发电系统、管理装置以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术利用废热来高效发电。本发明专利技术向分别设置于多个热源并连接于冷却热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路的发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，根据将多个热源冷却之后的各个冷却介质的温度分别控制设置在多个冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制冷却介质从多个冷却介质通路向发电部的流入，以使流入发电部的冷却介质的温度成为预定的温度以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发电系统、管理装置以及基板处理装置
本专利技术涉及发电系统、管理装置以及基板处理装置。
技术介绍
近年，由于环境变动、气候变动等问题，半导体制造工厂也需要减少环境负担，并正在进行节能措施。因此，例如，考虑通过在半导体制造装置的反应容器的周围设置蒸汽产生单元，而利用来自反应容器的废热进行发电等，实现节能(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004-055558号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在现有技术中，有时无法获得充分的发电输出，从而发电效率变差。本专利技术的目的在于利用废热来高效发电。用于解决课题的手段根据本专利技术的一方式，提供一种技术，其向分别设置于多个热源并连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路的发电部，流入将所述多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，其中，该技术根据将所述多个热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在所述多个冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从所述多个冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。专利技术效果根据本专利技术，能够利用废热来高效发电。附图说明图1是本专利技术的一实施方式所涉及的发电系统的示意性结构图。图2是表示本专利技术的一实施方式所涉及的发电系统的控制系统的结构框图。图3是二进制发电方式的示意性结构图。图4是珀尔帖发电方式的示意性结构图。图5是表示珀尔帖元件的发电概念的示意图。图6是基板处理装置的纵向剖面图。图7是基板处理装置的处理炉的纵向剖面图。具体实施方式一边参照附图，一边针对本专利技术的一实施方式进行说明。(发电系统的结构)本实施方式所涉及的发电系统90连结具备热源的装置与设施，能够在一个建筑物中设置全部系统、以与该设施整体协作的工厂单位来使用。特别是在使用作为热处理装置的半导体制造装置等作为具备热源的装置时，由于切实地进行每一个装置的运转状况管理，因此通过使用本系统，能够高效地利用废热。以下，针对使用热处理装置作为具备热源的装置的例子来进行说明。如图1所示，针对多个热处理装置1a1～1an分别设置冷却各个热源的冷却介质所流过的冷却介质通路2a1～2an。当冷却介质穿过冷却介质通路2a1～2an内时，通过回收来自热处理装置1a1～1an的各热源的废热来进行加热。在这里，使用冷却水作为冷却介质。冷却介质也可以称为废热。各冷却介质通路2a1～2an在下游侧合并为一条，并连接到发电部3。在发电部3中，利用冷却了热处理装置1a1～1an的各热源之后的冷却介质的热量来进行发电。针对发电部3的详细内容将予以后述。另外，也可以构成为蓄电池连接发电部3，并使用发电部3来蓄积产生的电力。各冷却介质通路2a1～2an在热处理装置外，从上游侧(热处理装置侧)开始按顺序分别具备：作为温度检测部的温度传感器6a1～6an、作为流量检测部的流量传感器5a1～5an、以及作为开闭部的控制阀门4a1～4an。另外，在各个冷却介质通路2a1～2an中形成有在温度传感器6a1～6an的上游侧通向旁通路线7的分支通路8a1～8an。在分支通路8a1～8an与旁通路线7之间设置截止阀门18a1～18an。通过适当地开闭截止阀门18a1～18an，能够使冷却介质流向发电部3，或者流向旁通路线7，从而根据情况来改变冷却介质的流动路径。旁通路线7是排出不用于发电(不流入发电部3)的冷却介质、在发电部3中用于发电之后的冷却介质的流动路径。由后述的监控服务器9来控制控制阀门4a1～4an、截止阀门18a1～18an以及发电部3。发电系统90可以构成为具备：储存容器10，其作为为了蓄积冷却介质来暂时贮留冷却介质的贮留部。根据像这样的结构，当产生了从热处理装置1a1～1an流入发电部3的冷却介质的温度降低或流量不足的情况时，能够从储存容器10补充冷却介质。由温度传感器12来检测储存容器10内的冷却介质的温度。另外，储存容器10的上游侧连接来自控制阀门4a1～4an的输出的冷却介质通路，并设置有控制阀门11。根据需要，通过将控制阀门11设为打开，由此冷却介质经由控制阀门11供应给储存容器10。当向储存容器10供给的冷却介质过剩时，还能够关闭控制阀门11。储存容器10连接于循环通路14，该循环通路14使从储存容器10排出的冷却介质重新流入储存容器10。在循环通路14的中途设置有控制阀门17与作为循环部的泵15。当泵15停止时，通过关闭控制阀门17，能够防止冷却介质的回流。根据这样的结构，能够使贮留在储存容器10内的冷却介质循环。