一种真空镀膜机的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。本实用新型专利技术利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。的冷却效率。的冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的冷却装置


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，更具体地说，涉及一种真空镀膜机的冷却装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是一种集成化的设备，主要分为蒸发和溅射两大类在较高真空度下进行镀膜，由于真空镀膜机的工作模式，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，因此需要使用冷却设备对腔体进行降温。
[0003]市场上常见的冷却设备通常是在镀膜的高温腔体外侧设置若干圈用于降温的水管，并在水管内部输送冷却水，通过流动的冷却水带走高温腔体外壁逸散出来的热量，但是这种方式对高温腔体的降温效果不佳，鉴于此，我们提出一种真空镀膜机的冷却装置。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有冷却设备对高温腔体降温效果不佳的问题。
[0006]2.技术方案
[0007]一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。
[0008]优选地，所述上连接管的内部安装有用以抽气的抽气扇，所述下连接管的内部安装有用以鼓气的鼓气扇。
[0009]优选地，所述换热组件包括安装在外壳内部的若干换热管道，若干个所述换热管道平行且等距设置，若干个所述换热管道之间连接有第一连接诶管道，所述第一连接诶管道与若干个换热管道相通连接，所述换热管道的一侧相通连接有进气管道，所述换热管道的另一侧相通连接有出气管。
[0010]优选地，所述散热组件包括位于真空腔体外侧的若干个输水管道和若干个与真空腔体外侧壁固定连接的导热块，若干个所述输水管道之间相通连接有第二连接管道，所述导热块的中部位置处开设有开口槽，所述输水管道和抽水泵之间设置有进水管道。
[0011]优选地，所述进水管道的一端部与所述输水管道相通连接，所述进水管道的另一端部穿过外壳的内侧壁并延伸至外壳外部与抽水泵的输出端相连接，所述抽水泵与所述输水管道通过所述进水管道相连通。
[0012]优选地，若干个所述导热块围绕真空腔体的外侧壁均匀分布，若干个所述导热块分成与输水管道数量相同的若干组，每个所述输水管道均位于对应位置处那一组导热块开设的开口槽中。
[0013]优选地，若干组所述换热管道与若干组所述输水管道间隔设置，所述换热管道位于所述输水管道外侧。
[0014]3.有益效果
[0015]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0016]1、通过本技术设计的整体结构，利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。
[0017]2、本技术利用相互配合的抽气扇和鼓气扇，使外壳内部的气体由下向上进行流动，从而使对真空腔体降温的水蒸气随气流一道由下向上流动，换热管道中流动的冷却气体在水平方向上移动，从而使得两者的移动方向相切，从而使得换热管道与水蒸气的接触速率进一步提高，从而使得换热效率进一步提高。
附图说明
[0018]图1为本技术的整体结构右侧示意图；
[0019]图2为本技术的整体结构左侧示意图；
[0020]图3为本技术的整体结构去除外壳的结构示意图；
[0021]图4为本技术去除外壳和换热组件的结构示意图；
[0022]图5为本技术真空腔体和导热块的结构示意图；
[0023]图6为本技术图5中A处结构放大图；
[0024]图中标号说明：1、真空腔体；2、外壳；3、下连接管；4、上连接管；5、换热管道；6、第一连接管道；7、进气管道；8、鼓气泵；9、出气管；10、抽水泵；11、进水管道；12、输水管道；13、第二连接管道；14、导热块；15、开口槽；16、抽气扇；17、鼓气扇。
具体实施方式
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]请参阅图1
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6,本技术提供一种技术方案：
[0029]一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体1和将安装于真空腔体1外部的外壳2，外壳2的下方开设有下连接管3，外壳2的上方开设有上连接管4，真空腔体1和外壳2之间安装有换热组件和散热组件，外壳2的一侧设有鼓气泵8，外壳2的另一侧设置有抽水泵10。
[0030]具体的，上连接管4的内部安装有用以抽气的抽气扇16，将外壳2外部的空气抽送进外壳2内部，下连接管3的内部安装有用以鼓气的鼓气扇17，鼓气扇17将外壳2内部的气体抽离至外界。
[0031]进一步的，换热组件包括安装在外壳2内部的若干换热管道5，若干个换热管道5平行且等距设置，若干个换热管道5之间连接有第一连接诶管道6，第一连接诶管道6与若干个换热管道5相通连接，换热管道5的一侧相通连接有进气管道7，换热管道5的另一侧相通连接有出气管9，鼓气泵8通过进气管道7为换热管道5中输送低温气体，空气中的热量经过换热管道5进行热量交换，换热管道5中的气体被加热从而带走外壳2内部的热量，进而对真空腔体1进行降温。
[0032]值得说明的是，散热组件包括位于真空腔体1外侧的若干个输水管道12和若干个与真空腔体1外侧壁固定连接的导热块14，若干个输水管道12之间相通连接有第二连接管道13，导热块14的中部位置处开设有开口槽15，输水管道12和抽水泵10之间设置有进水管道11，真空腔体1产生的热量通过导热性能好的导热块14进行散热，并且输水管道12的表面均匀开设有若干个喷水孔，当抽水泵10通过进水管道11为输水管道12输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体(1)和将安装于真空腔体(1)外部的外壳(2)，其特征在于：所述外壳(2)的下方开设有下连接管(3)，所述外壳(2)的上方开设有上连接管(4)，所述真空腔体(1)和外壳(2)之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳(2)的一侧设有鼓气泵(8)，所述外壳(2)的另一侧设置有抽水泵(10)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述上连接管(4)的内部安装有用以抽气的抽气扇(16)，所述下连接管(3)的内部安装有用以鼓气的鼓气扇(17)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述换热组件包括安装在外壳(2)内部的若干换热管道(5)，若干个所述换热管道(5)平行且等距设置，若干个所述换热管道(5)之间连接有第一连接诶管道(6)，所述第一连接诶管道(6)与若干个换热管道(5)相通连接，所述换热管道(5)的一侧相通连接有进气管道(7)，所述换热管道(5)的另一侧相通连接有出气管(9)。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述散热组件包括位于真空腔体(1)外侧的若干个输水管道(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李林，
申请(专利权)人：李林，
类型：新型
国别省市：