图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质制造方法及图纸

图像生成装置是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的电流方向图像的装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于半导体器件；磁检测部，其输出基于通过施加刺激信号而产生的磁性的检测信号；及图像生成部，其以根据基于刺激信号而生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，且基于相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的方式构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质
本专利技术涉及图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质。
技术介绍
一直以来，为了检查半导体器件，已知有检测半导体器件中的电流的强度或电流流动的部位的检测装置。例如，在专利文献1中公开了一种非破坏解析装置，其使用磁检测器(超传导量子干涉元件：SQUID)检测通过自半导体器件产生的电流而感应的磁性。在该装置中，对半导体器件照射通过与基准信号同步的调制信号进行强度调制的调制光束。而且，基于自磁检测器输出的检测信号与基准信号而获得相位差图像。另外，在非专利文献1中公开了一种自由SQUID等磁检测器检测出的磁通密度求出平面方向的电流密度的方法。在该非专利文献1中，提出了一种使用毕奥-萨伐尔定律将电流与磁场关系公式化，自磁场求出电流密度的方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-134196号公报非专利文献非专利文献1：BradleyJ.Roth,NestorG.Sepulveda,andJohnP.Wikswo,Jr.,“Usingamagnetometertoimageatwo-dimensionalcurrent本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像生成方法，其特征在于，是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于所述半导体器件的步骤；检测通过所述刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.30 JP 2015-2141521.一种图像生成方法，其特征在于，是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于所述半导体器件的步骤；检测通过所述刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。2.如权利要求1所述的图像生成方法，其特征在于，所述电流方向图像通过对应于方向而设定的多种颜色来表示所述电流的方向。3.如权利要求2所述的图像生成方法，其特征在于，所述多种颜色至少具有相对于对应于电流的方向而划分的4个角度范围分别设定的不同的颜色。4.如权利要求2或3所述的图像生成方法，其特征在于，生成所述电流方向图像的步骤包含变更所述电流的方向与所述多种颜色的对应关系的步骤。5.如权利要求1～4中任一项所述的图像生成方法，其特征在于，还包含：生成相对于自所述检测信号生成的表示磁性的强度的强度图像数据附加了基于所述相位图像数据的磁方向的数据的数据，基于该数据而生成表示所述电流的强度的电流强度图像的步骤。6.权利要求5所述的图像生成方法，其特征在于，还包含：基于所述电流强度图像与所述电流方向图像而生成表示电流的强度及方向的电流图像的步骤。7.一种图像生成装置，其特征在于，是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于所述半导体器件；磁检测部，其输出基于通过所述刺激信号的施加而产生的磁性的检测信号；及图像生成部，其以根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据，且基于所述相位图像数据，生成表示所述电流的方向的电流方向图像的方式构成。8.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：大高章弘，中村共则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP