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一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法技术
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下载一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法的技术资料
文档序号:35655200
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本发明涉及合金锯片的制备领域,具体涉及一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法,该方法依次包括以下步骤:(1)沉积技术的确认、(2)靶材及靶材数量的确认、(3)合金锯片的选择与前处理过程、(4)合金锯片的放置、(5)镀膜工艺...
该专利属于沈阳乐贝真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳乐贝真空技术有限公司授权不得商用。
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