炉管清洗机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种炉管清洗机构，用以清洗工业生产中使用的炉管。炉管清洗机构具有一清洗槽，清洗槽用以放置炉管及炉管转动机构。炉管清洗机构具有一炉管转动机构，炉管转动机构包含炉口半密封机构、炉管驱动轴以及炉管驱动滚轮。炉管清洗机构通过炉口半密封机构对炉管两端炉口的半密封，使得炉管清洗药剂只需覆盖炉管内壁，避免清洗药剂与炉管外壁接触造成炉管壁厚厚度的损失，延长炉管的使用寿命，并节省了清洗药剂的使用量；炉管清洗机构的底部装有炉管驱动轴及炉管驱动滚轮，将炉管放置在驱动滚轴上，转动炉管驱动滚轴，使炉管随滚轴一起转动，增强炉管内部的清洗效率，达到不断循环清洗的效果，减少炉管清洗周期，从而延长炉管的使用寿命。

Cleaning mechanism of furnace tube

The utility model provides a furnace tube cleaning mechanism for cleaning furnace tubes used in industrial production. The furnace tube cleaning mechanism has a cleaning groove for placing the furnace tube and the rotating mechanism of the furnace tube. The furnace tube cleaning mechanism has a furnace tube rotating mechanism. The furnace tube rotating mechanism comprises a furnace mouth semi-sealing mechanism, a furnace tube driving shaft and a furnace tube driving roller. The furnace tube cleaning mechanism can semi-seal the furnace mouth at both ends of the furnace tube through the furnace mouth semi-sealing mechanism, so that the cleaning agent of the furnace tube only covers the inner wall of the furnace tube, avoiding the loss of the thickness of the furnace tube wall caused by the contact between the cleaning agent and the outer wall of the furnace tube, prolonging the service life of the furnace tube, and saving the use of cleaning agent. The bottom is equipped with the driving shaft of the furnace tube and the driving roller of the furnace tube. The furnace tube is placed on the driving roller, and the driving roller of the furnace tube is rotated to make the furnace tube rotate with the roller, so as to enhance the cleaning efficiency of the inner part of the furnace tube, achieve the effect of continuous cycle cleaning, reduce the cleaning cycle of the furnace tube, and prolong the service life of the furnace tube.

