一种真空测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空规技术领域，尤其涉及一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，前级腔室与真空规连通，前级腔室内设有前级隔膜，真空规内设有测量隔膜，前级隔膜与测量隔膜之间形成压力传导腔，压力传导腔内填充有压力传导液。本实用新型专利技术的压力传导液体可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规的测量隔膜被腐蚀的问题，也避免真空环境中的易沉积物质在真空规内壁和测量隔膜上沉积，引起测量隔膜变形，影响真空度的检验精度的问题；即使沉积物质会造成前级腔室入口的堵塞，造成前级隔膜变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体造成前级隔膜损坏，位于前级腔室中也便于前级隔膜更换，不会影响到后续真空规。

A vacuum measuring device

The utility model relates to the technical field of vacuum gauges, in particular to a vacuum measuring device, which comprises a front chamber and a vacuum gauge arranged sequentially along the direction of pressure conduction, the front chamber is connected with the vacuum gauge, the front chamber is provided with a front diaphragm, the vacuum gauge is provided with a measuring diaphragm, and a pressure is formed between the front diaphragm and the measuring diaphragm. The pressure conduction cavity is filled with pressure transmission fluid. The pressure conducting liquid of the utility model can be used in the vacuum environment with corrosive gases to avoid the corrosion of the measuring diaphragm of the vacuum gauge, and to avoid the deposit of easily deposited substances in the vacuum environment on the inner wall of the vacuum gauge and the measuring diaphragm, thus causing the deformation of the measuring diaphragm and affecting the inspection accuracy of the vacuum degree. Even if the sediment will cause the entrance of the front chamber blocked, resulting in deformation of the front diaphragm, will not affect the detection accuracy, even if corrosive gas caused damage to the front diaphragm, located in the front chamber is also easy to replace the front diaphragm, will not affect the follow-up vacuum gauge.

