带有积分时间调整电荷传输的多线性图像传感器制造技术

本发明专利技术涉及带有电荷传输的TDI图像传感器，其用于利用对在各个行的具有相同秩的像素中在行持续时间(TL)期间由图像的点产生的电荷进行加和，通过若干行像素而连续观察单一图像行。根据本发明专利技术，像素在移动的方向上再分为至少两个相邻部分(SUBaij、SUBbij)，每个部分包括与其它部分的储存区域相独立的至少一个电荷储存区域，而使电荷能够从第一部分传输至第二部分，其中一个部分(SUBaij)受到遮盖而不接收光，而其它部分(SUBbii)未受遮盖而接收光。未遮盖的部分包括电荷排除结构，其在定义积分的实际开始的可变时刻启动，所述积分的实际开始的可变时刻无关于观察图像行的周期的开始。因此能够限定不取决于传感器和图像的相对移动速度的曝光时间TINT，而与带有电荷传输的标准TDI传感器不同，所述标准TDI传感器的曝光时间等于行周期TL(关联于移动的速度)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有积分时间调整电荷传输的多线性图像传感器
本专利技术涉及一种时间延迟积分线性图像传感器(或TDI图像传感器)，其中，通过叠加多行光敏像素(其随着场景在传感器前方移动通过而相继观察场景的同一条带)所收集的信号而重新构建所观察的场景的一个条带的点的图像。
技术介绍
这些传感器例如用于扫描器。其包括光敏像素的多个平行的行的线性阵列；用于控制各个行(控制曝光时间，然后控制光生电荷的读出)的控制回路的时序与场景和传感器的相对移动同步，从而使得传感器的像素的所有行相继看到所观察的场景的同一条带。对于所观察的条带的每个点，通过每个行产生的信号随后逐点叠加。对于不变的曝光时间，传感器的敏感度随行的数量N成比例提高；或者说，对于不变的敏感度，曝光时间可以除以N。对于工业控制应用，该数量N可以例如为16或32。信噪比随传感器的行的数量N的平方根成比例提高。存在这样的TDI图像传感器，其中像素为包括光电二极管和多个晶体管的有源像素，并且其中，由像素产生的信号数字地叠加，即，由每个像素产生的模拟信号被数字化，而由看到相同图像点的像素产生的数字值相继叠加。还存在这样的电荷耦合TDI图像传感器，其中像素是被无本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用时间延迟和电荷积分而工作的电荷耦合图像传感器，所述图像传感器包括N个相邻的具有P个像素的行，以用于在周期性的行持续时间(TL)中，利用对在各个行的具有相同的秩的像素中由图像点产生的电荷进行加和，而通过多行像素相继观察同一图像条带，每个像素各自在移动的方向上包括一系列电荷储存区域，其中一些存储区域是光敏性的，所述图像传感器包括用于将电势施加至这些区域的控制装置，从而能够进行储存，随后使电荷有方向地从一个像素传输至下一像素，所述图像传感器的特征在于：像素在移动的方向再分为至少两个相邻部分(SUBai,j、SUBbi,j)，每个部分包括至少一个电荷储存区域，所述至少一个电荷储存区域与其它...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.22 FR 16505111.一种利用时间延迟和电荷积分而工作的电荷耦合图像传感器，所述图像传感器包括N个相邻的具有P个像素的行，以用于在周期性的行持续时间(TL)中，利用对在各个行的具有相同的秩的像素中由图像点产生的电荷进行加和，而通过多行像素相继观察同一图像条带，每个像素各自在移动的方向上包括一系列电荷储存区域，其中一些存储区域是光敏性的，所述图像传感器包括用于将电势施加至这些区域的控制装置，从而能够进行储存，随后使电荷有方向地从一个像素传输至下一像素，所述图像传感器的特征在于：像素在移动的方向再分为至少两个相邻部分(SUBai,j、SUBbi,j)，每个部分包括至少一个电荷储存区域，所述至少一个电荷储存区域与其它部分的储存区域相独立，同时使电荷能够从第一部分传输至第二部分，其中一个部分(SUBai,j)受到遮盖而不接收光，而其它部分(SUBbi,j)未受遮盖而接收光，后一部分包括至少一个光敏性储存区域(G3、G4、PH2)以及电荷去除结构(AB、DR)，所述电荷去除结构使得储存在该其它部分中的电荷能够被去除，所述图像传感器包括用于在可调整的实际积分的开始时刻之前在行持续时期(TL)的一部分中启用去除结构的装置，所述可调整的实际积分的开始时刻在将电荷从遮盖的区域传输至未遮盖的区域的步骤之前。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，像素包括在移动的方向上逐个排列的三个相邻栅极，第一栅极(G1)受到遮盖而不接收光，...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·巴尔比耶，F·马耶尔，P·费雷尔，
申请(专利权)人：特利丹E二V半导体简化股份公司，
类型：发明
国别省市：法国,FR