角度板组件及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种角度板组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。该角度板组件包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

【技术实现步骤摘要】
角度板组件及蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种角度板组件及蒸镀装置。
技术介绍
在高真空蒸镀系统中，放置在蒸镀容器(如坩埚)中的蒸镀材料经气化或升华后，通过喷嘴将蒸镀材料喷出；喷嘴周围设置有用于限定蒸镀材料从喷嘴喷射出的运行方向和蒸镀区域的角度板，以使得蒸镀材料蒸镀到基板(如玻璃)上的相应区域内。在现有技术中，角度板通常是通过紧固件(如螺丝)固定在蒸镀容器上，安装操作较为麻烦；并且，完成蒸镀工艺后，还需要对角度板进行清洗，通过紧固件固定的方式也不便于角度板的拆卸操作。
技术实现思路
鉴于此，为解决现有技术的问题，本专利技术的实施例提供一种角度板组件及蒸镀装置，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例提供了一种角度板组件，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。可选的，所述喷嘴套由导热材料制成。可选的，所述角度板由导热材料制成。可选的，所述角度板表面光滑。可选的，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀装置，包括具有喷嘴的蒸镀源；还包括：上述任一项所述的角度板组件。可选的，所述蒸镀源包括：第一蒸镀源；所述第一蒸镀源包括：第一蒸镀容器；盖设在所述第一蒸镀容器的开口上的第一盖体；其中，所述第一盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第一喷嘴；每个第一喷嘴垂直于所述第一盖体设置；所述角度板组件包括：第一角度板组件；所述第一角度板组件包括：用于套设在每个所述第一喷嘴上的第一喷嘴套；与每个第一喷嘴套连接的第一角度板；其中，所述第一角度板包括：位于所述多个第一喷嘴套排列方向两侧的第一角度板主体，连接所述第一角度板主体与每个第一喷嘴套的第一连接部；所述第一角度板主体垂直于所述第一盖体设置。可选的，所述多个第一喷嘴套中的至少一个与所述第一盖体相接触，且与所述第一盖体相接触的所述第一喷嘴套由导热材料制成。可选的，所述蒸镀源还包括：设置在所述第一蒸镀源两侧中的至少一侧处的第二蒸镀源；所述第二蒸镀源包括：与所述第一蒸镀容器并排设置的第二蒸镀容器；盖设在所述第二蒸镀容器的开口上的第二盖体；其中，所述第二盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第二喷嘴；每个第二喷嘴均朝向所述第一喷嘴倾斜设置；所述角度板组件还包括：第二角度板组件；所述第二角度板组件包括：用于套设在每个所述第二喷嘴上的第二喷嘴套；与每个第二喷嘴套连接的第二角度板；其中，所述第二角度板包括：位于所述多个第二喷嘴套远离所述第一角度板主体一侧的第二角度板主体，连接所述第二角度板主体与每个第二喷嘴套的第二连接部；所述第二角度板主体垂直于所述第二盖体设置。可选的，所述多个第二喷嘴套中的至少一个与所述第二盖体相接触，且与所述第二盖体相接触的所述第二喷嘴套由导热材料制成。基于此，通过本专利技术实施例提供的上述角度板组件，通过在喷嘴套上加装角度板，使得喷嘴套与角度板成为一体结构，这样，将喷嘴套套设在蒸镀源的喷嘴上后，从喷嘴喷出的气化或升华后的蒸镀材料接触到角度板进行改变方向，以蒸镀到基板的设定区域内，无需再通过例如螺丝等紧固件将角度板固定在蒸镀源(如坩埚)上，显著简化了角度板的安装、拆卸等操作过程，提高操作人员的工作效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为相关技术提供的一种角度板安装在坩埚上的俯视结构示意图；图2为图1中A-A'方向的截面结构示意图；图3A为本专利技术一些实施例提供的一种角度板组件的结构示意图；图3B为本专利技术一些实施例提供的另一种角度板组件的结构示意图；图3C为本专利技术一些实施例提供的再一种角度板组件的结构示意图；图4为相关技术提供的一种坩埚的侧面结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置安装前后的结构示意图；图6为采用本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置进行蒸镀工艺的示意图；图7为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的拆分结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的另一种蒸镀装置的拆分结构示意图；图9为图8所示的蒸镀装置的侧面结构示意图。