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本发明给出了一种石英管防划伤装置;包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;定位板分别与两个保护座固定连接。保护...该专利属于普乐新能源(蚌埠)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过普乐新能源(蚌埠)有限公司授权不得商用。
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本发明给出了一种石英管防划伤装置;包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;定位板分别与两个保护座固定连接。保护...