【技术实现步骤摘要】
压电陶瓷驱动装置
本专利技术涉及密位移控制
,具体涉及一种压电陶瓷的驱动方法和装置。
技术介绍
压电陶瓷材料具有分辨率高,频率特性好,输出力大,无磁干扰和发热小等优点,其作为纳米级定位系统的执行机构被广泛地使用于航空航天、半导体、生物工程、精密检测及精密加工等领域。在纳米级的高精度定位应用中,通常要求其执行器具有亚纳米量级的定位分辨率。压电陶瓷材料的伸长量与其驱动电压成正比,因此压电陶瓷驱动电路的驱动电压分辨率决定了压电陶瓷执行器的定位分辨率。通常,压电陶瓷驱动电路为单端结构,在这种电路结构中驱动电压很容易受到环境噪声的影响,例如,电路板电源电压的噪声和从时钟信号耦合的噪声,导致驱动电压分辨率降低,继而导致定位系统的定位分辨率降低。
技术实现思路
本专利技术为解决现有压电陶瓷驱动技术存在的易受环境噪声影响的问题,提供一种压电陶瓷驱动装置。 压电陶瓷驱动装置,包括数模转换器、电压放大器和差分驱动器;数字信号经数模转换器转换以后变为模拟电压信号;模拟电压信号经电压放大器放大后传输至差分驱动器;差分驱动器将电压施加于压电陶瓷两端。 本专利技术还包括微控制器,所述微控制器产生的数字信号提供给数模转换器,所述微控制器、数模转换器、电压放大器和差分驱动器装配在印制电路板上。 本专利技术还包括数字信号处理器,所述数字信号处理器产生的数字信号提供给数模转换器,所述数字信号处理器、数模转换器、电压放大器和差分驱动器装配在印制电路板上。 本专利技术的有益效果:本专利技术使用差分驱动器对压电陶瓷进行驱动,提高了定位系统的定位分辨 ...
【技术保护点】
压电陶瓷驱动装置,包括数模转换器(4)、电压放大器(7)、差分驱动器(11);其特征是,数字信号经数模转换器(4)转换后变为模拟电压信号;所述模拟电压信号经电压放大器(7)放大后传输至差分驱动器(11);所述差分驱动器(11)将电压施加于压电陶瓷(12)两端。
【技术特征摘要】
1.压电陶瓷驱动装置,包括数模转换器(4)、电压放大器(7)、差分驱动器(11);其特征是,数字信号经数模转换器(4)转换后变为模拟电压信号;所述模拟电压信号经电压放大器(7)放大后传输至差分驱动器(11);所述差分驱动器(11)将电压施加于压电陶瓷(12)两端。2.根据权利I所述的压电陶瓷驱动装置,其特征在于,还包括微控制器(I),所述微控制器(I)产生的数字信号提供给数模转换器(4)。3.根据权利I所述的压电陶瓷驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员:王学亮,李佩玥,张巍,隋永新,杨怀江,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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