A piezoelectric driving trip without coupling 2-D precision micro positioning platform, which is characterized in that the platform comprises an outer bearing, diamond displacement amplification mechanism, piezoelectric actuator, symmetrical arm hinge, inner substrate and the work table; the utility model is designed to solve the model of rhombic amplification mechanism, piezoelectric ceramic actuator output displacement is small the problem. The diamond magnification mechanism is the core part of the practical new model design, and the optimization analysis of it is helpful to improve the working accuracy of the whole micro displacement table.
【技术实现步骤摘要】
压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台
本技术涉及一种压电驱动大行程无耦合的二维精密微定位平台,属于微机电控制系统领域。
技术介绍
近年来,随着科学技术的迅猛发展和进步,人类的研究从宏观领域扩展到微观领域,尤其是在微机电系统、生物工程、微电子技术、光学等众多学科中,被操作对象正不断朝着小型化、微型化的方向发展,目前己经进入了亚微米—纳米时代,因而对精密机械和仪器的各方面性能要求越来越高,对高精度微位移操作系统的研制提出了迫切的要求。微位移系统作为精密机械和精密仪器的典型代表和关键技术之一,是实现精密制造、精密测量和精密驱动的不可或缺的重要组成部分,它直接影响着精密和超精密加工水平、精密测量水平以及超大规模集成电路生产水平,左右着各个微观领域科学研究的发展,在前沿科学研究以及当下尖端工业生产领域中占据着极其重要的地位,受到了国内外的广泛重视和深入研究,近年来得到了迅速的发展。设计二维微位移工作台,主要解决运动耦合的问题,同时还要在保证精度的情况下提高位移输出量。目前,大多数的位移工作台采用杠杆放大原理来增加位移量,但是杠杆放大的同时会产生运动耦合,同时行程相对较小。设计无耦合、大行程、高精度的对称整体式二维微位移工作台对于实际应用具有较大的意义。
技术实现思路
技术目的:技术提供一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其目的是解决以往所存在的问题。技术方案:技术是通过以下技术方案实现的:一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:该平台包括外层支座、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板和工作台;工作台嵌套在内层基板上,工作台的 ...
【技术保护点】
一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:该平台包括外层支座(1)、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板(5)和工作台(6);工作台(6)嵌套在内层基板(5)上,工作台(6)的Y向一端通过Y向对称长臂铰链(4‑1)连接内层基板(5),工作台(6)的Y向另一端通过Y向菱形位移放大机构连接内层基板(5);内层基板(5)嵌套在外层支座(1)上,内层基板(5)的X方向的一端通过X方向长臂铰链(4‑2)连接外层支座(1),内层基板(5)的X方向的另一端通过X方向菱形位移放大机构(2‑1)连接外层支座(1);压电陶瓷驱动器(3)设置在每个菱形位移放大机构中间,压电陶瓷驱动器(3)顶住菱形位移放大机构内部凸缘(7)。
【技术特征摘要】
1.一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:该平台包括外层支座(1)、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板(5)和工作台(6);工作台(6)嵌套在内层基板(5)上,工作台(6)的Y向一端通过Y向对称长臂铰链(4-1)连接内层基板(5),工作台(6)的Y向另一端通过Y向菱形位移放大机构连接内层基板(5);内层基板(5)嵌套在外层支座(1)上,内层基板(5)的X方向的一端通过X方向长臂铰链(4-2)连接外层支座(1),内层基板(5)的X方向的另一端通过X方向菱形位移放大机构(2-1)连接外层支座(1);压电陶瓷驱动器(3)设置在每个菱形位移放大机构中间,压电陶瓷驱动器(3)顶住菱形位移放大机构内部凸缘(7)。2.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:工作台(6)、Y方向菱形位移放大机构、Y向对称长臂铰链(4-1)、内层基板(5)、X方向长臂铰链(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙凤,陆鹤,徐方超,金俊杰,
申请(专利权)人:沈阳工业大学,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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