下载一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法的技术资料

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本发明涉及合金锯片的制备领域,具体涉及一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法,该方法依次包括以下步骤:(1)沉积技术的确认、(2)靶材及靶材数量的确认、(3)合金锯片的选择与前处理过程、(4)合金锯片的放置、(5)镀膜工艺...
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