发电系统、管理装置以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术利用废热来高效发电。本发明专利技术向分别设置于多个热源并连接于冷却热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路的发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，根据将多个热源冷却之后的各个冷却介质的温度分别控制设置在多个冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制冷却介质从多个冷却介质通路向发电部的流入，以使流入发电部的冷却介质的温度成为预定的温度以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发电系统、管理装置以及基板处理装置
本专利技术涉及发电系统、管理装置以及基板处理装置。
技术介绍
近年，由于环境变动、气候变动等问题，半导体制造工厂也需要减少环境负担，并正在进行节能措施。因此，例如，考虑通过在半导体制造装置的反应容器的周围设置蒸汽产生单元，而利用来自反应容器的废热进行发电等，实现节能(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004-055558号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在现有技术中，有时无法获得充分的发电输出，从而发电效率变差。本专利技术的目的在于利用废热来高效发电。用于解决课题的手段根据本专利技术的一方式，提供一种技术，其向分别设置于多个热源并连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路的发电部，流入将所述多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，其中，该技术根据将所述多个热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在所述多个冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从所述多个冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。专利技术效果根据本专利技术，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种发电系统，其向发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，所述发电部分别设置于多个所述热源，并且连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路，其中，根据将多个所述热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从多个所述冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.26 JP 2016-0353631.一种发电系统，其向发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，所述发电部分别设置于多个所述热源，并且连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路，其中，根据将多个所述热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从多个所述冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。2.根据权利要求1所述的发电系统，其中，通过分别设置在所述冷却介质通路中的温度检测部，来检测将所述热源冷却之后的所述冷却介质的温度。3.根据权利要求2所述的发电系统，其中，通过分别设置在所述冷却介质通路中的流量检测部，来检测所述冷却介质的流量。4.根据权利要求3所述的发电系统，其中，根据将所述热源冷却之后的各个所述冷却介质的温度来计算从多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路流入所述发电部的所述冷却介质的流入量，并根据所述流入量来控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。5.根据权利要求4所述的发电系统，其中，当所述冷却介质的温度是低于所述预定的温度的温度时，控制所述开闭部来关闭所述开闭部。6.根据权利要求1所述的发电系统，其中，控制所述开闭部，以使没有流入所述发电部的所述冷却介质流入并贮留在贮留所述冷却介质的贮留部。7.根据权利要求6所述的发电系统，其中，控制对所述贮留部进行加热的加热部，以使所述贮留部内的所述冷却介质保持在预定的温度以上。8.根据权利要求7所述的发电系统，其中，在来自所述热源的所述冷却介质的温度或者流量不足时，使所述贮留部的所述冷却介质流入所述发电部。9.根据权利要求7所述的发电系统，其中，所述发电系统构成为在所述冷却介质的温度或者流量不足，且所述发电部的发电效率在预定值以下时，发出警报。10.根据权利要求1所述的发电系统，其中，所述发电部具有：第1...

【专利技术属性】
技术研发人员：山峰直利，石津秀雄，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：日本,JP