【技术实现步骤摘要】
一种真空测量装置
本技术涉及真空测量
，尤其涉及一种真空测量装置。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业LED行业、平板显示行业快速发展的今天，有毒材料、易燃易爆材料和腐蚀性材料广泛应用，在生产设备的真空反应腔室和真空排气管道上这些材料大量沉积，还有一些低熔点的副产物也大量沉积。这些材料很容易沉积到安装在真空反应腔室或真空排气管道真空规的内部，严重影响真空测量精度和影响真空规的适用寿命。在这些设备上的真空规一旦出现问题，就要更换新品，很少有维修人员愿意接触这些有剧毒沉积物的真空规。对于某些真空工作环境恶劣又不得不用真空规的设备，真空规变成了一种奢侈的耗材，是困扰不少设备厂家和工厂一个头疼的问题。普通型真空规适合检测很洁净的真空环境，比如说氮气或空气的环境容器真空度。若真空环境中有腐蚀性气体就会造成真空规的测量隔膜被腐蚀掉，影响真空度的检验；若真空环境中有容易沉积的物质，这些物质会慢慢在真空规检测腔体内壁和真空规测量隔膜上沉积，会造成真空规结头的气流通道堵塞，引起真空规测量隔膜的变形、测量隔膜与精密电容分析原件电容漂移，影响检测精度；若检测腔室是高温气体，高温气体很容易把热传到真空规测量隔膜上，引起真空规测量隔膜的变形，影响测量精度或烧毁真空规的电容分析原件。目前，市场上已经有耐腐蚀型号的真空规和耐高温型号的真空规，但价格是普通真空规的10倍以上，耐高温一般最高耐温也只有200℃。市场上一直没有真正意义耐沉积的真空规出现，现在也只能是通过提高真空规的工作温度来减少真空规内沉积物产生，但最高加热温度也只有200℃，真空规检测腔体内部一旦有沉积产生，就需要对真空规返厂清洗和维修，费时、费力成本高。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是解决现有的真空规测量装置的测量隔膜上容易产生沉积物，影响测量精度，且难以在高温、腐蚀等极端工况下工作的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。其中，所述前级腔室与所述真空规通过管道连通。其中，所述管道包括螺旋状管道和直线状管道。其中，所述管道上设有散热元件。其中，所述散热元件为均匀分布的散热翅片。其中，所述前级腔室上设有所述压力传导液的填充口。其中，所述真空规内还设有电容元件、电容分析元件和输入输出单元，所述电容元件与所述压力传导液分别位于所述检测隔膜两侧，所述电容分析元件与所述电容元件连接，且通过电极与所述输入输出单元连接。其中，所述真空规在与所述管道的连通处设有隔热挡板。其中，还包括吸气剂，所述吸气剂设置于所述真空规内。其中，还包括加热器，所述加热器用于对所述前级腔室加热，加热温度不超过500℃。其中，所述压力传导液为甘油或硅油。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术在前级隔膜与测量隔膜之间填充的压力传导液体，可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规的测量隔膜被腐蚀的问题，同时也避免了真空环境中的易沉积物质在真空规的内壁和测量隔膜上沉积，引起测量隔膜的变形，影响真空度的检验精度的问题；预先设置前级腔室，即使沉积物质会造成前级腔室入口的堵塞，造成前级隔膜变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体或高温气体造成前级隔膜损坏，位于前级腔室中也便于前级隔膜更换，不会影响到后续真空规；本技术还可用于有高温气体的真空环境中，能够避免高温气体把热传到测量隔膜上，引起测量隔膜的变形，影响测量精度或烧毁真空规的电容元件的问题。因此本技术不仅适合常规环境下的真空度测量，而且适合极端工况下的真空度测量。除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。附图说明图1是本技术实施例真空规测量装置的结构示意图；图2是本技术实施例真空规测量装置的管道的结构示意图。图中：1：前级腔室；2：真空规；3：管道；4：散热元件；5：吸气剂；6：电极；7：前级连接管道；8：压力传导液；11：前级隔膜；12：填充口；21：测量隔膜；22：电容元件；23：电容分析元件；24：输入输出单元；25：隔热挡板；31：螺旋状管道；32：直线状管道。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。如图1所示，本技术实施例提供的真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室1和真空规2，前级腔室1与真空规2连通，前级腔室1内设有前级隔膜11，真空规2内设有测量隔膜21，前级隔膜11与测量隔膜21之间形成压力传导腔，压力传导腔内填充有压力传导液8。本技术真空测量装置，将普通的真空规2与带有前级隔膜11的前级腔室1连通，在前级隔膜11与真空规2中的测量隔膜21之间充满压力传导液体8，前级腔室1的入口通过前级连接管道7直接与被测真空腔体连接，真空腔体的压力通过前级连接管道7传给前级隔膜11，前级隔膜11再通过压力传导液体8把腔室压力传到测量隔膜21，引起测量隔膜21的变形，继而引起真空规2中后续检测元件的检测值发生变化，从而判断真空腔体的真空度。本技术在前级隔膜11与测量隔膜21之间填充的压力传导液体8，可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规2的测量隔膜21被腐蚀的问题，同时也避免了真空环境中的易沉积物质在真空规2的内壁和测量隔膜21上沉积，引起测量隔膜21的变形，影响真空度的检验精度的问题；预先设置前级腔室1，即使沉积物质会造成前级腔室1入口的堵塞，造成前级隔膜11变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体或高温气体造成前级隔膜11损坏，位于前级腔室1中也便于前级隔膜11更换，不会影响到后续真空规2；本技术还可用于有高温气体的真空环境中，能够避免高温气体把热传到测量隔膜21上，引起测量隔膜21的变形，影响测量精度或烧毁真空规2的电容元件22的问题。因此本技术不仅适合常规环境下的真空度测量，而且适合极端工况下的真空度测量。其中，如图2所示，前级腔室1与真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空测量装置，其特征在于：包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。

【技术特征摘要】
1.一种真空测量装置，其特征在于：包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。2.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：所述前级腔室与所述真空规通过管道连通。3.根据权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于：所述管道包括螺旋状管道和直线状管道。4.根据权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于：所述管道上设有散热元件。5.根据权利要求4所述的真空测量装置，其特征在于：所述散热元件为均匀分布的散热翅片。6.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：所述前级腔室上设有所述压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵青松，南建辉，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11