一种蒸发源装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸发源装置，所述蒸发源装置包括真空腔室以及蒸发源切换装置，所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构，通过将蒸发源设计为具有独立真空系统的多个独立蒸发源，并采用机械传动装置切换蒸发源的方法，省去现有技术中开腔给蒸发源加料、抽真空、升温加热的工艺流程，实现了蒸镀可持续生产，大幅降低蒸镀填料对生产的影响，进而缩短生产周期，提高设备生产率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸发源装置。
技术介绍
相较于现有的液晶显示技术，OLED显示技术具有色域广、对比度高、节能以及轻薄的优点，在智能手机、平板电脑、智能手表等移动智能设备中逐渐取代传统的显示器。OLED显示屏在进行有机发光层制备时，通常需采用真空蒸镀工艺，即在真空腔室内，通过蒸发源产生高温，将膜材料加热并使之气化，镀到玻璃基片上。在传统的蒸镀工艺中，因为蒸发源的容积有限，在消耗蒸发源内的有机材料后需要将蒸镀设备开腔，向坩埚内添加有机材料，再更换晶振、内衬，再进行抽真空、升温等，导致生产的周期变长，严重影响设备的产能。综上所述，现有技术的蒸发源生产周期长、设备产能较低。故，有必要提供一种可持续生产蒸发源装置，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种蒸发源装置，用于解决现有技术生产周期长、设备产能低的技术问题。本专利技术提供的一种蒸发源装置，包括：真空腔室以及蒸发源切换装置；所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀、以及设置于所述腔体侧壁上的破真空管路和抽真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于传送所述蒸发源的传动机构。根据本专利技术一优选实施例，所述真空腔室还包括用于添加蒸发源材料的填料管路。根据本专利技术一优选实施例，所述真空腔室侧壁上设有用于开启和闭合所述真空腔室的门体组件。根据本专利技术一优选实施例，所述门体组件包括闸板阀。根据本专利技术一优选实施例，所述传动机构包括：伺服电机、同步带，所述蒸发源载盘安装在所述同步带上。根据本专利技术一优选实施例，所述同步带呈环形分布。根据本专利技术一优选实施例，所述传动机构包括：伺服电机、同步带以及升降台，所述蒸发源载盘安装在所述同步带上。根据本专利技术一优选实施例，所述同步带呈直线型分布，包括相对平行设置的第一同步带和第二同步带。根据本专利技术一优选实施例，所述第一同步带设置于所述真空腔室顶部，第二同步带设置于所述真空腔室内，所述升降台设置于所述同步带两侧。根据本专利技术一优选实施例，所述蒸发源载盘上形成有与所述蒸发源底部相互配合的凹槽。本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的一种的蒸发源装置，将蒸发源设计为具有独立真空系统的多个独立蒸发源，相对现有技术，省去开腔加料的工艺流程，实现了蒸镀可持续生产，大幅降低蒸镀填料对生产的影响，进而缩短生产周期，提高设备生产率。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的蒸镀装置的结构示意图。图2为本专利技术提供的蒸镀装置实施例一的结构示意图；图3为本专利技术提供的蒸镀装置实施例二的结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术提供的蒸发源装置，如图1所述，包括：腔体106，腔体106上的真空阀104以及设置于腔体106上的真空管路105，上述部件形成具有独立真空系统的真空腔室。蒸发源107内设有加热装置，用以加热蒸发源材料，实现蒸镀。在进行蒸发源107和蒸发源108的切换时，通过真空管路105从腔体106内抽出气体，切换至与主腔室一致的真空环境，通过传送装置，实现蒸发源的切换。切换至真空腔室外的蒸发源通过传送装置运送到指定的蒸镀位置，通过加热蒸发源107，使蒸发源107内的蒸镀材料气化，蒸镀到玻璃基板102上。所述真空腔室设置于主腔室101内，通过主腔室真空管路103控制腔体内的真空环境。实施例一：本实施例提供的蒸发源装置，包括：同步带206，设置于所述同步带206上的蒸发源载台204，以及设置于所述同步带206上的具有独立真空系统的真空腔室。