石英管防划伤装置制造方法及图纸

本发明专利技术给出了一种石英管防划伤装置；包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。保护座与管状桨固定，管状桨在长期高温环境中，管状桨会有下弯，保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触，防止在取料的过程中，管状桨端部对炉管壁划伤；而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置，避免两个管状桨之间距离发生改变，影响载片舟的固定。

Antiscratch Device for Quartz Tube

The invention provides a quartz tube scratch prevention device, which comprises a positioning plate and two protective seats. The protective seat corresponds to the tubular propeller of LPCVD tube furnace. One end of the protective seat extends into the corresponding inner hole of the tubular propeller, the other end of the protective seat is outside the corresponding tubular propeller and the outer diameter of the end is larger than the outer diameter of the tubular propeller. The position plate is fixedly connected with two protection seats respectively. The protective seat is fixed with the tubular propeller, and the tubular propeller will bend down in the long-term high temperature environment. The protective seat replaces the tubular propeller and contacts the inner wall of LPCVD tube furnace to prevent the end of tubular propeller from scratching the furnace tube wall in the process of feeding, and the positioning plate can limit the relative position of the ends of the two tubular propellers to avoid one of the two tubular propellers. The change of space affects the fixing of the carrier boat.

【技术实现步骤摘要】
石英管防划伤装置
本专利技术涉及一种防止管状桨划伤石英管内壁的装置。
技术介绍
在太阳能电池片生产过程中，需要在表面镀膜，例如多晶硅、氮化硅等，需要使用LPCVD进行镀膜。为提高产能，将单管LPCVD的装载量由几百片提高到1200片，导致炉管的长度、工艺恒温区的长度以及工艺气体分布要求大大提升，特别是工艺恒温区的中、后区对片间均匀性技术要求大大提升。现有的管式LPCVD(石英管)中，需要使用两根管状桨托住载片舟，进行输送，由于长期处于高温环境，桨会有下弯，导致桨头端触碰到炉管壁，在出炉的时候容易造成炉管壁划伤，可能造成炉管炸裂。目前缺少一种能有效保护LPCVD管炉内壁的装置。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便的石英管防划伤装置。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种石英管防划伤装置；包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。采用这样的结构后，保护座与管状桨固定，管状桨在长期高温环境中，管状桨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英管防划伤装置，其特征为：包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种石英管防划伤装置，其特征为：包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。2.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置，其特征是：所述的保护座为石墨材质。3.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置，其特征是：所述保护座包括插入部和防划...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛怀庆，孙友巍，李晨，孙嵩泉，
申请(专利权)人：普乐新能源蚌埠有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34