一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法技术

本发明专利技术涉及合金锯片的制备领域，具体涉及一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法，该方法依次包括以下步骤：(1)沉积技术的确认、(2)靶材及靶材数量的确认、(3)合金锯片的选择与前处理过程、(4)合金锯片的放置、(5)镀膜工艺的确定，通过该方法制备的AlCrTiSiN纳米复合涂层综合性能良好、硬度高、高温稳定性强、能有效防止涂层脱落的问题，延长涂层工件的使用寿命。长涂层工件的使用寿命。长涂层工件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法


[0001]本专利技术涉及合金锯片的制备领域，具体涉及一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法。

技术介绍

[0002]随着科技和加工产业的发展，对材料表面性能提出了更高的要求，材料表面性能应用价值极高，材料表面顺应需求发展成一门学科，成为解决材料表面性能的技术支撑学科。涂层防护技术在优化表面性能中应用的越来越广泛，沉积涂层技术也得到了快速的发展，并一时间成为冶金、航空、汽车配件等领域的研究热点。涂层技术大力发展，对刀具产业的升级也是史无前例的，现代工业应用对刀具性能提出了更高的要求，单层涂层已经不能满足一些高速上切削或者干切削，刀具对涂层提出的高硬度、高韧性、耐磨损、抗高温氧化和裂纹扩展等性能的要求。为了制备出高性能的涂层，纳米多层涂层技术被提出用以制备超高硬度兼具强韧性的涂层。
[0003]CrN是一种成熟的二元涂层，因其具有良好的膜基结合力、抗氧化性能和耐磨性而得到了广泛的应用；Al元素在高温服役环境中易形成致密的Al2O3隔热保护层，防止涂层进一步发生高温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：(1)沉积技术的确认：采用多弧离子镀技术来镀覆AlCrTiSiN纳米复合涂层合金锯片；(2)靶材及靶材数量的确认：采用4个AlCr合金靶和4个TiSi合金靶作为阴极弧源靶，AlCr合金靶和TiSi合金靶交替置于不同高度和不同位置的镀膜室壁弧源位置，靶材纯度均达到99.95％，镀膜过程中保证根据工艺启动合金靶；(3)合金锯片的选择与前处理过程：选择合金锯片作为镀膜基体，放在镀膜室进行镀膜操作前，使用金属清洗剂对合金锯片进行超声波去油、去污处理，然后90℃烘干以备沉积；(4)合金锯片的放置：采用公转加自转的旋转方式，合金锯片含盖板间距为29
‑
40mm，合金锯片所在挂具杆上下空余不超过150mm；(5)镀膜工艺的确定：基体离子清洗步骤：设定温度300℃
‑
450℃，镀膜室本底真空达到(1
‑
5)
×
10
‑3Pa时，将镀膜室充入氩气，使其压强达到(2
‑
4)
×
10
‑1Pa，启用两个离子刻蚀靶，进行离子清洁，靶电流选取130
‑
150A，转架负偏压为40
‑
150V脉冲频率10
‑
70KHz、脉冲占空比40％
‑
95％进行离子清洁，时间为110min；制备AlCrN膜层：向镀膜室...

【专利技术属性】
技术研发人员：李永皓，张露馨，王海，关力，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：