【技术实现步骤摘要】
一种压电陶瓷的驱动装置
本专利技术涉及精密位移控制
,具体涉及一种压电陶瓷的驱动装置。
技术介绍
压电陶瓷材料具有分辨率高,频率特性好,输出力大,无磁干扰和发热小等优点,其作为纳米级定位系统的执行机构被广泛地使用于航空航天、半导体、生物工程、精密检测及精密加工等领域。在高精度定位应用中,通常会要求压电陶瓷执行器具有纳米量级的定位精度。压电陶瓷材料的伸长量与施加其两端的电压差成正比,当该电压差发生变化时压电陶瓷执行器的定位也随之变化。通常,压电陶瓷驱动电路使用一端接地,另一端使用数模转换器和电压放大器的驱动电路结构,在这种驱动电路结构中数模转换器和电压放大器都会受到温度的影响而产生温度漂移,使得输出电压随温度发生改变,即压电陶瓷两端的电压差变化,继而导致定位系统的定位精度降低。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术存在的缺陷,本专利技术采用以下技术方案:本专利技术提供了一种压电陶瓷的驱动装置。所述压电陶瓷的驱动装置包括微处理器、数模转换器、电压基准和电压放大器;所述微处理器产生数字信号提供给数模转换器;所述数模转换器使用所述电压基准作为数模转换的参考电压,并将 ...
【技术保护点】
1.一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,包括微处理器、数模转换器、电压基准和电压放大器;所述微处理器产生数字信号提供给数模转换器;所述数模转换器使用所述电压基准作为数模转换的参考电压,并将所述数字信号转换为模拟信号传输至所述电压放大器;所述模拟信号经电压放大器放大后传输至压电陶瓷的两端。
【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,包括微处理器、数模转换器、电压基准和电压放大器;所述微处理器产生数字信号提供给数模转换器;所述数模转换器使用所述电压基准作为数模转换的参考电压,并将所述数字信号转换为模拟信号传输至所述电压放大器;所述模拟信号经电压放大器放大后传输至压电陶瓷的两端。2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,所述数模转换器包括第一数模转换器和第二数模转换器。3.如权利要求2所述的一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,所述第一数模转换器和第二数模转换器都使用同一个电压基准作为数模转换的参考电压。4.如权利要求2所述的一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,所述第一数模转换器和第二数模转换器位于同一个封装内。5.如权利要求1所述的一种压电陶瓷的驱动装置,其特征在于,所述电压放大器包括第一电压放大器和第...
【专利技术属性】
技术研发人员:王学亮,李佩玥,张巍,隋永新,杨怀江,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林,22
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