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发电系统、管理装置以及基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:19248112
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本发明利用废热来高效发电。本发明向分别设置于多个热源并连接于冷却热源的冷却介质所流过的多个冷却介质通路的发电部流入将多个热源冷却之后的冷却介质来进行发电,根据将多个热源冷却之后的各个冷却介质的温度分别控制设置在多个冷却介质通路中的每一个冷却...
该专利属于株式会社国际电气所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社国际电气授权不得商用。
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