一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆流片加工生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其可以降低安全隐患，提高硅晶柱切割过程中的稳定性，提高切割精度，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性；包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带、金刚石切割片、左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮、两组锁紧螺栓、上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，后侧板的中部的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽。

A Cutting Device for Wafer Etching Equipment

The invention relates to the technical field of the auxiliary device for wafer wafer processing and production, in particular to a cutting device used for wafer etching equipment, which can reduce the potential safety hazards, improve the stability in the cutting process of silicon crystal column, improve the cutting accuracy, improve the cutting effect and reduce the limitation of use, and drive belt is long. During the use of time, the relaxed driving belt can be tensioned and adjusted to improve the transmission effect and reliability, including the operating plate, four groups of legs, rear side plate, cutting motor, driving belt, diamond cutting piece, left limit plate, right limit plate, left slide plate, right slide plate, top plate, adjusting lead screw and driving. Motors, two groups of left upper guide wheels, two groups of left lower guide wheels, two groups of right upper guide wheels, two groups of right lower guide wheels, two groups of locking bolts, upper fixing plate, lower fixing plate, left fixing plate, right fixing plate, threaded pipe, screw rod, adjusting plate and tension wheel, the left side and right side of the middle of the rear plate are longitudinally provided with swallow tail sliding grooves.

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置
本专利技术涉及晶圆流片加工生产附属装置的
，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置。
技术介绍
众所周知，晶圆是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，用于晶圆刻蚀设备的切割装置是一种对硅晶柱进行切割，以便于更好的加工获得硅片的辅助装置，其在晶圆流片加工生产的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带和金刚石切割片，后侧板的底端与操作板的顶端后侧连接，并且四组支腿的顶端分别与操作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机安装在后侧板的后端右侧中部，并且切割电机的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板的后端穿过后侧板的内部并伸出至后侧板的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置使用时，首先将待切割的硅晶柱放置在操作板上，然后将切割电机与外部电源接通，打开切割电机，通过切割电机的转动，带动皮带主动轮的转动，通过传动皮带的传动，带动金刚石切割片转动，然后人工拿住待切割的硅晶柱，向上移动，使用旋转的金刚石切割片对其进行切割即可；现有的用于晶圆刻蚀设备的切割装置使用中发现，人工手拿硅晶柱向上切割，存在安全隐患，同时由于人手的稳定性较差，切割精度较低，且由于金刚石切割片的切割直径较小，在硅晶柱向上移动过程中，不能将硅晶柱一次性切割，导致切割效果较差，使用局限性较高；并且传动皮带在长时间使用过程中，受外界因素容易发生松弛，导致传动效果较差，使用可靠性较低。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种降低安全隐患，提高硅晶柱在上升移动切割过程中的稳定性，提高切割精度，解决因金刚石切割片切割直径较小不能将硅晶柱一次性切割的问题，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性的用于晶圆刻蚀设备的切割装置。本专利技术的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带和金刚石切割片，后侧板的底端与操作板的顶端后侧连接，并且四组支腿的顶端分别与操作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机安装在后侧板的后端右侧中部，并且切割电机的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板的后端穿过后侧板的内部并伸出至后侧板的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；包括左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓，所述左限位板和右限位板的底端分别与所述操作板顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，所述左滑板的左端与所述左限位板的右端可滑动接触，并且所述左滑板包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触，并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，所述顶板的左端与左滑板的右端下侧连接，顶板的右端与右滑板的左端下侧连接，所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，所述两组锁紧螺栓的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，所述两组左上导轮分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，所述带动电机的底端安装在顶板的顶端中部，并且带动电机的前部输出端设置有带动胶轮，所述操作板的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且所述螺纹通孔位于左限位板和右限位板的中部，所述调节丝杠的顶端自操作板的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板的顶端外界与所述顶板的底端中部接触，调节丝杠的底端同心设置有第一手轮；还包括上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，所述后侧板的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且所述调节板后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，所述两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且所述下固定板的底端与所述后侧板的顶端中部连接，所述左固定板和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板和右固定板的顶端分别与所述上固定板底端的左侧和右侧连接，所述上固定板和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述螺纹管的底端自上固定板的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管圆周外壁的上侧和下侧固定连接，所述螺纹杆的顶端插入并螺装至螺纹管的底端内部，并且螺纹杆的底端与所述调节板的顶端中部连接，螺纹管的顶端同心连接设置有第二手轮，所述张紧轮的后端设置有张紧轴，并且调节板的前端中部设置有右固定槽，并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承，所述张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，所述张紧轮的顶端与所述传动皮带的内圈上侧可滚动接触。本专利技术的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括安装螺杆和旋转盘，所述支撑轴的前端同心设置有安装轴，并且所述安装轴的直径小于所述支撑轴的直径，安装轴的前端设置有安装螺纹孔，并且所述金刚石切割片套设在所述安装轴上，并且所述旋转盘的后端与所述安装螺杆的前端同心连接，旋转盘后端的上侧、下侧、左侧和右侧均设置有防滑胶块，并且所述安装螺栓的后端插入并螺装至安装螺纹孔的前端内部，并且所述四组防滑胶块的后端均与所述金刚石切割片的前端锁紧接触。本专利技术的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，所述旋转盘的前端内接于圆设置有内六角固定槽。本专利技术的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，还包括左锁紧板、右锁紧板、左锁紧螺栓和右锁紧螺栓，所述左锁紧板的右端与所述调节板的左端连接，并且所述右锁紧板的左端与调节板的右端连接，左锁紧板和右锁紧板的后端均与所述后侧板的前端可滑动接触，并且所述左锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的左条形通槽，并且所述右锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的右条形通槽，所述后侧板的前端的左侧和右侧分别对应设置有左锁紧螺纹通孔和右锁紧螺纹通孔，所述左锁紧螺栓的后端穿过左条形通槽内部插入并螺装至左锁紧螺纹通孔内部，并且右本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板（1）、四组支腿（2）、后侧板（3）、切割电机（4）、传动皮带（5）和金刚石切割片（6），后侧板（3）的底端与操作板（1）的顶端后侧连接，并且四组支腿（2）的顶端分别与操作板（1）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机（4）安装在后侧板（3）的后端右侧中部，并且切割电机（4）的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板（3）的后端穿过后侧板（3）的内部并伸出至后侧板（3）的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板（3）的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片（6）的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带（5）分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；其特征在于，包括左限位板（7）、右限位板、左滑板（8）、右滑板、顶板（9）、调节丝杠（10）、带动电机（11）、两组左上导轮（12）、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓（13），所述左限位板（7）和右限位板的底端分别与所述操作板（1）顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板（7）的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，所述左滑板（8）的左端与所述左限位板（7）的右端可滑动接触，并且所述左滑板（8）包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触，并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，所述顶板（9）的左端与左滑板（8）的右端下侧连接，顶板（9）的右端与右滑板的左端下侧连接，所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，所述两组锁紧螺栓（13）的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，所述两组左上导轮（12）分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，所述带动电机（11）的底端安装在顶板（9）的顶端中部，并且带动电机（11）的前部输出端设置有带动胶轮，所述操作板（1）的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且所述螺纹通孔位于左限位板（7）和右限位板的中部，所述调节丝杠（10）的顶端自操作板（1）的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板（1）的顶端外界与所述顶板（9）的底端中部接触，调节丝杠（10）的底端同心设置有第一手轮（14）；还包括上固定板（15）、下固定板、左固定板（16）、右固定板、螺纹管（17）、螺纹杆（18）、调节板（19）和张紧轮（20），所述后侧板（3）的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且所述调节板（19）后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，所述两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且所述下固定板的底端与所述后侧板（3）的顶端中部连接，所述左固定板（16）和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板（16）和右固定板的顶端分别与所述上固定板（15）底端的左侧和右侧连接，所述上固定板（15）和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述螺纹管（17）的底端自上固定板（15）的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管（17）圆周外壁的上侧和下侧固定连接，所述螺纹杆（18）的顶端插入并螺装至螺纹管（17）的底端内部，并且螺纹杆（18）的底端与所述调节板（19）的顶端中部连接，螺纹管（17）的顶端同心连接设置有第二手轮，所述张紧轮（20）的后端设置有张紧轴，并且调节板（19）的前端中部设置有右固定槽，并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承，所述张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，所述张紧轮（20）的顶端与所述传动皮带（5）的内圈上侧可滚动接触。...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，包括操作板（1）、四组支腿（2）、后侧板（3）、切割电机（4）、传动皮带（5）和金刚石切割片（6），后侧板（3）的底端与操作板（1）的顶端后侧连接，并且四组支腿（2）的顶端分别与操作板（1）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，切割电机（4）安装在后侧板（3）的后端右侧中部，并且切割电机（4）的前部输出端设置有传动轴，传动轴的前端自后侧板（3）的后端穿过后侧板（3）的内部并伸出至后侧板（3）的前端外界，传动轴的前端设置有皮带主动轮，后侧板（3）的前端左侧中部设置有左固定槽，并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承，金刚石切割片（6）的后端同心设置有支撑轴，并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部，并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮，传动皮带（5）分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上；其特征在于，包括左限位板（7）、右限位板、左滑板（8）、右滑板、顶板（9）、调节丝杠（10）、带动电机（11）、两组左上导轮（12）、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓（13），所述左限位板（7）和右限位板的底端分别与所述操作板（1）顶端左侧区域的左侧和右侧连接，并且左限位板（7）的右端纵向设置有左限位滑槽，右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽，所述左滑板（8）的左端与所述左限位板（7）的右端可滑动接触，并且所述左滑板（8）包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端设置有左限位滑块，左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部，所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触，并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块，右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部，所述顶板（9）的左端与左滑板（8）的右端下侧连接，顶板（9）的右端与右滑板的左端下侧连接，所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置，并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔，所述两组锁紧螺栓（13）的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部，所述两组左上导轮（12）分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧，并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧，所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧，并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧，所述带动电机（11）的底端安装在顶板（9）的顶端中部，并且带动电机（11）的前部输出端设置有带动胶轮，所述操作板（1）的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔，并且所述螺纹通孔位于左限位板（7）和右限位板的中部，所述调节丝杠（10）的顶端自操作板（1）的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板（1）的顶端外界与所述顶板（9）的底端中部接触，调节丝杠（10）的底端同心设置有第一手轮（14）；还包括上固定板（15）、下固定板、左固定板（16）、右固定板、螺纹管（17）、螺纹杆（18）、调节板（19）和张紧轮（20），所述后侧板（3）的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽，并且所述调节板（19）后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块，所述两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部，并且所述下固定板的底端与所述后侧板（3）的顶端中部连接，所述左固定板（16）和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接，并且左固定板（16）和右固定板的顶端分别与所述上固定板（15）底端的左侧和右侧连接，所述上固定板（15）和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述螺纹管（17）的底端自上固定板（15）的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界，上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管（17）圆周外壁的上侧和下侧固定连接，所述螺纹杆（18）的顶端插入并螺装至螺纹管（17）的底端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32