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本发明公开了一种均匀加热的扩散炉炉体，涉及芯片加工领域，现有12寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题，其技术方案要点是包括炉体外壁、保温层、设置在保温层上的电阻带以及设置在保温层上的若干固定板；在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两...
该专利属于青岛晨立电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛晨立电子有限公司授权不得商用。

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