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得到一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度的问题。将主阀部（１）和流路合流部（２）以及先导阀部（３）形成为同等的宽...
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