一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法技术

本发明专利技术属于合金铣刀片的制备领域，具体涉及一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，具体步骤包括沉积技术的确认、靶材的确定、合金铣刀片的选择与前处理过程、合金铣刀片的放置和镀膜工艺的确定，镀膜过程为先进行基体离子清洗，然后在离子刻蚀后的合金铣刀片基体上依次沉积TiAlN膜层、TiAlZrN过渡层和ZrN膜层，通过该方法制备的合金铣刀片高温稳定性强、结合力好，具有2300

【技术实现步骤摘要】
一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法


[0001]本专利技术属于合金铣刀片的制备领域，具体涉及一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法。

技术介绍

[0002]随着制造技术的进步，机械加工不断向高精化、高速化方向发展，在机械加工领域，机械制造整体工作量中切削加工负担了大部分工作，具有举足轻重的地位，而切削加工对于以加工表面的质量好坏有直接的影响，进而影响到零部件的使用性能。304不锈钢具有强度高、耐磨性好、抗腐蚀性能优异的特点，因此在建材、工业等行业得到了广泛应用，属于典型的难加工材料，故其可切削加工性差，给实际切削加工带来难题。由于涂层处理可提高加工效率和精度，有延长刀具使用寿命、降低加工成本的效果，因此涂层刀具在金属切削加工中的应用越来越广泛。
[0003]TiAlN涂层在高于800℃是发生调幅分解成亚稳态的富Ti立方相c
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Ti(Al)N和富Al立方相c
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Al(TiN)而产生时效硬化现象，但高于1000℃时上述亚稳态又会向其稳定相c
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TiN和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：步骤1)沉积技术的确认：采用多弧离子镀技术来镀覆TiAlZrN纳米复合涂层合金铣刀片；步骤2)靶材的确定：采用12个靶材作为阴极弧源靶，包括8个TiAl合金靶和4个Zr合金靶，将12个靶材分别置于镀膜室壁上相应的弧源位置，靶材纯度均达到99.95％，镀膜过程中根据工艺启动合金靶；步骤3)合金铣刀片的选择与前处理过程：选择合金铣刀片作为镀膜基体，放在镀膜室进行镀膜操作前，使用金属清洗剂对合金铣刀片进行超声波去油、去污处理，然后90℃烘干以备后续沉积涂层，得到洁净的基体；步骤4)合金铣刀片的放置：采用刀片自转的旋转方式，合金铣刀片含刀片隔珠间距为8
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16mm，合金铣刀片所在挂具杆上下空余不超过35mm；步骤5)镀膜：首先进行基体离子清洗，然后在离子刻蚀后的合金铣刀片基体上依次沉积TiAlN膜层、TiAlZrN过渡层和ZrN膜层。2.根据权利要求1所述的一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，其特征在于，步骤2)所述TiAl合金靶的Ti：Al的原子比为33:67。3.根据权利要求1所述的一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，其特征在于，步骤5)所述基体离子清洗的具体工艺为：设定温度450
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600℃，在镀膜室本底真空达到(3
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7)
×
10
‑3Pa时，将镀膜室充入氩气，保证其压强达到(2
‑
4)
×
10
‑1Pa，启用两个离子刻蚀靶，进行离子清洁，靶电流选取范围为140
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：白海萍，李永皓，张露馨，王海，关力，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：