真空以及真空破坏用复合阀制造技术

得到一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度的问题。将主阀部（１）和流路合流部（２）以及先导阀部（３）形成为同等的宽度，同时沿阀轴线（Ｌ）一列并且一体地结合，该主阀部（１）通过真空用以及加压用的两个阀部件（８）、（９），单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路（６）以及用于将真空破坏用的压力流体供给到负荷的加压流路（７）；该流路合流部（２）通过一个合流口（１０），将上述真空流路（６）和加压流路（７）连接到负荷；该先导阀部（３）通过两个先导阀（１１）、（１２），单独对上述阀部件（８）、（９）进行开闭操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空以及真空破坏用复合阀，更详细地说是涉及构成为针对吸附台等的负荷，交替供给真空压和真空破坏用的压力流体的复合阀。
技术介绍
例如，在各种加工装置中，在将工件运送到规定的加工场所或收容场所等的情况下，使用真空吸附装置。该真空吸附装置具有吸附台、吸入泵等的真空源、供给用于真空破坏的压力流体的压力流体源、连接在这些真空源以及压力流体源和上述吸附台之间的真空转换装置，利用该真空转换装置，通过将上述吸附台连接到真空源来吸附工件，运送到规定的场所，然后，通过利用上述真空转换装置将吸附台连接到压力流体源，破坏真空而解除吸附，将工件释放到该位置。用于这样的真空吸附装置的上述真空转换装置，例如专利文献1或者专利文献2所述的那样，是通过组合多个电磁阀和转换阀等构成，这些电磁阀和转换阀与节流阀等的其他的相关零件一起被组装在装置主体上。特开平5-26367公报特开平8-309684公报但是，上述以往的真空转换装置，是通过象上述那样将多个电磁阀和转换阀与其他的相关零件一起一体组装在装置主体上而构成的，都是各个零件以各种各样的朝向安装在装置主体的各种各样的位置上，所以不仅作为整体大型杂乱，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结所述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结所述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于所述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；所述先导阀部具有两个单独对所述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，所 述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，所述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，所述先导...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫添真司，松本拓实，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]