角度板组件及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种角度板组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。该角度板组件包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

【技术实现步骤摘要】
角度板组件及蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种角度板组件及蒸镀装置。
技术介绍
在高真空蒸镀系统中，放置在蒸镀容器(如坩埚)中的蒸镀材料经气化或升华后，通过喷嘴将蒸镀材料喷出；喷嘴周围设置有用于限定蒸镀材料从喷嘴喷射出的运行方向和蒸镀区域的角度板，以使得蒸镀材料蒸镀到基板(如玻璃)上的相应区域内。在现有技术中，角度板通常是通过紧固件(如螺丝)固定在蒸镀容器上，安装操作较为麻烦；并且，完成蒸镀工艺后，还需要对角度板进行清洗，通过紧固件固定的方式也不便于角度板的拆卸操作。
技术实现思路
鉴于此，为解决现有技术的问题，本专利技术的实施例提供一种角度板组件及蒸镀装置，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例提供了一种角度板组件，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。可选的，所述喷嘴套由导热材料制成。可选的，所述角度板由导热材料制成。可选的，所述角度板表面光滑。可选的，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种角度板组件，其特征在于，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

【技术特征摘要】
1.一种角度板组件，其特征在于，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。2.根据权利要求1所述的角度板组件，其特征在于，所述喷嘴套由导热材料制成。3.根据权利要求2所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板由导热材料制成。4.根据权利要求3所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板表面光滑。5.根据权利要求2或3所述的角度板组件，其特征在于，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。6.一种蒸镀装置，包括具有喷嘴的蒸镀源；其特征在于，还包括：如权利要求1至5任一项所述的角度板组件。7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源包括：第一蒸镀源；所述第一蒸镀源包括：第一蒸镀容器；盖设在所述第一蒸镀容器的开口上的第一盖体；其中，所述第一盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第一喷嘴；每个第一喷嘴垂直于所述第一盖体设置；所述角度板组件包括：第一角度板组件；所述第一角度板组件包括：用于套设在每个所述第一喷嘴上的第一喷嘴套；与每个第一喷嘴套连接的第一角度板；其中，所述第一角度板包括：位于所述多个第一喷嘴套排列方向两侧的第一角度板主体，连接所述第一角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾晓晨，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11