【技术实现步骤摘要】
炉管清洗机构
本技术与炉管清洗工艺装置有关；具体设计一种用于清洗炉管的清洗机构。
技术介绍
炉管在各个工业生产过程中被广泛使用，是工业生产过程中不可或缺的一个生产部件，但炉管在生产使用过程中都会随使用产生一些表面玷污、应力聚集等问题，因此要通过清洗来进行解决。目前采用的清洗方式都是将炉管浸泡在药剂清洗槽体中浸泡清洗，工作效率低，清洗时间长，清洗药剂使用寿命短，清洗效果差，最主要的是炉管内外壁会同时被清洗，而真正要清洗的为接触产品的炉管内壁，外壁的清洗是对炉管不必要的损伤，导致药剂使用增加，炉管寿命降低等，导致不必要的浪费。如何延长生产产品治具的寿命和提高工作效率，以降低生产过程中所产生的损失，是各家厂商所追求的目标之一。
技术实现思路
为了改善上述情况，本技术的目的在于提供一种炉管清洗机构，可以有效的降低清洗药剂的使用，并且提高炉管的清洗效率，减少炉管壁厚的损失，延长炉管的使用寿命。本技术所采用的技术方案：炉管清洗机构为了降低炉管的清洗时间，减少清洗对外壁的损伤，炉管清洗机构通过所述装置两侧的炉口半密封装置，使两侧炉管处于半封闭状态；通过管路将清洗药液注入管内；将需清洗的炉管放置在炉管驱动滚轴上面，转动炉管驱动滚轴，使炉管随驱动滚轴一起转动，此状态下仅需少量药液在内壁进行清洗以便达到最佳的清洗效果，同时避免炉管外壁的清洗损伤，提高了炉管的清洗效率并改善炉管的清洗效果，进而缩短炉管的清洗时间，缩短炉管的清洗周期，减少炉管壁厚的损失，最终可延长炉管的使用寿命。本技术所采用的技术方案：炉管清洗机构有清洗槽，有转动机构；有药剂注入机构；本技术所采用的技术方案：为了减少炉管壁厚的损失，将炉管口进行半封闭，将需清洗的炉管放置在转动机构上，炉管随转动机构一起转动，从而均匀的清洗炉管内壁；避免炉管壁厚的损失；本技术所采用的技术方案：为了减少药剂的使用，将炉管口进行半封闭，清洗药剂只需要覆盖内壁，避免炉管整体浸泡在清洗药剂中，造成药剂的大量使用；基于上述，本技术的有点与特点是该炉管清洗机构可通过对两端炉口进行半封闭，增强炉管内部的清洗效率；减少药液的使用量；避免炉管外壁清洗导致的损伤；本技术的炉管清洗机构效果在于解决了现有炉管清洗中的设备利用率较低，炉管清洗对外壁的损伤导致炉管使用寿命降低及炉管清洗效果差等问题；同时还具有减少清洗药剂的使用量的有点。附图说明图1为炉管清洗机密封机构的正视图。图2为炉管清洗机密封机构的俯视图。附图标号说明：1管驱动滚轮2炉管驱动滚轴3清洗槽4喇叭槽口5炉口半密封机构6炉管7.药剂添加管路具体实施方式半导体工艺设备中，一般会使用各种炉管作为反应室，当炉管使用时间较长时，反应室内会积累一层附着物，造成生产中的颗粒污染，尤其对于热壁式的化学气相沉积炉管，这一污染问题尤为严重。因而在生产过程中每隔一段时间，就需要对各炉管进行清洁处理，一般采用浸泡清洗的方式，以减少对生产的影响。对炉管进行清洗时，先将脏的炉管从设备中取出，将其浸泡在药液中浸泡以腐蚀炉管壁上的累积附着物。浸泡的过程中整个炉管都会被药液腐蚀，清洗完成后。排掉药液，再使用大量离子水对该炉管进行冲洗，并烘干待用，在这一清洗过程中，浸泡清洗使用时间长，炉管往往浸泡在清洗槽底部，清洗药剂会腐蚀炉管的外壁，且清洗效果不强，影响药剂和炉管的使用寿命。本技术结合工艺需要，对现有炉管的清洗方式进行改进，通过炉管清洗机构，半密封炉管的状态下再转动炉管进行清洗。下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。所述炉管清洗机构包括炉管驱动滚轮、炉管驱动滚轴及清洗槽；所述炉管清洗机构侧面有炉口半密封机构；炉管清洗机构有一清洗槽3，清洗槽3用以放置炉管驱动滚轮1、炉管驱动滚轴2及炉管6；清洗不需要控制药剂流量，清洗药剂液位，不会腐蚀炉管外壁。将炉管6放在炉管驱动滚轴2上面，使炉管随炉管驱动滚轮1一起转动，药剂通过两侧药剂添加管路7从喇叭槽口4注入，多余的部分会从半密封机构5溢出回流；既保持了清洗药剂的循环更新又避免了清洗药剂直接腐蚀外壁，清洗炉管更顺利，亦可提高其使用寿命，缩短炉管的清洗周期。本技术的炉管清洗机构结合现有工艺需要，解决了现有炉管清洗中的设备利用率低的问题，同时还具有减少清洗药剂的使用量的有点，提高清洗炉管的效率并延长药剂和炉管的使用寿命，炉管清洗效果更佳。炉管清洗机构比较稳定，故障率低，比原先的清洗方式缩短一半的周期。炉管寿命提高了60％。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉管清洗机构，用以清洗炉管，所述炉管清洗机构包括：一炉管清洗机构，具有一清洗槽；一炉管转动机构，具有一炉口半密封机构、炉管驱动滚轴以及炉管驱动滚轮；其特征在于，所述炉管清洗机构具有一清洗槽，用以放置炉管及清洗药剂；所述炉管转动机构两侧具有炉口半密封机构，用以密封炉管两侧；所述炉管放置在炉管转动机构上方，用以转动炉管；所述炉管转动机构包含炉管驱动滚轴及炉管驱动滚轮，用以驱动炉管转动。

【技术特征摘要】
1.一种炉管清洗机构，用以清洗炉管，所述炉管清洗机构包括：一炉管清洗机构，具有一清洗槽；一炉管转动机构，具有一炉口半密封机构、炉管驱动滚轴以及炉管驱动滚轮；其特征在于，所述炉管清洗机构具有一清洗槽，用以放置炉管及清洗药剂；所述炉管转动机构两侧具有炉口半密封机构，用以密封炉管两侧；所述炉管放置在炉管转动机构上方，用以转动炉管；所述炉管转动机构包含炉管驱动滚轴及炉管驱动滚轮，用以驱动炉管转动。2.如权利要求1所述的炉管清洗机构，其特征在于，所述炉管清洗机构具有一清洗槽，放置炉管转动机构及炉管。3.如权利要求1所述的炉管清洗机构，其特征在于，所述清洗槽底部具有炉管驱动滚轴，将炉管放置在炉管驱动滚轴上，从而带动炉管转动清洗。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：李汉生，蔡雪良，黄建光，潘涛，
申请(专利权)人：昆山中辰矽晶有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32