图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质制造方法及图纸

图像生成装置是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的电流方向图像的装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于半导体器件；磁检测部，其输出基于通过施加刺激信号而产生的磁性的检测信号；及图像生成部，其以根据基于刺激信号而生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，且基于相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的方式构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质
本专利技术涉及图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质。
技术介绍
一直以来，为了检查半导体器件，已知有检测半导体器件中的电流的强度或电流流动的部位的检测装置。例如，在专利文献1中公开了一种非破坏解析装置，其使用磁检测器(超传导量子干涉元件：SQUID)检测通过自半导体器件产生的电流而感应的磁性。在该装置中，对半导体器件照射通过与基准信号同步的调制信号进行强度调制的调制光束。而且，基于自磁检测器输出的检测信号与基准信号而获得相位差图像。另外，在非专利文献1中公开了一种自由SQUID等磁检测器检测出的磁通密度求出平面方向的电流密度的方法。在该非专利文献1中，提出了一种使用毕奥-萨伐尔定律将电流与磁场关系公式化，自磁场求出电流密度的方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-134196号公报非专利文献非专利文献1：BradleyJ.Roth,NestorG.Sepulveda,andJohnP.Wikswo,Jr.,“Usingamagnetometertoimageatwo-dimensionalcurrentdistribution.”J.Appl.Phys.,65(1),1January1989.
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在专利文献1中，不过是单单使用相位差图像来高灵敏度地区分良品与不良品的差异。另外，在非专利文献1中，不过是公开了自磁场求出电流密度的理论公式。这样，在任一文献中，均未公开求出半导体器件中的电流的流动方向的方法等。因此，本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够生成表示半导体器件中的电流的方向的图像即电流方向图像的图像生成方法及图像生成装置。解决问题的技术手段一个方面所涉及的图像生成方法是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于半导体器件的步骤；检测通过刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于刺激信号而生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；基于相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。另外，一个方面所涉及的图像生成装置是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于半导体器件；磁检测部，其输出基于通过刺激信号的施加而产生的磁性的检测信号；图像生成部，其根据基于刺激信号而生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，且基于相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像。另外，一个方面所涉及的图像生成程序是用于使计算机执行通过对半导体器件施加刺激信号而取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的处理的程序，使计算机作为以下各部而发挥功能：相位图像数据生成部，其自基于通过刺激信号的施加而产生的磁性的检测信号、与基于刺激信号而生成的参照信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据；及图像生成部，其基于相位图像数据而生成表示电流的方向的电流方向图像。另外，另一个方面所涉及的存储介质是存储图像生成程序的计算机可读取的存储介质。在该图像生成方法、图像生成装置及图像生成程序中，通过施加于半导体器件的刺激信号而产生磁性。于是，根据基于刺激信号而生成的参照信号与基于磁性的检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据。由于相位差根据磁场的方向而变化，因而相位图像数据包含磁场的方向的信息。由于磁场的方向由电流的方向决定，因而基于相位图像数据，可判定电流的方向。由此，使用经判定的电流的方向，可生成表示电流的方向的图像。在一个方式中，也可以是电流方向图像通过对应于方向而设定的多种颜色来表示电流的方向的结构。利用这样的结构，可在视觉上容易地把握电流的位置与方向。在一个方式中，也可以是多种颜色至少具有相对于对应于电流的方向而划分的4个角度范围分别设定的不同的颜色的结构。一般而言，半导体器件中的电流路径在俯视时多在X轴方向及Y轴方向上被设计。在该情况下，电流的方向成为X方向、-X方向、Y方向、及-Y方向的4个。通过如上述结构那样至少具有不同的4种颜色，可容易识别4个方向。