探针卡和测试系统技术方案

本公开涉及一种探针卡和测试系统。探针卡装配在用于测试微机电器件的系统中，该微机电器件具有对磁场敏感的元件。探针卡由PCB形成，PCB具有贯通开口以及探针尖端，用于电接触微机电器件。壳体结构被容纳在贯通开口内。壳体结构包括平面外围区域，该平面外围区域包围至少部分地突出且延伸到贯通开口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成测试磁场，该测试磁场用于微机电器件的测试操作。

【技术实现步骤摘要】
探针卡和测试系统
本公开涉及一种用于可磁致动或可电磁致动器件的探针卡，特别是包括可磁致动的振荡元件的MEMS(微机电系统)器件。MEMS器件可以是微镜。本公开还涉及包括探针卡的测试机器或系统。
技术介绍
具有使用半导体材料技术制造的微镜结构的微机械器件在本领域中是已知的。这种微机械器件用于便携式器件，诸如便携式计算机、笔记本电脑、笔记本(包括超薄笔记本电脑)、PDA、平板电脑、智能手机，以及用于光学应用，特别是引导使用所需方法的、由光源生成的辐射光束。凭借小尺寸，通过这种器件在面积和深度方面可以满足空间占用的严格要求。微镜器件通常包括悬挂在腔上方的镜元件，并且由半导体材料体制成，以便例如通过滚动和倾斜移动可移动。镜元件的旋转借助于目前为静电、电磁或压电类型的致动系统来控制。认识到对这些MEMS器件的操作执行测试的需要；然而，目前已知用于测试磁或电磁致动的MEMS器件的系统受到用于测试的磁场发生器和测试机的电子电路(晶片探测器和测试仪)之间的电磁干扰现象的限制。此外，由于难以在这种系统内集成磁场发生器，在制造可用于这种系统中的探针卡中也遇到了问题。因此，本领域需要一种用于可磁致动或可电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在用于测试可磁致动器件的系统中使用的探针卡，其特征在于，包括：集成电路板，具有在所述探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，所述平面区域包围至少一个座，所述至少一个座从所述平面区域突出并且至少部分地延伸通过所述第一贯通开口；以及磁性元件，被布置在所述壳体结构的每个座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成测试磁场，所述测试磁场用于在可磁致动器件的测试阶段期间磁致动所述可磁致动器件。

【技术特征摘要】
2017.02.21 IT 1020170000194371.一种在用于测试可磁致动器件的系统中使用的探针卡，其特征在于，包括：集成电路板，具有在所述探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，所述平面区域包围至少一个座，所述至少一个座从所述平面区域突出并且至少部分地延伸通过所述第一贯通开口；以及磁性元件，被布置在所述壳体结构的每个座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成测试磁场，所述测试磁场用于在可磁致动器件的测试阶段期间磁致动所述可磁致动器件。2.根据权利要求1所述的探针卡，其中所述至少一个座包括至少三个座，其中所述至少三个座彼此相邻地延伸，并且其中每个座安置相应的磁性元件，所包括的所述磁性元件被相互布置以便生成磁场，所述磁场在所述可磁致动器件的方向上具有第一强度，并在相反方向上具有低于所述第一强度的第二强度。3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所包括的所述磁性元件被相互布置以形成海尔贝克阵列。4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括铁磁材料的盖，所述铁磁材料的盖被布置在所述至少一个座上以及在所述至少一个座内的所述磁性元件上。5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括：非磁性材料的盖，被布置在所述至少一个座上以及在所述至少一个座内的所述磁性元件上；以及μ-金属的屏蔽层，在所述盖的上方延伸。6.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括：支撑结构，展示出第二贯通开口和至少部分包围所述第二贯通开口的侧壁，所述侧壁被设置有相应的第一引导件；以及第一滑动件，被配置为在所述第一引导件中滑动，其中所述一个或多个座延伸通过所述第二贯通开口。7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述支撑结构具有被所述侧壁包围的底侧，并且其中所述壳体结构的所述平面区域在所述底侧和所述第一滑动件之间延伸，所述第二贯通孔延伸通过所述底侧。8.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述第一引导件由所述侧壁中的相应的凹部形成，所述第一滑动件具有锥形的外围区域，所述外围区域被配置为在所述凹部中滑动。9.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述壳体结构包括：第二引导件，沿与所述至少一个座延伸的方向相反的方向从所述平面区域突出，第二滑动件，被配置为在所述第二引导件中滑动，以便覆盖以及备选地不覆盖所述至少一个座。10.根据权利要求9所述的探针卡，其特征在于，所述至少一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·罗西，S·M·雷纳，G·卡尔卡特拉，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利,IT