一种配置水冷阳极的真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体，所述机体的顶部连通有阳极，所述阳极的上方安装有固定件，所述机体的内壁顶部安装有第二温度探头，所述外壳的顶部一侧连通有阀门。本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，通过环形管、潜水泵和阀门之间的配合，通过第一温度探头和第二温度探头的监测，使用者可灵活控制阀门的打开幅度和潜水泵的工作，保证在节约资源的前提下维持阳极的正常工作，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作的问题，不影响正常使用。不影响正常使用。不影响正常使用。

【技术实现步骤摘要】
一种配置水冷阳极的真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种配置水冷阳极的真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]低温等离子体表面处理工艺是指在负压下一般为几十帕，对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态，等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要，而在阳极管接受电子时，阳极管的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，所以在工作时就需要一种配置水冷阳极的真空镀膜装置。
[0003]现有装置是在阳极管的内部放置有环形管，使用循环水进行冷却。
[0004]但是现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作，影响了正常使用。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作，影响了正常使用的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体，所述机体的顶部连通有阳极，所述阳极的上方安装有固定件，所述固定件的底部通过螺栓与机体的顶部固定连接，所述固定件的顶部连通有环形管，所述环形管的外壁上方贯穿有外壳，所述外壳的下方与机体的一侧固定连接，所述环形管的上方安装有潜水泵，所述外壳的顶部一侧安装有第一温度探头，所述机体的内壁顶部安装有第二温度探头，所述外壳的顶部一侧连通有阀门。
[0007]优选的，所述机体的内壁底部固接有电机，所述电机的输出端固接有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧啮合相连有第二齿轮，所述第二齿轮的顶部固接有转板，所述转板的外壁活动相连有圆板，所述圆板的外壁与机体的内壁下方固定连接，所述转板的顶部通过螺栓固接有直杆，所述直杆的外壁上方通过轴承与机体的内壁顶部转动相连，所述直杆的一侧固接有弧形板，所述弧形板的一侧固接有滑杆，所述滑杆的外壁滑动卡接有多个连接件，多个所述连接件的顶部通孔均间隙配合有卡块，多个所述卡块的顶部固接有直板。
[0008]优选的，所述直板的顶部固接有圆杆，所述圆杆的外壁上方间隙配合有横板，所述横板的一侧弧形板的一侧固定连接，所述圆杆的顶部固接有弹簧，所述弹簧的顶部与横板的凹槽上方固定连接。
[0009]优选的，所述连接件与滑杆构成滑动限位机构。
[0010]优选的，所述机体的顶部一侧安装有真空泵。
[0011]有益效果
[0012]本技术提供了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置。具备以下有益效果：该配置水冷阳极的真空镀膜装置通过环形管、潜水泵和阀门之间的配合，通过第一温度探头和第二温度探头的监测，使用者可灵活控制阀门的打开幅度和潜水泵的工作，保证在节约资源的前提下维持阳极的正常工作，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作的问题，不影响正常使用。
[0013]通过直杆、弹簧和连接件之间的配合，实现了连接件的快速安装，使用者可根据实际的使用需求来适当的增加和减少连接件的数量，同时也可以根据不同的加工零件来更换不同的连接件，提高了工作效率。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为图1的外观示意图；
[0016]图3为图1中环形管、潜水泵和阀门的结构示意图；
[0017]图4为图1中直杆、弹簧和连接件的结构示意图。
[0018]图中：1、机体，2、阳极，3、固定件，4、环形管，5、第一温度探头，6、潜水泵，7、阀门，8、外壳，9、第二温度探头，10、电机，11、第一齿轮，12、第二齿轮，13、转板，14、圆板，15、真空泵，16、直杆，17、弧形板，18、横板，19、弹簧，20、圆杆，21、直板，22、卡块，23、滑杆，24、连接件。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器以及编码器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明。
[0021]实施例一：由图1
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3可知，一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体1，机体1为真空镀膜机的主要工作元件，由于部分元件不是本技术的专利技术点，此处不做具体的限定，机体1的顶部连通有阳极2，阳极2与机体1的具体电连接方式不做赘述，为公知技术，阳极2的上方安装有固定件3，固定件3的底部通过螺栓与机体1的顶部固定连接，固定件3的顶部连通有环形管4，环形管4的外壁上方贯穿有外壳8，在外壳8的底部安装有出水口，外壳8的下方与机体1的一侧固定连接，环形管4的上方安装有潜水泵6，潜水泵6的型号不做限定，外壳8的顶部一侧安装有第一温度探头5，其中第一温度探头5和第二温度探头9的型号不做限定，第二温度探头9的监测端正对阳极2，可监测阳极2的温度变化，机体1的内壁顶部安装
有第二温度探头9，外壳8的顶部一侧连通有阀门7，其中阀门7为电动球阀，具体型号不做限定；
[0022]在具体实施过程中，值得特别指出的是，通过第一温度探头5和第二温度探头9的监测，使用者可灵活控制阀门7的打开幅度和潜水泵6的工作，保证在节约资源的前提下维持阳极2的正常工作，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作的问题，不影响正常使用；
[0023]具体的，在使用该配置水冷阳极的真空镀膜装置时，首先启动潜水泵6，潜水泵6在工作时可将环形管4内的冷却液循环抽取，在外壳8内流动有水对冷却液进行冷却，实现了换热，其中第二温度探头9的监测端正对阳极2，第一温度探头5可监测外壳8内的温度变化，使用者可观察两个温度探头的数值来控制阀门7和潜水泵6，将阳极2维持在正常温度的同时也减少了资源的浪费。
[0024]实施例二：由图1、2和4可知，机体1的内壁底部固接有电机10，电机10的型号为SM80
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D601930，电机10的输出端固接有第一齿轮11，第一齿轮11的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的顶部连通有阳极（2），所述阳极（2）的上方安装有固定件（3），所述固定件（3）的底部通过螺栓与机体（1）的顶部固定连接，所述固定件（3）的顶部连通有环形管（4），所述环形管（4）的外壁上方贯穿有外壳（8），所述外壳（8）的下方与机体（1）的一侧固定连接，所述环形管（4）的上方安装有潜水泵（6），所述外壳（8）的顶部一侧安装有第一温度探头（5），所述机体（1）的内壁顶部安装有第二温度探头（9），所述外壳（8）的顶部一侧连通有阀门（7）。2.根据权利要求1所述的一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，其特征在于：所述机体（1）的内壁底部固接有电机（10），所述电机（10）的输出端固接有第一齿轮（11），所述第一齿轮（11）的一侧啮合相连有第二齿轮（12），所述第二齿轮（12）的顶部固接有转板（13），所述转板（13）的外壁活动相连有圆板（14），所述圆板（14）的外壁与机体（1）的内壁下方固定连接，所述转板（13）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王开亮，王帅，李天琦，王海，
申请(专利权)人：沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：