一种新型真空隔离门阀制造技术

一种新型真空隔离门阀，解决现有技术存在的封闭性能差，占用空间大，生产成本高，输送效率低的问题。包括内部设置有阀体内腔的门阀阀体，其特征在于：阀体内腔内、靠近门阀出口的一端设置有水冷隔离阀板，水冷隔离阀板的门阀转轴上设置有转动阀板，门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接；门阀转轴的两端分别设置有转轴进水通道和转轴出水通道，转轴进水通道通过连接部水流通道Ⅰ与阀板水流通道的入口相连；阀板水流通道的出口，通过连接部水流通道Ⅱ与转轴出水通道相连；水冷隔离阀板的下方设置有过渡传送装置。其设计合理，结构紧凑，占用空间小，封闭性能稳定可靠，节约生产成本，输送效率高，使用灵活，运行稳定。

A new vacuum isolation door valve

The utility model relates to a novel vacuum isolation door valve, which solves the problems of poor sealing performance, large occupation space, high production cost and low conveying efficiency existing in the prior art. The valve body is characterized in that a water-cooled isolation valve plate is arranged in the inner cavity of the valve body and at one end near the outlet of the valve, and a rotating valve plate is arranged on the rotating shaft of the water-cooled isolation valve plate, and one end of the rotating shaft of the valve is articulated with the expansion end of the valve plate cylinder through the driving connecting rod; The inlet passage of the rotating shaft is connected with the inlet of the valve plate flow passage through the connecting part flow passage I; the outlet of the valve plate flow passage is connected with the outlet passage of the rotating shaft through the connecting part flow passage II; and a transitional transmission device is arranged below the water-cooled isolation valve plate. The utility model has the advantages of reasonable design, compact structure, small occupation space, stable and reliable sealing performance, saving production cost, high conveying efficiency, flexible use and stable operation.