所述真空腔室包括:腔体201，设置于所述腔体201上的真空阀202，破真空管路203、和抽真空管路209构成蒸发源装置的真空管路，填料管路208以及设置于腔体201侧壁上的门体组件207。具体地，所述蒸镀蒸发源装置切换的过程为：蒸发源装置的抽真空管路209将腔体201内的空气抽出，形成与主腔室环境一致的真空环境；设置于腔体两侧的门体组件207打开，同步带206通过控制装置启动，带动位于传动带上的蒸发源载台204和蒸发源205；当蒸镀材料使用完的蒸发源205传送到指定位置，门体组件207关闭，破真空管路203向腔体201内注入空气，形成与外界一致的气压环境，填料管路向蒸发源内填充蒸镀材料，已装有蒸镀材料的蒸发源则被运动到指定的蒸镀区域，进行加热，使蒸镀材料蒸镀到玻璃基板上。本实施例中的门体组件207包括闸板阀，闸板阀可以实现打开和关闭腔体201的功能。此外，门体组件207也可以采用其他能够自动打开或者关闭的机械组件来实现。例如，包括驱动装置、传动装置及门体。本实施例中的同步带206设置为环形，同步带206中间设置有导轨，蒸发源载台204通过伺服电机带动沿导轨滑动，同步带用于运送蒸发源进行蒸镀、填料等不同的工艺流程。此外，所述主腔室的体积应大于所述蒸发源装置的体积，以便蒸发源装置设置于主腔室内；蒸发源的数量应至少为2个，以保证蒸发源的持续生产。实施例二：本实施例所提供的蒸发源装置，采用了实施例一所提供的真空腔室，区别在于采用的蒸发源切换装置不同。本实施例提供的蒸发源切换装置包括：相对平行设置的第一同步带309和第二同步带304，以及设置于所述同步带上的蒸发源载台311，设置于所述同步带两侧的第一升降台301和第二升降台308。具体地，本实施例提供的蒸发源切换过程为：抽真空管路306和真空阀307工作，将腔体305内的气体抽出，形成与主腔室一致的真空环境；设置于腔体305侧壁的门体组件302打开；利用伺服电机带动第一同步带309将蒸镀材料使用完的蒸发源310运送到第一升降台301上；第一升降台301在竖直方向上，将蒸发源310运送到位于下方的第二升降台304右侧；于此同时，位于左侧的第二升降台308则将填充好蒸镀材料的蒸发源310运送到位于上方的第一同步带309左侧；蒸发源310运送到腔体305后，门体组件302关闭，破真空管路303向腔体305内注入气体，形成与外界一致的气压环境，然后通过填料管路给蒸发源310填充蒸镀材料。具体地，第一同步带309和第二同步带304均为直线型，第一同步带设置309设置于腔体305上方，第二同步带304设置于腔体305内。本专利技术通过将蒸发源设计为具有独立真空系统的多个独立蒸发源，并采用机械传动装置切换蒸发源的方法，省去现有技术中开腔给蒸发源加料、抽真空、升温加热的工艺流程，实现了蒸镀可持续生产，大幅降低蒸镀填料对生产的影响，进而缩短生产周期，提高设备生产率。综上所述，虽然本专利技术已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本专利技术，本领域的普通技术人员，在不脱离本专利技术的精神本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发源装置包括：真空腔室以及蒸发源切换装置；所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀、以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发源装置包括：真空腔室以及蒸发源切换装置；所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀、以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构。2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述真空腔室还包括用于添加蒸发源材料的填料管路。3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：所述真空腔室上设有用于开启和闭合所述真空腔室的门体组件。4.如权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于：所述门体组件包括闸板阀。5.如权利要求1所述的蒸发源装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44