附图标记：10-坩埚；101-坩埚主体；101a-顶部；101b-底部；102-盖体；11-喷嘴；110-出口；11a-第一喷嘴；11b-第二喷嘴；12-角度板；13/13'-紧固件；02-角度板组件；20-喷嘴套；21-角度板；02a-第一角度板组件；20a-第一喷嘴套；21a-第一角度板；210a-第一角度板主体；211a-第一连接部；02b-第二角度板组件；20b-第二喷嘴套；21b-第二角度板；210b-第二角度板主体；211b-第二连接部；03-蒸镀装置；30-蒸镀源；04-待蒸镀的基板；31-第一蒸镀源；310-第一蒸镀容器；311-第一盖体；3110-上表面；32-第二蒸镀源；320-第二蒸镀容器；321-第二盖体。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在相关技术中，如图1和图2所示，一种示例的角度板的设置方式为：三个并列放置的条状(或称为线性)坩埚10上均设置一排喷嘴11，中间一排喷嘴11垂直于坩埚10设置，这种垂直设置的喷嘴11通常称为Dopant(掺杂)喷嘴，喷射的蒸镀材料通常为掺杂材料；位于中间一排喷嘴11两侧的喷嘴11分别朝向中间倾斜设置，这种倾斜设置的喷嘴11通常称为Host(主)喷嘴，喷射的蒸镀材料通常为主材料。角度板12通过紧固件13(“紧固件13”仅在图2中示意出)固定在每排喷嘴11的两侧，以对蒸镀材料从喷嘴11喷射出的运行方向和蒸镀区域进行限定。这种通过紧固件13(例如为螺丝)固定角度板12的方式，对角度板12的安装、拆卸都会产生不便，难以实现角度板12方便、快捷地安装、拆卸。因此，本专利技术实施例一方面提供了一种角度板组件02，如图3A至图3C所示，该角度板组件02应用于具有喷嘴的蒸镀源；该角度板组件02包括：用于套设在喷嘴上的喷嘴套20，且喷嘴套20露出喷嘴的出口；与喷嘴套20连接的角度板21。需要说明的是，本专利技术实施例对喷嘴套20的数量、形状不作限定，图3A至图3C仅以一个喷嘴套20、且该喷嘴套20呈管状为例进行示意，只要能够套设在喷嘴上、且露出喷嘴的出口即可；其数量等于蒸镀源上的喷嘴数量即可。这里，图3A示意出的喷嘴套20为竖直管状结构，用于套设在竖直的管状喷嘴上；图3B本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种角度板组件，其特征在于，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

【技术特征摘要】
1.一种角度板组件，其特征在于，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。2.根据权利要求1所述的角度板组件，其特征在于，所述喷嘴套由导热材料制成。3.根据权利要求2所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板由导热材料制成。4.根据权利要求3所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板表面光滑。5.根据权利要求2或3所述的角度板组件，其特征在于，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。6.一种蒸镀装置，包括具有喷嘴的蒸镀源；其特征在于，还包括：如权利要求1至5任一项所述的角度板组件。7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源包括：第一蒸镀源；所述第一蒸镀源包括：第一蒸镀容器；盖设在所述第一蒸镀容器的开口上的第一盖体；其中，所述第一盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第一喷嘴；每个第一喷嘴垂直于所述第一盖体设置；所述角度板组件包括：第一角度板组件；所述第一角度板组件包括：用于套设在每个所述第一喷嘴上的第一喷嘴套；与每个第一喷嘴套连接的第一角度板；其中，所述第一角度板包括：位于所述多个第一喷嘴套排列方向两侧的第一角度板主体，连接所述第一角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾晓晨，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11