一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片及使用方法技术

本发明专利技术公开了一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片及使用方法。所述载物片采用导电材料，并在上面减材加工或者增材附着导电金属网，形成沟槽。使用时，将导电胶粘在载物片上，保证导电胶覆盖载物片表面的沟槽，在导电胶上铺洒粉末颗粒，去除粘附不牢固的颗粒，继而用玻璃片压制，使颗粒被压入沟槽，其中导电胶处于被压制颗粒与沟槽中间，最后去掉玻璃片，再一次去除不牢固的颗粒，进行喷金或者喷碳后即可进行SEM真空测试样品。

Carrier film for SEM conductive poor powder and use method thereof

The invention discloses a loading sheet for SEM conductive poor powder and a method for using the same. The carrier sheet adopts conductive material, and the conductive metal mesh is processed by reducing or adding material on the carrier sheet to form a groove. When in use, the conductive adhesive is bonded to the carrier sheet to ensure that the conductive adhesive covers the groove on the surface of the carrier sheet, spreads powder particles on the conductive adhesive, removes the particles that are not firmly adhered to, and then is pressed by glass sheet, so that the particles are pressed into the groove, in which the conductive adhesive is in the middle between the pressed particles and the groove, and finally removes the glass sheet. Once the solid particles are removed, SEM vacuum test samples can be carried out after spraying or spraying carbon.

【技术实现步骤摘要】
一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片及使用方法
本专利技术涉及一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片及使用方法，属于扫描电子显微镜测试领域。
技术介绍
扫描电子显微镜（SEM）是一种大型的分析仪器，主要用于固态物质的形貌显微分析和对常规成分的微区分析，有分辨高、放大倍数大、景深大、立体感强、样品制备简单的优点，广泛应用于化工、材料、医药、生物、矿产、司法等领域。由于其价格昂贵及特殊的工作原理，它对样品制备有着较高的要求，样品制备的好坏，直接影响着样品分析是否成功。SEM测试不导电样品时，会因荷电影响出现以下情况：1）分析点偏离，很难定点准确定量分析；2）实际加速电压降低影响定量修正结果、吸收电流变小，使X射线强度降低；3）图像质量差，或者无法成像等。所以针对不导电试样在高真空样品室内、正常加速电压下，不能进行EDS（能谱）定性、定量分析，也无法获得高质量图像。SEM分析的样品必须是固体，且要无毒、无放射性、无污染、无磁、无水分，成分稳定，块状样品大小要适中，粉末样品要进行特殊处理，对不导电和导电性能差的粉末或块体样品要进行镀导电膜。但是镀膜会因为粉末的自身球形而使导电膜不能完全覆盖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片，采用导电材料加工成片状，在表面减材加工或者增材附着导电金属网，形成沟槽（1‑1）。

【技术特征摘要】
1.一种用于SEM导电性能不良粉末的载物片，采用导电材料加工成片状，在表面减材加工或者增材附着导电金属网，形成沟槽（1-1）。2.根据权利要求1所述的载物片，其特征在于，沟槽（1-1）的宽度为50nm~1000μm。3.权利要求1所述的载物片的使用方法，包括以下步骤：（1）清洁载物片（1）表面，干燥；（2）将导电胶（2）粘在载物片（1）上，使导电胶（2）覆盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪喜，郭新政，陈清明，刘子峰，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：云南,53