本实用新型专利技术属于电弧离子镀领域，具体涉及一种阴极弧屏蔽装置，包括电极杆，所述电极杆的外侧固定连接有安装座，所述安装座上接触有支架，所述支架的内部滑动连接有屏蔽罩，所述支架的内部滑动连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有卡接座，所述连接杆的外侧设置有弹簧一，所述连接杆的另一端固定连接有拉板，所述安装座的内部固定连接有限位杆。本实用新型专利技术通过在安装座上加设驱动架、限位块与弹簧二等结构，可以通过弹簧二的弹力带动驱动架上的限位块滑入到支架的内部，在需要对屏蔽装置进行清理时，只需要将限位块脱离支架，即可将支架与屏蔽罩拆卸下来进行清洗，从而可以使得屏蔽装置拆卸更加方便。蔽装置拆卸更加方便。蔽装置拆卸更加方便。
【技术实现步骤摘要】
一种阴极弧屏蔽装置
[0001]本技术涉及电弧离子镀
，具体为一种阴极弧屏蔽装置。
技术介绍
[0002]多弧离子镀膜技术是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给。
[0003]根据专利授权公告号：CN209323003U提出的一种用于阴极弧光放电的屏蔽装置，该专利可以对放电过程中的电子进行屏蔽，有效增加电子的运动行程，提升等离子体浓度，提高电弧离子镀粒子的离化率，但是现有技术中的屏蔽装置，在使用的过程中融化金属容易吸附在屏蔽罩上，屏蔽装置不便于拆卸进行清理，并且屏蔽罩与支架不便于分离，导致装置清理不便。因此，需要对现有技术进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种阴极弧屏蔽装置，解决了屏蔽装置不便于拆卸与屏蔽罩和支架之间不便于分离的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种阴极弧屏蔽装置，包括电极杆，所述电极杆的外侧固定连接有安装座，所述安装座上接触有支架，所述支架的内部滑动连接有屏蔽罩，所述支架的内部滑动连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有卡接座，所述连接杆的外侧设置有弹簧一，所述连接杆的另一端固定连接有拉板，所述安装座的内部固定连接有限位杆，所述限位杆的外侧滑动连接有驱动架，所述驱动架上固定连接有限位块，所述限位杆的外侧设置有弹簧二，所述驱动架上固定连接有移动块。
[0006]优选的，所述拉板与所述支架固定连接，所述卡接座与所述支架和屏蔽罩均滑动连接，拉板可以通过连接杆带动卡接座进行移动。
[0007]优选的，所述弹簧一的一端与所述支架固定连接，所述弹簧一的另一端与所述卡接座固定连接，弹簧一可以通过弹力带动卡接座自动复位。
[0008]优选的，所述驱动架与所述安装座滑动连接，所述限位块与所述支架滑动连接，所述驱动架与所述支架接触，所述移动块与所述安装座滑动连接，驱动架可以带动限位块进行移动。
[0009]优选的，所述弹簧二的一端与所述安装座固定连接，所述弹簧二的另一端与所述驱动架固定连接，弹簧二可以通过弹力带动驱动架自动复位。
[0010]优选的，所述支架上固定连接有多个均匀分布的支撑块，所述支撑块与所述屏蔽罩滑动连接，支撑块对屏蔽罩起支撑作用。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]1、本技术通过在安装座上加设驱动架、限位块与弹簧二等结构，可以通过弹簧二的弹力带动驱动架上的限位块滑入到支架的内部，在需要对屏蔽装置进行清理时，只
需要将限位块脱离支架，即可将支架与屏蔽罩拆卸下来进行清洗，从而可以使得屏蔽装置拆卸更加方便。
[0013]2、本技术通过在支架上加设卡接座、弹簧一与连接杆等结构，可以通过弹簧一的弹力带动卡接座滑入到屏蔽罩的内部对屏蔽罩进行限位，在需要对支架与屏蔽罩进行分离时，只需要将卡接座脱离屏蔽罩即可将屏蔽罩与支架分离，从而可以使得屏蔽罩更加便于清洗。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构立体图；
