【技术实现步骤摘要】
一种确保多工位坐标正确的方法
本专利技术涉及一种测试技术，特别涉及一种确保多site坐标正确的方法。
技术介绍
Site：在晶圆测试中代表同测晶圆的测试工位；XY坐标：晶圆上横轴和纵轴的具体位置，能定位到每个管芯；探针台：晶圆测试中完成自动移动晶圆的设备，并和测试机、工作站相连组成一套测试系统。集成电路在晶圆测试阶段，只要测试机资源够用，尽量会用多site进行测试，提高测试效率，多site测试需要定义每个site与相邻site之间的相对位置，当第一个site的位置确定后，根据site之间的相对位置就可以推测出其他site的具体位置，从而算出每个site的XY坐标。如图1所示现有多site晶圆测试流程图，选定探针台，即探针台的产品配置就已经确定，在现在实际过程中，先确定第一测试位置，其他晶圆以第一测试位置为准，根据针卡实际排列和探针台坐标系统对同测的其他晶圆进行人工配置文件，配置文件为同测的晶圆相对位置的文件，通过配置文件来让测试机知道多site之间的位置关系，开始测试后，通过配置文件算出每个site的XY坐标，写入芯片开始测试。由于配置文件要和探针台设置的坐标系相...
【技术保护点】
1.一种确保多工位坐标正确的方法，在探针台上的产品配置中包含XY坐标最大最小的范围、XY坐标递增的方向、需要测试的管芯标识、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置，其特征在于，先确定管芯A的XY坐标位置，查看在探针台中绝对位置，得到此管芯A在探针台绝对位置与XY坐标位置，开始测试，然后在管芯A测试时，获取下一个工位在探针台产品配置的绝对位置，通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其XY坐标位置，植入测试台进行测试，直到所有需要测试的管芯都测试完成。
【技术特征摘要】
1.一种确保多工位坐标正确的方法，在探针台上的产品配置中包含XY坐标最大最小的范围、XY坐标递增的方向、需要测试的管芯标识、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置，其特征在于，先确定管芯A的XY坐标位置，查看在探针台中绝对位置，得...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉龙，牛勇，岳小兵，严霜霜，叶建明，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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