一种半导体光刻板清洗的除尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗的除尘装置。该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；该装置采用转移辊和粘尘辊除尘，除尘效率高，且采用抽屉式的结构，可以便于更换转移辊和粘尘辊，可以广泛用于工业生产之中。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体光刻板清洗的除尘装置
本专利技术涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗的除尘装置。
技术介绍
光刻是制造半导体器件和集成电路微图形结构的关键工艺。其工艺质量直接影响着器件成品率、可靠性、器件性能以及使用寿命等参数指标。光罩是光刻工艺中的一个重要环节，光刻板必须非常洁净，所有硅片上的电路元件都来自版图。如果光刻板不洁净，存在污染颗粒，这些颗粒就会被复制到硅片表面的光刻胶上，造成器件性能的下降。然而，光刻板在使用过程中不可避免的会粘上灰尘、光刻胶等污染物，这些污染物的存在直接影响到光刻的效果。为了保证光刻板洁净，必须定期对光刻板进行清洗，而清洗的效果与清洗工艺以及各清洗工艺在设备上的合理配置有着密切的联系。中国专利技术专利（公开号CN105590879A）公开了一种全自动光刻板清洗机，由上下料单元、清洗单元、翻转单元、光刻版传输单元、定位单元、药液供给与循环单元和温度控制单元组成。光刻板在清洗后具有碎屑和灰尘，如果不进行除尘，则无法清洗干净。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本专利技术的目的是提供一种半导体光刻板清洗的除尘装置，该装置采用转移辊和粘尘辊除尘，除尘效率高，且采用抽屉式的结构，可以便于更换转移辊和粘尘辊，可以广泛用于工业生产之中。为了实现上述的目的，本专利技术采用了以下的技术方案：一种半导体光刻板清洗的除尘装置，该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；所述的上顶紧结构与下顶紧机构分别包括顶紧气缸、气缸安装杆和顶紧条，两根气缸安装杆固定设置在外壳体上，两个顶紧气缸分别固定设置在气缸安装杆的中部，顶紧条分别与两个顶紧气缸的活塞杆相连接，并在顶紧条的两端一侧分别设置有导向杆，导向杆穿设在设置在气缸安装杆的轴套内，顶紧条的两端另一侧分别设置有顶杆；所述的上除尘抽屉和下除尘抽屉分别包括抽屉框体、粘尘辊和可调轴承座，所述的抽屉框体的两端分别设置有两个固定座，固定座上分别设置有两根导向杆，所述的可调轴承座上设置有两个轴孔，可调轴承座通过两个轴孔设置在两根导向杆上，并在导向杆的底部设置有压缩弹簧，压缩弹簧一端与固定座相抵，另一端与可调轴承座相抵，所述的可调轴承座与顶杆相抵，所述的粘尘辊具有两根，粘尘辊设置在对向设置的两个可调轴承座；中除尘滚轮输送抽屉包括抽屉框体、驱动电机和转移辊，在抽屉框体的两侧和中部分别设置滚轮轴，滚轮轴上设置有多个滚轮，在滚轮轴的间隔空隙设置两对转移辊，两对转移辊由上、下两根辊体构成，上、下两根辊体之间设有供光刻板通过的缝隙，上、下两根辊体分别与所述的上除尘抽屉和下下除尘抽屉粘尘辊相贴合接触，滚轮轴和两对转移辊的端部分别设置有皮带轮，皮带轮与驱动电机相传动连接。本专利技术由于采用了上述的技术方案，该装置采用转移辊和粘尘辊除尘，除尘效率高，且采用抽屉式的结构，可以便于更换转移辊和粘尘辊，可以广泛用于工业生产之中。附图说明图1为本专利技术具体实施方式的结构示意图。图2为本专利技术具体实施方式的爆炸结构示意图。图3为上料机构的爆炸结构示意图。图4为摆臂装置的结构示意图。图5为真空吸盘装置的结构示意图。图6为第一定位顶升输送滚轮装置的结构示意图。图7为抓取定位装置的结构示意图。图8、图9为提升横移装置的结构示意图。图10为第一直线移动抓取装置的爆炸结构示意图。图11、图12为升降装置的结构示意图。图13为翻转机构的爆炸结构示意图。图14为第一粘尘机构的爆炸结构示意图。图15为上顶紧结构的结构示意图。图16为上除尘抽屉的结构示意图。图17为中除尘滚轮输送抽屉的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做一个详细的说明。如图1、图2所示的一种半导体光刻板清洗生产系统，该生产系统包括外罩机架组件1以及依次设置在外罩机架组件1内的上料机构3、第一旋转抓取装置4、第一定位顶升输送滚轮装置7、第一输送滚轮装置15、第一直线移动抓取机构8、第一清洗装置2、第二输送滚轮装置11、第一粘尘机构9、翻转机构10、第三输送滚轮装置17、第二清洗装置12、第二直线移动抓取机构18、第四输送滚轮装置23、第二粘尘机构19、第二定位顶升输送滚轮装置24、第二旋转抓取装置14和卸料机构13。