[0015]图2为本技术的图1的正视剖视图；
[0016]图3为本技术的图2的A部结构放大图；
[0017]图4为本技术的图2的B部结构放大图。
[0018]图中：1、电极杆；2、安装座；3、支架；4、支撑块；5、屏蔽罩；6、连接杆；7、卡接座；8、弹簧一；9、拉板；10、限位杆；11、驱动架；12、限位块；13、弹簧二；14、移动块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1、图2，一种阴极弧屏蔽装置，包括电极杆1，电极杆1的外侧固定连接有安装座2，安装座2上接触有支架3，支架3的内部滑动连接有屏蔽罩5，支架3上固定连接有多个均匀分布的支撑块4，支撑块4与屏蔽罩5滑动连接，支撑块4对屏蔽罩5起支撑作用。
[0021]请参阅图1、图2、图3，支架3的内部滑动连接有连接杆6，连接杆6的一端固定连接有卡接座7，连接杆6的外侧设置有弹簧一8，连接杆6的另一端固定连接有拉板9，拉板9与支架3固定连接，卡接座7与支架3和屏蔽罩5均滑动连接，拉板9可以通过连接杆6带动卡接座7进行移动，弹簧一8的一端与支架3固定连接，弹簧一8的另一端与卡接座7固定连接，弹簧一8可以通过弹力带动卡接座7自动复位。
[0022]请参阅图1、图2、图4，安装座2的内部固定连接有限位杆10，限位杆10的外侧滑动连接有驱动架11，驱动架11上固定连接有限位块12，限位杆10的外侧设置有弹簧二13，驱动架11上固定连接有移动块14，驱动架11与安装座2滑动连接，限位块12与支架3滑动连接，驱动架11与支架3接触，移动块14与安装座2滑动连接，驱动架11可以带动限位块12进行移动，弹簧二13的一端与安装座2固定连接，弹簧二13的另一端与驱动架11固定连接，弹簧二13可以通过弹力带动驱动架11自动复位。
[0023]本技术具体实施过程如下：在需要对屏蔽罩5与支架3进行拆卸时，推动移动块14，移动块14通过驱动架11带动限位块12进行移动，并对弹簧二13进行压缩，当限位块12脱离支架3时，便可将支架3脱离安装座2，从而便可完成对屏蔽装置拆卸；
[0024]在对屏蔽装置拆卸后，拉动拉板9，拉板9通过连接杆6带动卡接座7向脱离屏蔽罩5的方向上进行移动，并对弹簧一8进行压缩，当卡接座7脱离屏蔽罩5后，便可将屏蔽罩5与支
架3分离，从而可以使得屏蔽罩5更加便于清理。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阴极弧屏蔽装置，包括电极杆(1)，其特征在于：所述电极杆(1)的外侧固定连接有安装座(2)，所述安装座(2)上接触有支架(3)，所述支架(3)的内部滑动连接有屏蔽罩(5)，所述支架(3)的内部滑动连接有连接杆(6)，所述连接杆(6)的一端固定连接有卡接座(7)，所述连接杆(6)的外侧设置有弹簧一(8)，所述连接杆(6)的另一端固定连接有拉板(9)，所述安装座(2)的内部固定连接有限位杆(10)，所述限位杆(10)的外侧滑动连接有驱动架(11)，所述驱动架(11)上固定连接有限位块(12)，所述限位杆(10)的外侧设置有弹簧二(13)，所述驱动架(11)上固定连接有移动块(14)。2.根据权利要求1所述的一种阴极弧屏蔽装置，其特征在于：所述拉板(9)与所述支架(3)固定连接，所述卡接座(7)与所述支架(3)和屏蔽罩(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：李琪，郭红波，蒋艳，
申请(专利权)人：苏州赛睿达纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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