在一个方式中，也可以是生成电流方向图像的步骤包含变更电流的方向与多种颜色的对应关系的步骤的结构。例如，也可以是图像生成部具有：颜色表，其具备多种颜色的数据；及角度表，其具备对应于电流的方向而划分的角度范围的数据；且可变更颜色表与角度表的对应关系的结构。根据该结构，例如，即使在所获得的图像的朝向倾斜的情况下，也可容易地进行配色的调整。在一个方式中，也可以是还包含生成相对于自检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于相位图像数据的磁方向的数据的数据，且基于该数据而生成表示电流的强度的电流强度图像的步骤的结构。在该情况下，也可以是还包含基于电流强度图像与电流方向图像而生成表示电流的强度及方向的电流图像的步骤的结构。在该情况下，也可以是图像生成部生成相对于自检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于相位图像数据的磁方向的数据的数据，且基于该数据而生成表示电流的强度的电流强度图像的结构。磁性的强度与电流的大小对应，因此，通过对强度图像数据附加磁方向的数据，可将电流的大小表现为图像。在一个方式中，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤也可以生成相对于自检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于相位图像数据的磁方向的数据的数据，且基于该数据而生成电流方向图像。在该情况下，也可以是图像生成部生成相对于自检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于相位图像数据的磁方向的数据的数据，且基于该数据而生成电流方向图像的结构。通过使用包含相位成分与磁性的强度信息这两者的该数据，可更高精度地获得表示电流的方向的电流方向图像。在一个方式中，也可以是磁检测部具有产生光的光源、与半导体器件相对配置的磁光晶体、将光照射至磁光晶体且对自磁光晶体反射的光进行导光的照射光学系统、及检测自磁光晶体反射的光而输出检测信号的光检测器的结构。专利技术的效果根据该图像生成方法及图像生成装置，可生成表示半导体器件中的电流的方向的图像即电流方向图像。附图说明图1是本专利技术的第1实施方式所涉及的检查装置的结构图。图2是用于说明图1的检查装置中的光分割光学系统的图。图3是用于说明相位差的图。图4是用于说明获得电流图像的顺序的概要的图。图5是表示强度图像的一个例子的图像。图6是表示相位图像的一个例子的图像。图7是用于说明取得电流强度图像及电流方向图像的顺序的图。图8是用于说明取得电流强度图像及电流方向图像的顺序的图。图9是表示电流强度图像的一个例子的图像。图10是表示电流方向图像的一个例子的图像。图11是说明电流方向图像中的颜色的分配的图。图12是表示角度与颜色的关系的表。图13是说明由电流强度图像得到的电流方向图像的对比度调整的图。图14是表示电流图像的一个例子的图像。图15是表示配色调整画面的一个例子的图。图16是用于说明取得电流方向图像的顺序的图。图17是表示电流强度图像的一个例子的图像。图18是表示电流图像的一个例子的图像。图19是用于说明取得电流强度图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像生成方法，其特征在于，是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于所述半导体器件的步骤；检测通过所述刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.30 JP 2015-2141521.一种图像生成方法，其特征在于，是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于所述半导体器件的步骤；检测通过所述刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。2.如权利要求1所述的图像生成方法，其特征在于，所述电流方向图像通过对应于方向而设定的多种颜色来表示所述电流的方向。3.如权利要求2所述的图像生成方法，其特征在于，所述多种颜色至少具有相对于对应于电流的方向而划分的4个角度范围分别设定的不同的颜色。4.如权利要求2或3所述的图像生成方法，其特征在于，生成所述电流方向图像的步骤包含变更所述电流的方向与所述多种颜色的对应关系的步骤。5.如权利要求1～4中任一项所述的图像生成方法，其特征在于，还包含：生成相对于自所述检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于所述相位图像数据的磁方向的数据的数据，基于该数据而生成表示所述电流的强度的电流强度图像的步骤。6.权利要求5所述的图像生成方法，其特征在于，还包含：基于所述电流强度图像与所述电流方向图像而生成表示电流的强度及方向的电流图像的步骤。7.一种图像生成装置，其特征在于，是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于所述半导体器件；磁检测部，其输出基于通过所述刺激信号的施加而产生的磁性的检测信号；及图像生成部，其以根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据，且基于所述相位图像数据，生成表示所述电流的方向的电流方向图像的方式构成。8.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：大高章弘，中村共则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP