均匀加热的扩散炉炉体制造技术

本发明专利技术公开了一种均匀加热的扩散炉炉体，涉及芯片加工领域，现有12寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题，其技术方案要点是包括炉体外壁、保温层、设置在保温层上的电阻带以及设置在保温层上的若干固定板；在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带之间的距离为4～30毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻带之间的距离为3～25毫米；炉体外壁与保温层之间留有空腔，炉体外壁上固定连接有进气管，保温层内壁上开设有进气孔，通过对炉体内各处电阻带的距离进行控制，并且利用空气将靠近保温层内壁的高温传递到炉体中间位置，提高了炉体内各处温度的均匀性。

Diffusion furnace with uniform heating

The invention discloses a uniformly heated diffusion furnace body, which relates to the problem of low temperature uniformity in every place of the 12 inch diffuser furnace, including the outer wall of the furnace body, the insulation layer, the resistance band set on the insulation layer, and several fixed plates set on the insulation layer; The layer is close to the 1/3 part of the front end of the furnace body, the distance between the adjacent two ring resistance bands is 3~25 millimeters, the distance between the adjacent two ring resistance bands of the three end of the furnace body is 4~30 millimeters, the part of the back end of the furnace body is 1/3, and the distance between the adjacent two ring resistance bands is 3~25 millimeters; the outer wall of the furnace and the insulation are insulated. There is a cavity between the layers. The inner wall of the furnace body is fixed with the intake pipe, and the inner wall of the insulation layer is opened with the air hole. By controlling the distance of the resistance belt in the furnace, the high temperature near the inner wall of the insulation layer is transferred to the middle position of the furnace body, and the temperature uniformity in the furnace body is improved.

【技术实现步骤摘要】
均匀加热的扩散炉炉体
本专利技术涉及芯片加工领域，更具体的说，它涉及一种均匀加热的扩散炉炉体。
技术介绍
扩散炉芯片生产必不可少的生产设备，随着现在芯片行业的发展，大尺寸扩散炉是必须的产品，现在国内的扩散炉大多为4寸和6寸，12寸的扩散炉相对于6寸扩散炉来说炉体内的空间增大，炉体内温度的控制更加困难，使炉体内各处温度均匀性较低，而一旦炉体内各处温度均匀性较低，容易出现生产处的芯片电阻率不一致的问题。现在亟需一种炉体内各处温度均匀性较高的8寸扩散炉。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种均匀加热的扩散炉炉体，其通过对炉体内各处电阻带的距离进行控制以及通过风对热量的传递，提高了炉体内各处温度的均匀性提高。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种均匀加热的扩散炉炉体，包括呈圆筒状设置的炉体外壁、设置在炉体外壁内侧的呈圆筒状设置的保温层、设置在保温层上的螺旋设置的电阻带以及设置在保温层上用于将电阻带固定在保温层上的若干固定板；在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带之间的距离为4～30本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种均匀加热的扩散炉炉体，其特征在于：包括呈圆筒状设置的炉体外壁(1)、设置在炉体外壁(1)内侧的呈圆筒状设置的保温层(2)、设置在保温层(2)上的螺旋设置的电阻带(3)以及设置在保温层(2)上用于将电阻带(3)固定在保温层(2)上的若干固定板(4)；在保温层(2)上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带(3)之间的距离为4～30毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米；炉体外壁(1)顶端和底端都固定连接有外径与炉体外壁(1)外径相等并且内径与保温层(2)内径相等的连接环(11)，炉体外...

【技术特征摘要】
1.一种均匀加热的扩散炉炉体，其特征在于：包括呈圆筒状设置的炉体外壁(1)、设置在炉体外壁(1)内侧的呈圆筒状设置的保温层(2)、设置在保温层(2)上的螺旋设置的电阻带(3)以及设置在保温层(2)上用于将电阻带(3)固定在保温层(2)上的若干固定板(4)；在保温层(2)上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带(3)之间的距离为4～30毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米；炉体外壁(1)顶端和底端都固定连接有外径与炉体外壁(1)外径相等并且内径与保温层(2)内径相等的连接环(11)，炉体外壁(1)内侧与保温层(2)外侧之间留有空腔(5)，炉体外壁(1)顶部围绕炉体外壁(1)的外周均匀的设置有四根固定连接在炉体外壁(1)上并且与空腔(5)相连通的进气管(12)，保温层(2)内壁上开设有若干与空腔(5)相互连通的进气孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜新诚，施广博，王兆敏，
申请(专利权)人：青岛晨立电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37