The utility model discloses a video detection mechanism of a crystal wafer detector, which comprises a control center, a worktable, a feeding conveying mechanism and a grading mechanism arranged on the worktable. The worktable is provided with a video detection hole between the feeding conveying mechanism and the grading mechanism. The video detection hole is provided with a mounting seat. The mounting seat is provided with an upper seat plate and a lower seat plate. The lower seat plate is equipped with a camera, and the upper seat plate is equipped with a light source for providing light to the camera. During the process of grabbing the sucker of the transfer mechanism and putting the crystal plate on the electrode detection mechanism, the position image is taken by the camera, and then the image data is transmitted to the control center to compare with the preset correct position image, if any deviation is found. Poor, the control center can control the grab and transfer mechanism to fine-tune accurately, so as to ensure that the crystal wafer adsorbed by the vacuum sucker can be accurately placed in the detection tank of the electrode detection mechanism.
【技术实现步骤摘要】
晶振片检测机视像检测机构
本技术涉及一种,特别是一种晶振片检测机视像检测机构。
技术介绍
晶振片主要应用在膜厚控制仪器领域,薄薄圆圆的晶振片来源于石英块,经过反复的切割和研磨,石英块最终被做成一堆薄薄的石英片,每个石英片经切边、抛光和清洗,最后镀上金属电极成为晶振片,适用于不同应力膜料的镀膜控制。目前的加工工艺不能保证所有的晶振片都是合格的,因而难免会出现少部分有瑕疵的晶振片,为了将这些有瑕疵的晶振片挑出就必须通过检测,以前都是通过人工将晶振片取出然后放入一个带圆形槽的铜座中固定,铜座中具有三个凸起的触点,触点与晶振片接触,且该触点与导体检测设备连接,检测设备加载检测电流于晶振片上,然后通过收集加载了检测电流的晶振片上所产生的负载阻抗及电容等各项参数与预定的参数进行对比,从而判定晶振片是否合格。上述过程比较耗费时间,因而单位时间检测的晶振片数量少;而且在检测拿取过程中,容易造成晶振片表面划伤。综上所述,以前的检测工艺耗费了大量人力及时间,也相应大大增加了企业的成本。因而我们设计了一款能够自动检测晶振片的晶振片检测机来解决上述问题,晶振片检测机通过装有晶振片的载盘运送到入料传送机构的入料工作位处,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上的电极检测机构上,用于检测位于分度机构中的晶振片,然后通过抓取转送机构将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,最后通过出料传送机构将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘中。在上述过程中,有时晶振片与载盘中的载孔卡的太紧,抓取转送机构的真空吸盘在吸附晶振片会使载盘震动,而使载盘中余下的晶振片偏离,从而导致入料传送机构 ...
【技术保护点】
1.晶振片检测机视像检测机构,包括控制中心、工作台、设置于工作台上的入料传送机构及分度机构,其特征在于:所述工作台上设有位于入料传送机构及分度机构间的视像检测孔,所述视像检测孔中设置有安装座,所述安装座上设有上座板及下座板,所述下座板上装有摄像头,且所述上座板上装有用于给摄像头提供光线的光源,所述摄像头与控制中心连接且提供图像数据给控制中心。
【技术特征摘要】
1.晶振片检测机视像检测机构,包括控制中心、工作台、设置于工作台上的入料传送机构及分度机构,其特征在于:所述工作台上设有位于入料传送机构及分度机构间的视像检测孔,所述视像检测孔中设置有安装座,所述安装座上设有上座板及下座板,所述下座板上装有摄像头,且所述上座板上装有用于给摄像头提供光线的光源,所述摄像头与控制中心连接且提供图像数据给控制中心。2.根据权利要求1所述的晶振片检测机视像检测机构,其特征在于:所述上座板上设有通光孔,所述光源包括圆台形的壳体,所述壳体的一侧与外界贯通且另一侧设有底板,所述底板中设有摄像孔,所述通光孔与摄像孔的中心重合,所述底板上设有圆环形电路板及安装于...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈愿勤,蔡婷,罗文静,陈怡君,
申请(专利权)人:中山泰维电子有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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