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空隔离门阀
本专利技术属于真空镀膜
，具体涉及一种结构紧凑，可确保密封胶圈在高温状态下长时间正常使用，封闭性能稳定可靠，能够节约真空镀膜生产成本，输送效率高，使用灵活的新型真空隔离门阀。
技术介绍
超大产量的磁芯电感真空镀膜设备通常由多个真空室箱体组成，并且，因为工艺需要，相邻的真空室之间需要设置隔离门阀，以实现真空与大气之间隔离、或真空与真空之间不同真空度要求的隔离。同时，由于磁芯电感真空镀膜设备工作时，被镀工件需要被加热，所以真空隔离门阀应能够承受一定的温度。虽然，门阀板上的密封胶圈一般都由耐高温材料制成，但使用的最高温度也不能超过250℃；然而，磁芯电感真空镀膜设备内的最高温度可达到400℃，所以，为了让密封胶圈在高温状态下能够长时间正常使用，需要在真空隔离门阀上设置冷却结构。现有真空隔离门阀大多只是在阀体上设置有冷却水道，而用来开启和封闭门阀的阀板上没有冷却结构，导致整体冷却效果较差，降低了密封胶圈的密封效果和使用寿命，严重影响真空隔离门阀的封闭性能。另外，装有被镀工件的托盘在磁芯电感真空镀膜设备中连续传输的过程中，当需要穿过真空隔离门阀时，由于阀体内腔具有一定的宽度，托盘不能直接通过；故须在阀体内腔内设置过渡传送装置，才能够将托盘顺利输送到相邻的真空室内。然而，由于阀体内腔内需要同时设置转动阀板和过渡传送装置等机构，所以增大了真空隔离门阀的整体尺寸，不但占用空间大、影响整个生产线的合理布置；而且，较宽的阀体内腔也提升了真空镀膜的生产成本，不利于环保节能。同时，现有过渡传送装置的输送效率低，使用灵活性不足，运行稳定性差。故有必要对现有真空隔离门阀的结构予以改进。
技术实现思路
本专利技术就是针对上述问题，提供一种结构紧凑，可确保密封胶圈在高温状态下长时间正常使用，封闭性能稳定可靠，能够节约真空镀膜生产成本，输送效率高，使用灵活的新型真空隔离门阀。本专利技术所采用的技术方案是：该新型真空隔离门阀包括门阀阀体，其特征在于：所述门阀阀体的内部设置有阀体内腔，阀体内腔的两侧分别设置有门阀进口和门阀出口；所述阀体内腔内、靠近门阀出口一端的上部设置有水冷隔离阀板，水冷隔离阀板包括沿门阀阀体长边水平方向布置于门阀出口上方的门阀转轴，门阀转轴上设置有用于封闭门阀出口的转动阀板，转动阀板通过阀板连接部与门阀转轴相连；所述门阀转轴伸出到门阀阀体外部的两端，分别与设置在门阀阀体外壁上的转轴轴承座内部的转动轴承转动连接，且门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接；同时，所述门阀转轴两端的内部，分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道和转轴出水通道，转轴进水通道的一端设置有转轴进水口，转轴进水通道的另一端通过阀板连接部内部设置的连接部水流通道Ⅰ，与转动阀板内部设置的阀板水流通道的入口相连；而转动阀板的阀板水流通道的出口，则通过阀板连接部的连接部水流通道Ⅱ与所述转轴出水通道的一端相连，转轴出水通道的另一端设置有转轴出水口；所述阀体内腔内、水冷隔离阀板的下方设置有可上下摆动的过渡传送装置。所述过渡传送装置包括固定传送辊，固定传送辊沿水平方向设置在阀体内腔内、靠近门阀进口的一端，固定传送辊转动轴的两端，分别通过铰支端轴承座与阀体内腔的两侧内壁相连；所述阀体内腔内、靠近门阀出口的一端，设置有与所述固定传送辊相平行布置的摆动传送辊，摆动传送辊的两端分别通过摆动连接板与所述固定传送辊的两端相连；两端的摆动连接板之间设置有摆动板连接长杆，摆动板连接长杆的两端分别与两个摆动连接板固定连接；摆动板连接长杆的中部设置有滑动支耳，滑动支耳的下方设置有竖直向上布置的摆动气缸，摆动气缸上部的伸缩端设置有驱动块，驱动块上设置有摆动滑槽；所述摆动板连接长杆上的滑动支耳，通过滑动连接轴与驱动块的摆动滑槽滑动连接；且所述固定传送辊转动轴的一端设置有主动链轮，固定传送辊转动轴的另一端通过链轮传动机构与所述摆动传送辊转动轴的一端相连。以通过摆动气缸的伸缩，来带动摆动传送辊绕着固定传送辊的轴线上、下摆动，进而实现对装料托盘的输送和水冷隔离阀板开启时的避让。所述水冷隔离阀板的转动阀板由阀板主体构成，阀板主体与门阀出口相接触的一侧的周边设置有密封胶圈，阀板主体内部、与所述密封胶圈相对应的位置设置有环状的阀板水流通道；环状阀板水流通道的入口，与阀板主体未布置密封胶圈的另一侧中上部设置的阀板进水连接部相连，阀板进水连接部与连接部水流通道Ⅰ相连接；阀板水流通道的出口，则与阀板主体未布置密封胶圈的另一侧中下部设置的阀板出水连接部相连，阀板出水连接部与连接部水流通道Ⅱ相连接。以通过阀板进水连接部将阀板水流通道的入口与同连接部水流通道Ⅰ相连的转轴进水通道连通，并通过阀板出水连接部将阀板水流通道的出口与同连接部水流通道Ⅱ相连的转轴出水通道连通；进而让冷却液从转轴进水口进入到转轴进水通道，再经由连接部水流通道Ⅰ进入到阀板水流通道内，随后冷却液通过连接部水流通道Ⅱ和转轴出水通道、从转轴出水口排出，实现对转动阀板的循环冷却。所述阀板连接部通过转动轴，与阀板主体上未布置密封胶圈一侧设置的铰接耳板相铰接；同时，所述阀板主体的阀板进水连接部与连接部水流通道Ⅰ之间、以及阀板出水连接部与连接部水流通道Ⅱ之间，分别通过中空过渡转轴相连，且各中空过渡转轴与阀板进水连接部和阀板出水连接部之间，均设置有旋转密封部件。以通过阀板气缸的伸缩来带动驱动连杆转动，进而驱使门阀转轴以及其上铰接的转动阀板一同旋转，实现对门阀出口的开启和封闭。所述水冷隔离阀板的转轴轴承座内部，与门阀转轴伸出到门阀阀体外侧的两端部圆周外壁之间，分别设置有转轴密封部件。以有效密封门阀转轴端部与门阀阀体侧壁之间的结合部位，确保阀体内腔的真空度。所述门阀阀体位于阀体内腔的门阀出口内侧周边的位置处，设置有阀体水流通道。以进一步对门阀出口内侧、转动阀板上的密封胶圈进行冷却，提升密封胶圈的使用寿命，保证密封效果。所述过渡传送装置的固定传送辊两端设置的铰支端轴承座的上方、阀体内腔的内侧壁上，分别设置有固定座板；且固定座板与相应的铰支端轴承座之间，分别通过调节螺钉活动连接。以通过对调节螺钉的旋转，来调整铰支端轴承座以及其上转动布置的固定传送辊的高度，增强过渡传送装置的使用灵活性。所述过渡传送装置的固定传送辊以及摆动传送辊的两端，分别设置有导向侧轮。以利用两端的导向侧轮，对装料托盘在固定传送辊和摆动传送辊上的输送，进行限位和导向，有效提升输送效率。所述过渡传送装置的摆动气缸下部的缸体位于门阀阀体外部，摆动气缸上部的伸缩杆则穿过阀体侧壁、伸入到阀体内腔内，且摆动气缸伸缩杆与阀体侧壁相结合的部位设置有伸缩杆密封圈。以密封摆动气缸伸缩杆与门阀阀体侧壁的结合部位，确保阀体内腔的真空度。本专利技术的有益效果：由于本专利技术采用内部设置有阀体内腔的门阀阀体，阀体内腔的两侧分别设置门阀进口和门阀出口；阀体内腔内、靠近门阀出口一端的上部设置水冷隔离阀板，水冷隔离阀板包括沿水平方向布置于门阀出口上方的门阀转轴，门阀转轴上布置有用于封闭门阀出口的转动阀板，转动阀板通过阀板连接部与门阀转轴相连；门阀转轴伸出到门阀阀体外部的两端，分别与转轴轴承座内部的转动轴承连接，且门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接；门阀转轴两端的内部，分别设置沿轴向布置的转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型真空隔离门阀，包括门阀阀体（1），其特征在于：所述门阀阀体（1）的内部设置有阀体内腔（2），阀体内腔（2）的两侧分别设置有门阀进口（3）和门阀出口（4）；所述阀体内腔（2）内、靠近门阀出口（4）一端的上部设置有水冷隔离阀板（5），水冷隔离阀板（5）包括沿门阀阀体（1）长边水平方向布置于门阀出口（4）上方的门阀转轴（10），门阀转轴（10）上设置有用于封闭门阀出口（4）的转动阀板（20），转动阀板（20）通过阀板连接部（16）与门阀转轴（10）相连；所述门阀转轴（10）伸出到门阀阀体（1）外部的两端，分别与设置在门阀阀体（1）外壁上的转轴轴承座（11）内部的转动轴承（12）转动连接，且门阀转轴（10）的一端通过驱动连杆（8）与阀板气缸（7）的伸缩端相铰接；同时，所述门阀转轴（10）两端的内部，分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道（14）和转轴出水通道（22），转轴进水通道（14）的一端设置有转轴进水口（9），转轴进水通道（14）的另一端通过阀板连接部（16）内部设置的连接部水流通道Ⅰ（15），与转动阀板（20）内部设置的阀板水流通道（19）的入口相连；而转动阀板（20）的阀板水流通道（19）的出口，则通过阀板连接部（16）的连接部水流通道Ⅱ（21）与所述转轴出水通道（22）的一端相连，转轴出水通道（22）的另一端设置有转轴出水口（23）；所述阀体内腔（2）内、水冷隔离阀板（5）的下方设置有可上下摆动的过渡传送装置（6）。...

