一种石英片研磨盘及电极连接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英片研磨盘及电极连接结构，包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘，轴杆压盘上设有连接孔，所述上研磨盘上设有滑孔，所述电极杆固定于绝缘管内，所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合，所述滑孔与绝缘管滑动配合。上述结构中，取消了金属管，而且因为绝缘管是非导电材料比较柔软，因而比较容易固定在连接孔中，而且连接孔也很浅，因而非常容易装配，而且也便于后续的部件的更换，而且轴杆压盘能够给电极杆及研磨盘施加一定的压力，从而在研磨时能够加大摩擦力，进而提高研磨效率及研磨效果，而且也保证电极杆与石英片的良好接触。

【技术实现步骤摘要】
一种石英片研磨盘及电极连接结构
本技术涉及一种石英片研磨设备，特别是一种石英片研磨盘及电极连接结构。
技术介绍
晶振片主要应用在膜厚控制领域，薄薄圆圆的晶振片来源于石英棒，经过反复的切割和研磨，石英块最终被做成一堆薄薄的石英片，每个石英片经改圆、研磨和清洗，最后镀上金属电极成为晶振片，适用于不同应力膜料的镀膜监控。一片合格的石英片，在加工过程中的研磨是保证其精度的关键，通常的石英片的研磨结构中包括上、下研磨盘及传动支架。上研磨盘由盘体和位于盘体中且与盘体绝缘的金属芯杆构成，芯杆上端有孔，而传动支架与芯杆间通过铜杆连接，铜杆端部位于芯杆上端的孔中且芯杆可绕铜杆转动，传动支架与下研磨盘均分别由相应的驱动机构驱动，而铜杆通过传动支架的带动会带动上研磨盘做一定的运动；通常的石英片的研磨方式是把石英片放置于上、下研磨盘中进行球面研磨，过程中下研磨盘旋转，上研磨盘在沿下研磨盘轴心点附近到预定的某一点间的直线轨迹上做往复移动，且同时在该过程中随下研磨盘旋转而转动，从而将其中的石英片研磨成特定形状的预定尺寸。在上述结构中，芯杆是作为电极用于与石英片的一面接触，而石英片的另一面则在研磨过程中一直与下研磨盘接触导通，从而可以在加工过程中测量石英片在研磨时的厚度的变化，芯杆外面是绝缘体管，绝缘体层外面还有一层金属管，由于我们将绝缘体管装配入金属管内的时候非常困难，而且以后如果出现电极磨损需要更换的时候，也很难拆出，不便于后期维护，因而本申请针对上述结构做出改进。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种石英片研磨盘及电极连接结构。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石英片研磨盘及电极连接结构，其特征在于:包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘，轴杆压盘上设有连接孔，所述上研磨盘上设有滑孔，所述电极杆固定于绝缘管内，所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合，所述滑孔与绝缘管滑动配合。所述电极杆的一端设有直径大于电极杆直径的电极帽，且绝缘管上一端设有直径大于绝缘管直径的凸台，该凸台中设有与绝缘管的管孔连通的沉头孔，所述电极帽位于沉头孔中。所述电极帽中设有连杆孔。本技术的有益效果是：包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘，轴杆压盘上设有连接孔，所述上研磨盘上设有滑孔，所述电极杆固定于绝缘管内，所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合，所述滑孔与绝缘管滑动配合。上述结构中，取消了金属管，而且因为绝缘管是非导电材料比较柔软，因而比较容易固定在连接孔中，因而非常容易装配，也便于后续的部件的更换，而且轴杆压盘能够给电极杆及研磨盘施加一定的压力，从而在研磨时有一定的摩擦力，能够提高研磨效率及研磨效果，而且也保证电极杆与石英片的良好接触。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的剖面示意图。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述的实施例示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向”、“纵向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除另有明确规定和限定，如有术语“组装”、“相连”、“连接”术语应作广义去理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；也可以是机械连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部相连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述的术语在本技术中的具体含义。在技术中，除非另有规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“之下”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅是表示第一特征水平高度高于第二特征的高度。第一特征在第二特征“之上”、“之下”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。参照图1，本技术公开了一种石英片研磨盘及电极连接结构，包括圆形的电极杆1、绝缘管2、轴杆压盘3及上研磨盘4，电极杆1是导电金属杆料制成，轴杆压盘3及上研磨盘4均是金属制成，因而电极杆1不能与轴杆压盘3及上研磨盘4接触导电，轴杆压盘3上设有连接孔，所述上研磨盘4上设有滑孔，所述电极杆1固定于绝缘管2内，所述绝缘管2穿入连接孔且与连接孔固定连接，从而使轴杆压盘3与电极杆1、绝缘管2三者固定为一体，所述上研磨盘4的滑孔与绝缘管2滑动配合，在研磨过程中上研磨盘4是需要随下研磨盘的带动而转动的，从而才能实现对石英片的很好的研磨，因而滑孔与绝缘管2必须滑动配合。所述电极杆1的一端设有直径大于电极杆1直径的电极帽5，且绝缘管2上一端设有直径大于绝缘管2直径的凸台6，该凸台6中设有与绝缘管2的管孔连通的沉头孔，所述电极帽5位于沉头孔中，上述结构中绝缘管2通过沉头孔能够将电极帽5包裹起来避免与轴杆压盘3及上研磨盘4接触，而且凸台6能够与轴杆压盘3相抵从而作为绝缘管2定位用，而电极帽5中设有连杆孔7，传动支架通过铜杆插入连杆孔7中可带动轴杆压盘3及上研磨盘4做往复运动，从而提高研磨效果，保证石英片研磨均匀。以上对本技术实施例所提供的一种石英片研磨盘及电极连接结构，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英片研磨盘及电极连接结构，其特征在于:包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘，轴杆压盘上设有连接孔，所述上研磨盘上设有滑孔，所述电极杆固定于绝缘管内，所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合，所述滑孔与绝缘管滑动配合。

【技术特征摘要】
1.一种石英片研磨盘及电极连接结构，其特征在于:包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘，轴杆压盘上设有连接孔，所述上研磨盘上设有滑孔，所述电极杆固定于绝缘管内，所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合，所述滑孔与绝缘管滑动配合。2.根据权利要求1所述的一种石英片研磨盘及电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈愿勤，陈怡君，罗文静，刘蜜，
申请(专利权)人：中山泰维电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44