通常会涉及到注入机的使用。而注入机的注入过程和传片过程通常需要被特别地注意和监控，以便半导体相应的处理工艺的正常进行。然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种注入机传片报警装置，用于对多个注入机的传片过程进行集中化告警，其特征在于，所述报警装置包括：箱体，所述箱体被构造来提供支撑和固定的着力点以及容纳各种器件的空间，所述箱体由围壁构成，所述围壁限定容纳空腔，所述箱体设置有显示窗口；设置于所述箱体的所述容纳空腔内的电路系统，所述电路系统包括电路板以及匹配安装在所述电路板的电源部分、显示部分、报警部分、隔离部分；所述电源部分被配置来为所述显示部分、所述报警部分提供电能；所述显示部分被配置来分别对应匹配地显示所述多个注入机的机台代码；所述报警部分被配置来在所述注入机完成注入完结或传片动作异常时发出声音报警；所述隔离部分被配置来隔离所述注入机的电路和所述注入机传片报警装置的电路，以便将所述注入机的原始报警信息集中并对应向所述报警部分反馈；所述报警装置能够根据所述隔离部分反馈的所述注入机的原始报警信息通过所述显示部分显示相应的所述注入机的机台代码、并使所述报警部分发出声音报警。

【技术特征摘要】
1.一种注入机传片报警装置，用于对多个注入机的传片过程进行集中化告警，其特征在于，所述报警装置包括：箱体，所述箱体被构造来提供支撑和固定的着力点以及容纳各种器件的空间，所述箱体由围壁构成，所述围壁限定容纳空腔，所述箱体设置有显示窗口；设置于所述箱体的所述容纳空腔内的电路系统，所述电路系统包括电路板以及匹配安装在所述电路板的电源部分、显示部分、报警部分、隔离部分；所述电源部分被配置来为所述显示部分、所述报警部分提供电能；所述显示部分被配置来分别对应匹配地显示所述多个注入机的机台代码；所述报警部分被配置来在所述注入机完成注入完结或传片动作异常时发出声音报警；所述隔离部分被配置来隔离所述注入机的电路和所述注入机传片报警装置的电路，以便将所述注入机的原始报警信息集中并对应向所述报警部分反馈；所述报警装置能够根据所述隔离部分反馈的所述注入机的原始报警信息通过所述显示部分显示相应的所述注入机的机台代码、并使所述报警部分发出声音报警。2.根据权利要求1所述的注入机传片报警装置，其特征在于，所述显示部分为与所述多个注入机一一对应的指示...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东平，王维阳，马龙，李延群，白国强，奚志友，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22