一种配置水冷阳极的真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体，所述机体的顶部连通有阳极，所述阳极的上方安装有固定件，所述机体的内壁顶部安装有第二温度探头，所述外壳的顶部一侧连通有阀门。本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，通过环形管、潜水泵和阀门之间的配合，通过第一温度探头和第二温度探头的监测，使用者可灵活控制阀门的打开幅度和潜水泵的工作，保证在节约资源的前提下维持阳极的正常工作，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作的问题，不影响正常使用。不影响正常使用。不影响正常使用。

【技术实现步骤摘要】
一种配置水冷阳极的真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种配置水冷阳极的真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]低温等离子体表面处理工艺是指在负压下一般为几十帕，对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态，等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要，而在阳极管接受电子时，阳极管的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，所以在工作时就需要一种配置水冷阳极的真空镀膜装置。
[0003]现有装置是在阳极管的内部放置有环形管，使用循环水进行冷却。
[0004]但是现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作，影响了正常使用。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，解决了现有装置在进行工作时无法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的顶部连通有阳极（2），所述阳极（2）的上方安装有固定件（3），所述固定件（3）的底部通过螺栓与机体（1）的顶部固定连接，所述固定件（3）的顶部连通有环形管（4），所述环形管（4）的外壁上方贯穿有外壳（8），所述外壳（8）的下方与机体（1）的一侧固定连接，所述环形管（4）的上方安装有潜水泵（6），所述外壳（8）的顶部一侧安装有第一温度探头（5），所述机体（1）的内壁顶部安装有第二温度探头（9），所述外壳（8）的顶部一侧连通有阀门（7）。2.根据权利要求1所述的一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，其特征在于：所述机体（1）的内壁底部固接有电机（10），所述电机（10）的输出端固接有第一齿轮（11），所述第一齿轮（11）的一侧啮合相连有第二齿轮（12），所述第二齿轮（12）的顶部固接有转板（13），所述转板（13）的外壁活动相连有圆板（14），所述圆板（14）的外壁与机体（1）的内壁下方固定连接，所述转板（13）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王开亮，王帅，李天琦，王海，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：