为了使储存容器10内的冷却介质不超过储存容器10的容量，也可以打开控制阀门13来向发电部3供给冷却介质。另外，当从储存容器10向发电部3的供给过量时，通过使控制阀门11、13关闭，并打开控制阀门17以及排出阀门19，可以使冷却介质从旁通路线7流出。另外，还可以构成为通过在储存容器10中设置作为加热部的加热器16，将储存容器10内的冷却介质维持在预定的温度。(监控服务器的结构)接下来，一边参照图2一边说明被构成为能够与上述热处理装置1a1～1an以及发电部3进行数据交换、且被构成为进行发电的控制以及监视的本实施方式所涉及的发电系统管理装置、即作为上位管理装置的监控服务器9的结构。监控服务器9被构成为计算机，其具有构成为中央处理装置(CPU)的控制部20、在内部具有共有存储器区域21的存储器(省略图示)、作为构成为HDD等的存储装置的保存单元的数据保持部(保存部)22、构成为显示器装置等的显示单元的数据显示部23、键盘等的输入单元24以及作为通信单元的通信控制部(通信部)25。上述存储器、数据保持部22、数据显示部23、输入单元24、通信控制部25被构成为经由内部总线等能够与控制部20进行数据交换。另外，控制部20具有未图示的计时功能。在数据保持部(保存部)22中存储着在发电控制程序等的监控服务器9内执行的程序。然后，通过从数据保持部22读出发电控制程序，并由控制部20执行，来实现后述的设定单元26、判定单元27、执行单元28等的各种功能。作为通信单元的通信控制部25连接到热处理装置用控制器(控制部280)、控制阀门4a1～4an、流量传感器5a1～5an、温度传感器6a1～6an以及发电部3的控制部29。通信控制部25被构成为从热处理装置1a1～1an、流量传感器5a1～5an、温度传感器6a1～6an以及发电部3接收监控数据，并传递给共享存储器21。控制部20被构成为将从共享存储器21中读出的监控数据与对确定监控数据的产生源即热处理装置1a1～1an及其下游的冷却介质通路2a1～2an的ID、监控数据生成时刻、经过时间等关联起来并作成数据库，以可读方式传递给数据保持部22并进行存储。另外，控制部20被构成为将存储在数据保持部22中的监控数据与ID以及经过时间等一起传递给数据显示部23，并显示在数据显示部23中。另外，在本实施方式中，控制部20被构成为根据从输入单元24输入的ID、监控数据生成时刻、经过时间等的检索条件来检索数据保持部22，并从数据保持部22中读出对应于检索条件的监控数据，来显示在数据显示部23中。(设定单元)另外，控制部20所具备的设定单元26被构成为接受根据成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种发电系统，其向发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，所述发电部分别设置于多个所述热源，并且连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路，其中，根据将多个所述热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从多个所述冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.26 JP 2016-0353631.一种发电系统，其向发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电，所述发电部分别设置于多个所述热源，并且连接有冷却所述热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路，其中，根据将多个所述热源冷却之后的各个冷却介质的温度来分别控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，并控制所述冷却介质从多个所述冷却介质通路向所述发电部的流入，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。2.根据权利要求1所述的发电系统，其中，通过分别设置在所述冷却介质通路中的温度检测部，来检测将所述热源冷却之后的所述冷却介质的温度。3.根据权利要求2所述的发电系统，其中，通过分别设置在所述冷却介质通路中的流量检测部，来检测所述冷却介质的流量。4.根据权利要求3所述的发电系统，其中，根据将所述热源冷却之后的各个所述冷却介质的温度来计算从多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路流入所述发电部的所述冷却介质的流入量，并根据所述流入量来控制设置在多个所述冷却介质通路中的每一个冷却介质通路中的开闭部，以使流入所述发电部的所述冷却介质的温度成为预定的温度以上。5.根据权利要求4所述的发电系统，其中，当所述冷却介质的温度是低于所述预定的温度的温度时，控制所述开闭部来关闭所述开闭部。6.根据权利要求1所述的发电系统，其中，控制所述开闭部，以使没有流入所述发电部的所述冷却介质流入并贮留在贮留所述冷却介质的贮留部。7.根据权利要求6所述的发电系统，其中，控制对所述贮留部进行加热的加热部，以使所述贮留部内的所述冷却介质保持在预定的温度以上。8.根据权利要求7所述的发电系统，其中，在来自所述热源的所述冷却介质的温度或者流量不足时，使所述贮留部的所述冷却介质流入所述发电部。9.根据权利要求7所述的发电系统，其中，所述发电系统构成为在所述冷却介质的温度或者流量不足，且所述发电部的发电效率在预定值以下时，发出警报。10.根据权利要求1所述的发电系统，其中，所述发电部具有：第1...

【专利技术属性】
技术研发人员：山峰直利，石津秀雄，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：日本,JP