【技术实现步骤摘要】
大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机
本技术涉及一种用于大型罐体内壁镀膜的真空阴极电弧镀膜机，所述大型罐体指一端开口另一端具有外凸的弧形封顶盖，直径1.5米—3.3米x高2.5米—3.8米的罐体。
技术介绍
常用真空阴极电弧镀膜机用于镀硬质耐磨的工模具保护膜、或镀硬质耐划花耐腐蚀的日用品装饰膜，最典型的镀层是氮化钛，它呈金黄色，有较高硬度，有较好的耐磨耐蚀性能，常被用于工模具保护膜和各种用品的装饰膜。大型的镀膜机要数镀不锈钢饰板(如长3.2米x宽1.2米)的镀膜机，立式镀室直径2-5米x高2-4米，又如镀不锈钢长管(如直径40毫米x6米)的镀膜机，卧式镀室直径2米x长7米，这类型镀膜机都是30--50只电弧靶位，安置在镀室外壁上，向炉内工件发射靶材镀料等离子体，在工件外表面沉积成膜，或在工件外表面镀料(如Ti)与反应气体(如N)合成化合物膜(TiN)。这些机型技术比较成熟了，但要求在大型罐体的内壁上，用真空阴极电弧镀TiN膜的镀膜设备，国内外尚未有报道。
技术实现思路
综合而言，新型镀膜机应具有如下特点：(1)镀膜时，被镀的大型罐体的内腔需要抽真空；(2)由于需要在罐体内...
【技术保护点】
1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，其特征在于，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述旋转架组件旋转密封地竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件活动安装在所述旋转架组件上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件的水电气线路由所述底盘引出炉外，所述驱动机构通过所述传动机构与所述旋转架组件相连，驱动所述旋转架组件旋转并带动其上的所述电弧源组件作旋转运动，另所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述电弧源组件作升降...
【技术特征摘要】
1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，其特征在于，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述旋转架组件旋转密封地竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件活动安装在所述旋转架组件上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件的水电气线路由所述底盘引出炉外，所述驱动机构通过所述传动机构与所述旋转架组件相连，驱动所述旋转架组件旋转并带动其上的所述电弧源组件作旋转运动，另所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述电弧源组件作升降运动，并在所述电弧源组件上升到接近所述大型罐体顶部时，驱使所述电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与所述大型罐体的弧形封顶盖相对。2.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述底盘上同心设有不同直径的密封槽，所述密封槽内安装有密封圈；并且，所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件上，并通过所述弧靶支承组件安装于所述旋转架组件上，所述弧靶支承组件可径向伸缩以靠近或远离罐体内壁，从而调整所述弧靶组件镀膜时的靶基距。3.根据权利要求2所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机还包括用于补偿高度，使罐体高度能与所述旋转架组件适配的不同高度的各种直径的附加法兰，所述附加法兰一面用于与所述底盘密封对接，另一面同样设置有密封圈，用于与相应罐体的开口端密封对接。4.根据权利要求3所述的镀膜机，其特征在于，所述弧靶组件包括若干所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，若干所述电弧靶集中安装在所述弧靶安装座上，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，并通过该波纹管穿过所述底盘伸到炉外，以便在真空的镀室内形成一条与外界连通的非真空通道，所述电弧源组件的水电气线路均从所述密闭箱体经所述通道引出炉外以与相应部分连接。5.根据权利要求4所述的镀膜机，其特征在于，所述弧靶组件只有一个，若干所述电弧靶在所述弧靶安装座上分两列错位排布；并且，所述驱动机构驱动所述旋转架组件上的所述电弧源组件作360度的正反转运动，即旋转360度后即反转复位。6.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述旋转架组件的结构为：所述旋转架...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，冯晓庭，潘锐华，陸创程，魏艳玲，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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