所述的上料机构3上的光刻板通过第一旋转抓取装置4放置至第一定位顶升输送滚轮装置7，第一定位顶升输送滚轮装置7连接第一输送滚轮装置15，第一输送滚轮装置15上的光刻板通过第一直线移动抓取机构8放置至第一清洗装置2并由第一直线移动抓取机构8取出放置至第二输送滚轮装置11，第二输送滚轮装置11连接第一粘尘机构9，第一粘尘机构9连接翻转机构10，翻转机构10连接第三输送滚轮装置17，第三输送滚轮装置17上的光刻板通过第二直线移动抓取机构8放置至第二清洗装置2并由第二直线移动抓取机构8取出放置至第四输送滚轮装置23，第四输送滚轮装置23连接第二粘尘机构19，第二粘尘机构19连接第二定位顶升输送滚轮装置24，第二定位顶升输送滚轮装置24上的光刻板通过第一旋转抓取装置4放置至卸料机构13。如图2所示，所述的外罩机架组件1包括外罩20、警示灯21、内部机架22。外罩20将设备包裹在内，起到保护、阻挡灰尘的作用；警示灯21设置在该设备的两端，用于紧急情况的报警；内部机架22用于固定安装其他装置。外罩上有若干个玻璃窗口，可以从外面观察到内部的运作情况，十分方便。如图2、图3所示，所述的上料机构3和卸料机构13均包括放料座130、辊道131和上料小车138，上料机构3和卸料机构13结构相同，但运动的方向相反。如图3所示，可移动式放料座130用于放置待加工的光刻板，放料座130底面平整，上部设置V型储料槽，V型储料槽的出料一边低于靠料一边；所述的辊道131安装在两侧的辊道侧板中，辊道侧板固定安装在机架上，辊道131与上料小车138相互衔接，放料座130能在辊道131和上料小车138上移动；所述的辊道131的末端设置有料座锁紧装置，并在辊道131的外侧设置有小车锁紧装置137。如图3所示，所述的料座锁紧装置包括旋转气缸134和锁紧板，旋转气缸134设置在辊道131靠近设备里面的一端，锁紧板的一端安装在旋转气缸134上，不旋转时，锁紧板一侧与辊道水平，旋转气缸旁还安装有接近传感器132，辊道侧板两侧也各有一个接近传感器132，旋转气缸134两旁还装有两个限位块。当工人将材料用放料座130放在上料小车138上时，限位挡块1303限制放料座130在上料小车138上移动，气缸1301带动上料小车138往上升，当上升到上料小车与辊道131水平时，限位挡块1303打开，放料座130进入辊道131上，当接近传感器132探测到放料座130已经到达预定位置时，限位块抵住放料座130，旋转气缸134旋转，用凸轮将放料座固定住。如图3所示，所述的小车锁紧装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体光刻板清洗的除尘装置，其特征在于，该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；所述的上顶紧结构与下顶紧机构分别包括顶紧气缸、气缸安装杆和顶紧条，两根气缸安装杆固定设置在外壳体上，两个顶紧气缸分别固定设置在气缸安装杆的中部，顶紧条分别与两个顶紧气缸的活塞杆相连接，并在顶紧条的两端一侧分别设置有导向杆，导向杆穿设在设置在气缸安装杆的轴套内，顶紧条的两端另一侧分别设置有顶杆；所述的上除尘抽屉和下除尘抽屉分别包括抽屉框体、粘尘辊和可调轴承座，所述的抽屉框体的两端分别设置有两个固定座，固定座上分别设置有两根导向杆，所述的可调轴承座上设置有两个轴孔，可调轴承座通过两个轴孔设置在两根导向杆上，并在导向杆的底部设置有压缩弹簧，压缩弹簧一端与固定座相抵，另一端与可调轴承座相抵，所述的可调轴承座与顶杆相抵，所述的粘尘辊具有两根，粘尘辊设置在对向设置的两个可调轴承座；中除尘滚轮输送抽屉包括抽屉框体、驱动电机和转移辊，在抽屉框体的两侧和中部分别设置滚轮轴，滚轮轴上设置有多个滚轮，在滚轮轴的间隔空隙设置两对转移辊，两对转移辊由上、下两根辊体构成，上、下两根辊体之间设有供光刻板通过的缝隙，上、下两根辊体分别与所述的上除尘抽屉和下下除尘抽屉粘尘辊相贴合接触，滚轮轴和两对转移辊的端部分别设置有皮带轮，皮带轮与驱动电机相传动连接。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体光刻板清洗的除尘装置，其特征在于，该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；所述的上顶紧结构与下顶紧机构分别包括顶紧气缸、气缸安装杆和顶紧条，两根气缸安装杆固定设置在外壳体上，两个顶紧气缸分别固定设置在气缸安装杆的中部，顶紧条分别与两个顶紧气缸的活塞杆相连接，并在顶紧条的两端一侧分别设置有导向杆，导向杆穿设在设置在气缸安装杆的轴套内，顶紧条的两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王加骇，
申请(专利权)人：王加骇，
类型：发明
国别省市：浙江,33