一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具制造技术

一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具，该放置杆包括：杆体以及多个分隔齿。这些分隔齿设于杆体上且沿平行杆体轴心方向间隔排列，每一分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且在平行杆体轴心方向上的宽度大于齿根部在平行杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。通过本实用新型专利技术的实施，可使各分隔齿与基板间呈一点对点接触，并使应用该放置杆结构的基板载具拥有良好的排水效果；还可使基板与分隔齿间不致发生严重碰撞，进而能有效提升基板的生产质量以及合格率。

A rod placing structure and a substrate carrier using the placement rod structure

A placement rod structure and a substrate carrier applying the placement rod structure are provided. The placement rod comprises a rod body and a plurality of separating teeth. The separating teeth are arranged on the rod body and spaced along the axis direction of the parallel rod body. Each separating teeth includes the root, the top and the side of the teeth. The tooth root is directly connected with the rod body; the top part is far away from the rod body, and the width in the axis direction of the parallel rod body is larger than that in the axis direction of the parallel rod body; the tooth side is located between the tooth root and the top. Through the implementation of the utility model, a point-to-point contact between the separating teeth and the base plate can be made, and the base plate carrier with the placement rod structure has a good drainage effect; and the base plate and the separating teeth can not be seriously collided, thereby effectively improving the production quality and the qualified rate of the base plate.

【技术实现步骤摘要】
一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具
本技术涉及基板放置的
，尤其涉及一种可与基板呈点接触状态以减少液体残留，又可稳固支撑基板、避免碰撞的放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具。
技术介绍
常见的半导体或太阳能电池制造过程中，必须将基板先放置到一个清洗架上，再去进行后续相关的湿式工艺。譬如，一般的太阳能电池工艺中，会用一载具承载太阳能电池基板，再利用机械手臂夹持或吊挂该载具，以对该载具中承载的太阳能电池基板进行酸碱蚀刻、清洗与干燥等步骤。然而，现有技术中的载具的结构容易造成蚀刻或清洗的液体残留于基板与载具之间的缝隙内，造成基板四周的无效区域(pinmarkorinvalidregion)面积过大以致产品不合格率过高。虽然有业者在其基板载具中改采齿状分隔/支撑结构以缩小载具与基板间的接触或间隙的面积。但由于现有技术中的载具中的相邻齿状分隔结构间的间距是由载具边缘起向着载具中央处逐渐变宽；而基板的尺寸却必须较基板载具的边缘间距小，并且还存有误差。因此，如图7所示，现有技术中的基板载具中所容置的基板3的边缘通常都会离两侧的齿状分隔结构41一段距离，且因基板3尺寸会有误差，故尺寸越小的基板3，其边缘与齿状分隔结构41间的距离或间隙越大。致使在吊挂或移动的过程中，基板3容易产生晃动，并与基板载具的齿状分隔结构41发生碰撞因而受损。因此，要如何解决上述现有技术中基板载具及其所采用的放置杆所造成的问题便成为本技术的研发团队努力的课题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种放置杆结构，包括：杆体以及多个分隔齿。分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且该顶部在平行杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。较佳实施，这些分隔齿具有两个该齿侧面，且该两个齿侧面远离该杆体的一端的边缘相接形成该分隔齿的顶部，而使该顶部呈刀刃状。较佳实施，这些分隔齿还包括两个齿端面，这些齿端面位于该顶部、两该齿侧面及该杆体之间。较佳实施，其中这些分隔齿的这些齿侧面呈上宽下窄的平面状或曲面状。较佳实施，这些分隔齿的该两个齿侧面与该杆体的交线间的距离小于该杆体的直径。较佳实施，这些分隔齿的该两个齿侧面与该杆体交线间的距离等于该杆体的直径。本技术还提供一种基板载具，该基板载具包括：两侧板；至少一侧杆体，每一该侧杆体的两端分别与该两侧板邻近外缘处相连接；以及至少一底杆体，这些底杆体的两端分别与该两侧板邻近下缘处相连接；其中这些侧板、该侧杆体以及该底杆体共同形成一收容空间，且该侧杆体包括一杆体及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列并由该杆体表面朝向该收容空间凸伸，每一该分隔齿包括：一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；以及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。较佳实施，该底杆体包括一杆体，及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列并由该杆体表面朝向该收容空间凸伸，每一该分隔齿包括一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；以及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。较佳实施，该基板载具的这些侧板上缘分别设有一凹口。较佳实施，其中该基板载具进一步包括至少一压杆体，该压杆体两端分别可移除地结合于一该凹口中。较佳实施，其中该压杆体包括：一杆体，及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列并由该杆体表面朝向该收容空间凸伸，每一该分隔齿包括一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；以及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。通过本技术的实施，可使这些分隔齿与基板间呈一点对点接触，并使应用该放置杆结构的基板载具拥有良好的排水效果；还可使基板与分隔齿间不致发生严重碰撞，进而能有效提升基板的生产质量以及合格率。附图说明图1A~图1D为本技术的放置杆结构第一实施例图。图2A~图2D为本技术的放置杆结构第二实施例图。图3A~图3D为本技术的放置杆结构第三实施例图。图4A~图4D为本技术的放置杆结构第四实施例图。图5图为本技术的放置杆结构与基板的相对位置示意图。图6A为本技术的基板载具的实施例立体图。图6B为第6A图中圈示处的放大图。图7为习知基板载具放置杆与基板的相对位置示意图。附图标记说明杆体…1分隔齿…10齿根部…101齿侧面…102顶部…103齿端面…104基板载具…2侧板…21侧杆体…11底杆体…12压杆体…13收容空间…22凹口…221基板…3齿状分隔结构…41直径…D宽度…Wa1、Wa2径向宽度…Wd。具体实施方式为方便对本技术的目的、结构组成、应用功能特征及其功效，做更进一步的介绍与公开，现列举实施例配合附图，详细说明如下：本技术提供一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具。如图1A~图4D所示，该放置杆包括：一杆体1，以及多个分隔齿10。这些分隔齿10设于该杆体1上且沿平行该杆体1轴心方向间隔排列。每一分隔齿10包括：一齿根部101、一顶部103及一齿侧面102。齿根部101直接与杆体1连接，并支撑分隔齿10的上部结构。顶部103位于远离杆体1的一端而与齿根部101相对。且顶部103在平行于杆体1轴心方向上的宽度Wa1大于齿根部101在平行杆体1轴心方向上的宽度Wa2，故而沿着该杆体1的径向方向观察该分隔齿10侧面时，这些分隔齿10是呈现一顶端宽大、根部细窄的造型结构。每一个分隔齿10的齿根部101与顶部103之间具有至少一个齿侧面102。齿侧面102可以是一曲面或一平面。举例来说：当分隔齿10为一上粗下细的圆柱状或椭圆柱状结构时，其齿侧面102就是位于齿根部101与顶部103的间的一个连续曲面。而图1A至图4D所示的各实施例，则是以每一分隔齿10具有两个齿侧面102的几种造型结构作为实施例的。在一较佳实施中，分隔齿10具有两个呈上宽下窄的平面或曲面状的齿侧面102，且该二齿侧面102远离该杆体1的一端的边缘相接形成该顶部103，而使该顶部103呈刀刃状。请同时参阅图5，由于此刀刃状的顶部103在平行于杆体1轴心方向上的宽度Wa1较齿根部101在平行杆体1轴心方向上的宽度Wa2大，因此当一基板3被放置于相邻的两个分隔齿10之间时，基板3与其中任一分隔齿10之间只会有一个接触点。如图1A至图2D所示，在两种略有不同的较佳实施中，这些分隔齿10的两端进一步各具有一个齿端面104。每一齿端面104都是一个由顶部103、两个齿侧面102及杆体1围绕而成的平面或曲面。如此而构成一斧头状的分隔齿10。如图3A至图4D所示，在另两种较佳实施中，这些分隔齿10的两端分别各具有两个齿端面104。每一齿端面104同样也都是一个位于顶部103、两齿侧面102及杆体1之间而成的平面或曲面。各齿端面104的两边分别与一齿侧面102及与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放置杆结构，其特征在于，该放置杆包括：一杆体；以及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列，每一该分隔齿包括：一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。

