一种压电陶瓷马达驱动的位移平台制造技术

一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，涉及一种电动位移平台。提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，导轨设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接，压板固于导轨上端。或设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，滑块设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接，压板固于滑块上端。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电动位移平台，尤其是涉及一种压电陶瓷马达驱动的位移平台。
技术介绍
传统的电动位移平台一般由步进电机、基台、驱动螺杆和滑块几大部件组成。由于普通步进电机体积的限制，一般置于基台的外部，导致较大的体积。另外，步进电机和螺杆的重量较重，当由线性位移平台叠加组合而成的二维或三维平台时，由于位移平台整体重量较大，因此位移平台的运动和加速受到限制。压电陶瓷马达作为一种全新的驱动器，以低速大转矩、大静态保持力矩、响应速度快、体积小重量轻，纳米量级的分辨率以及无磁场干扰等优点受到国内外的广泛关注，并在众多领域(如电镜光学)得到了应用。通常，压电陶瓷马达可以分为直线型和旋转型。直线压电陶瓷马达中的动子作直线运动；而旋转压电陶瓷马达中的动子作旋转运动。当压电陶瓷马达用于平台驱动时，可直接驱动平台的滑块，而不需要普通电磁马达驱动所用的驱动螺杆，同时由于压电陶瓷马达的重量较轻，使整体平台重量大为减小。
技术实现思路
本技术的目的是克服传统电动位移平台的缺点，提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。本技术的技术方案之一一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，导轨设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接，压板固于导轨上端。所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达，2个压电陶瓷马达并联设于导轨内，2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接，这样可增加驱动力(推力)。所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片，定子套卡套在定子上，预紧弹簧片与定子套连接。所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子，这样更便于安装在导轨内的有限空间中。本技术的技术方案之二 一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，滑块设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接，压板固于滑块上端。所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达，2个压电陶瓷马达并联设于导轨内，2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接，这样可增加驱动力(推力)。所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片，定子套卡套在定子上，预紧弹簧片与定子套连接。所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子，这样更便于安装在滑块内的有限空间中。与传统的电动位移平台比较，本技术具有如下突出优点采用压电陶瓷马达作为驱动器，并将压电陶瓷马达内置于导轨或滑块内，可以制成集成化程度高、体积小巧、重量轻、可高精度控制位移量的位移平台。而且可将2个压电陶瓷马达驱动的位移平台进行组合使用，其中一个用于驱动位移平台沿X轴方向移动，另一个用于驱动位移平台沿Y轴方向移动，这样，就可制成二维运动的位移平台，从而大大拓展了本技术的应用范围。若需要加大推力，可增加压电陶瓷马达数量，采用2个或2个以上压电陶瓷马达。附图说明图1为本技术实施例1的外观结构示意图。图2为图1的结构分解示意图。图3为本技术实施例2的结构分解示意图。图4为本技术实施例3的结构分解示意图。图5为本技术实施例4的外观结构示意图。图6为图5的结构分解示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。实施例1参见图1和2，本技术实施例设有压板106、导轨100、滑块104和压电陶瓷马达。滑块104与导轨100滑动配合，导轨100设有马达放置槽1001，压电陶瓷马达安装于马达放置槽1001内。压电陶瓷马达设有定子103和驱动足102，还设有定子套101和预紧弹簧片105。驱动足102与滑块104的中间凹槽1040触接，定子套101卡套在定子103上， 预紧弹簧片105固定子套101上，压板106压在预紧弹簧片105上，压板106固于导轨100 上端。预紧弹簧片105的作用是对驱动足102施加预紧力。本实施例由于压电陶瓷马达固于导轨100内，滑块104的行程较短(一般小于滑块自身的长度)。使用时，导轨100固定不动(如固定在外部机体上)，滑块104在压电陶瓷马达的驱动足102的作用下发生移动。 根据实际应用情况，滑块104可直接作为位移平台的台面使用。滑块104也可与外部设备的台面连接联动，共同构成位移平台。实施例2参见图3，与实施例1类似，区别在于滑块200设有马达放置槽2001，压电陶瓷马达安装于马达放置槽2001内。驱动足102与导轨201的中间凹槽2010触接。工作时，导轨201固定不动，滑块200连同压电陶瓷马达一起移动。图3中的其余标号与实施例1对应一致。实施例3参见图4，与实施例1类似，区别在于，为了增加对滑块的推力，本实施例设有2个压电陶瓷马达301和302，2个压电陶瓷马达301和302并联，共同设于导轨303上，导轨 303设有2个压电陶瓷马达放置槽3031和3032。2个压电陶瓷马达301和302的驱动足均与滑块304的中心凹槽触接。实施例4参见图5和6，与实施例3类似，区别在于，为了实现位移平台的二维运动，本实施例将上下2个位移平台进行叠加组合使用(以实施例3所述的位移平台为例)。即将上部位移平台的压板与下部位移平台的滑块固连。由于上位移平台和下位移平台可分别实现整体朝X轴和Y轴两个方向上移动，因此本实施例为二维运动的位移平台。图5和6中的标号与实施例3对应一致。本实施例上位移平台与下位移平台相同(也可不同)。权利要求1.一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，导轨设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接，压板固于导轨上端。2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述至少1个压电陶瓷马达为2个压电陶瓷马达，2个压电陶瓷马达并联设于导轨内，2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接。3.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述压电陶瓷马达设有定子套和预紧弹簧片，定子套卡套在定子上，预紧弹簧片与定子套连接。4.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述压电陶瓷马达的定子为柱状或管状定子。5.一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，滑块设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接，压板固于滑块上端。6.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述至少1个压电陶瓷马达为2个压电陶瓷马达，2个压电陶瓷马达并联设于导轨内，2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接。7.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述压电陶瓷马达设有定子套和预紧弹簧片，定子套卡套在定子上，预紧弹簧片与定子套连接。8.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于所述压电陶瓷马达的定子为柱状或管状定子。专利摘要一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，涉及一种电动位移平台。提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电陶瓷马达驱动的位移平台，其特征在于设有压板、导轨、滑块和至少１个压电陶瓷马达；滑块与导轨滑动配合，导轨设有马达放置槽，压电陶瓷马达安装于马达放置槽内，压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接，压板固于导轨上端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江海，廖善海，
申请(专利权)人：海德星科技厦门有限公司，
类型：实用新型
国别省市：92