【技术特征摘要】
1.一种新型真空隔离门阀，包括门阀阀体（1），其特征在于：所述门阀阀体（1）的内部设置有阀体内腔（2），阀体内腔（2）的两侧分别设置有门阀进口（3）和门阀出口（4）；所述阀体内腔（2）内、靠近门阀出口（4）一端的上部设置有水冷隔离阀板（5），水冷隔离阀板（5）包括沿门阀阀体（1）长边水平方向布置于门阀出口（4）上方的门阀转轴（10），门阀转轴（10）上设置有用于封闭门阀出口（4）的转动阀板（20），转动阀板（20）通过阀板连接部（16）与门阀转轴（10）相连；所述门阀转轴（10）伸出到门阀阀体（1）外部的两端，分别与设置在门阀阀体（1）外壁上的转轴轴承座（11）内部的转动轴承（12）转动连接，且门阀转轴（10）的一端通过驱动连杆（8）与阀板气缸（7）的伸缩端相铰接；同时，所述门阀转轴（10）两端的内部，分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道（14）和转轴出水通道（22），转轴进水通道（14）的一端设置有转轴进水口（9），转轴进水通道（14）的另一端通过阀板连接部（16）内部设置的连接部水流通道Ⅰ（15），与转动阀板（20）内部设置的阀板水流通道（19）的入口相连；而转动阀板（20）的阀板水流通道（19）的出口，则通过阀板连接部（16）的连接部水流通道Ⅱ（21）与所述转轴出水通道（22）的一端相连，转轴出水通道（22）的另一端设置有转轴出水口（23）；所述阀体内腔（2）内、水冷隔离阀板（5）的下方设置有可上下摆动的过渡传送装置（6）。2.根据权利要求1所述的新型真空隔离门阀，其特征在于：所述过渡传送装置（6）包括固定传送辊（32），固定传送辊（32）沿水平方向设置在阀体内腔（2）内、靠近门阀进口（3）的一端，固定传送辊（32）转动轴的两端，分别通过铰支端轴承座（30）与阀体内腔（2）的两侧内壁相连；所述阀体内腔（2）内、靠近门阀出口（4）的一端，设置有与所述固定传送辊（32）相平行布置的摆动传送辊（35），摆动传送辊（35）的两端分别通过摆动连接板（34）与所述固定传送辊（32）的两端相连；两端的摆动连接板（34）之间设置有摆动板连接长杆（36），摆动板连接长杆（36）的两端分别与两个摆动连接板（34）固定连接；摆动板连接长杆（36）的中部设置有滑动支耳（37），滑动支耳（37）的下方设置有竖直向上布置的摆动气缸（41），摆动气缸（41）上部的伸缩端设置有驱动块（38），驱动块（38）上设置有摆动滑槽（43）；所述摆动板连接长杆（36）上的滑动支耳（37），通过滑动连接轴（40）与驱动块（38）的摆动滑槽（43）滑动连接；且所述固定传送辊（32）转动轴的一端设置有主动链轮（31），固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王英智，王开亮，郭喜明，吴迪，刘洋，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21