【技术实现步骤摘要】
一种平顶型石英晶振片
本技术涉及一种石英晶振片,特别是一种平顶型石英晶振片。
技术介绍
随着科技的发展和提高,真空镀膜技术在越来越多的领域使用,如何监控积淀的膜厚,目前主要采用石英晶体振荡监控法。石英晶体法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应,当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有频率会相应的变化,从而我们可以根据变化的频率计算出相应的膜厚。晶振片的基片来源于石英块,经过反复的切割和研磨做成薄薄的圆片,每个圆片经抛光和清洗,最后镀上金属电极。以前的晶振片的结构都是底面为平面的凸圆弧片,晶振片的表面都需要通过研磨才能达到一定的光洁度,而形状和光洁度关系晶振片的阻抗大小,因为圆弧部分的研磨难度非常高,通常采用1200至1500目的金刚砂做磨料,光洁度不够高,如果采用3000以上的金刚砂做磨料研磨,光洁度好,但研磨的时间非常长,不适用于工业生产。但是随着社会的发展,工业对晶振片的要求也越来越高,因而我们需要提高晶振片表面的光洁度以降低阻抗,从而满足技术的发展及客户的需求,因而我们设计了一种新的结构的晶振片来解决上述问题。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提供一种平顶型石英晶振片。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种平顶型石英晶振片,包括石英基片及通过蒸镀或者溅射覆盖于石英基片上的金属层,其特征在于:所述石英基片包含底平面、与底平面平行且同心的顶平面及位于底平面与顶平面间的环形的凸圆弧面,所述顶平面的直径小于底平面直径,所述凸圆 ...
【技术保护点】
1.一种平顶型石英晶振片,包括石英基片及通过蒸镀或者溅射覆盖于石英基片上的金属层,其特征在于:所述石英基片包含底平面、与底平面平行且同心的顶平面及位于底平面与顶平面间的环形的凸圆弧面,所述顶平面的直径小于底平面直径,所述凸圆弧面与顶平面和底平面相交。/n
【技术特征摘要】
1.一种平顶型石英晶振片,包括石英基片及通过蒸镀或者溅射覆盖于石英基片上的金属层,其特征在于:所述石英基片包含底平面、与底平面平行且同心的顶平面及位于底平面与顶平面间的环形的凸圆弧面,所述顶平面的直径小于底平面直径,所述凸圆弧面与顶平面和底平面相交。
2.根据权利要求1所述的一种平顶型石英...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈愿勤,蔡婷,
申请(专利权)人:中山泰维电子有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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