【技术特征摘要】
1.一种放置杆结构，其特征在于，该放置杆包括：一杆体；以及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列，每一该分隔齿包括：一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。2.如权利要求1所述的放置杆结构，其特征在于，这些分隔齿具有两个该齿侧面，且该两个齿侧面远离该杆体的一端的边缘相连接从而形成该分隔齿的顶部，而使该顶部呈刀刃状。3.如权利要求2所述的放置杆结构，其特征在于，这些分隔齿还包括两个齿端面，这些齿端面位于该顶部、两个该齿侧面及该杆体之间。4.如权利要求2所述的放置杆结构，其特征在于，这些分隔齿的这些齿侧面呈上宽下窄的平面状或曲面状。5.如权利要求4所述的放置杆结构，其特征在于，这些分隔齿的齿根部在平行该杆体直径方向上的宽度小于该杆体的直径。6.如权利要求4所述的放置杆结构，其特征在于，这些分隔齿的齿根部在平行该杆体直径方向上的宽度等于该杆体的直径。7.一种基板载具，其特征在于，该基板载具包括：两侧板；至少一侧杆体，每一该侧杆体的两端分别与该两侧板邻近外缘处相连接；以及至少一底杆体，这些底杆体的两端分别与该两侧板邻近下缘处相连接；其中这些侧板、该侧杆体以及该底杆体共同形成一收容空间，且该侧杆体包括一杆体，及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上...

【专利技术属性】
技术研发人员：江枝茂，黄世钦，陈昶玮，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71