观测薄膜窗口制造技术

本发明专利技术公开了一种观测薄膜窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在第一表面和第二表面上，薄膜的形状和尺寸与衬底的形状和尺寸一致；衬底上还设置有贯穿第一表面和第二表面的观测凹槽；并且，观测凹槽还贯穿位于第一表面或第二表面上的薄膜；坐标结构，坐标结构设置在薄膜上，且坐标结构与观测凹槽相对应，坐标结构用于对样品进行观测定位。其在薄膜上设置有坐标结构，这样，在对样品进行观测时，坐标结构能有效地进行对样品的观测定位，并且在光学显微镜和透射电镜观测切换的时候，有效记录对应样品的位置。因此，本发明专利技术的观测薄膜窗口可以实现快速定位，提高样品观测效率。

Observation of film window

The invention discloses an observation film window, which comprises a substrate, comprising a relatively set first surface and a second surface; a film of predetermined thickness, which is arranged on a first surface and a second surface, and whose shape and size are consistent with the shape and size of the substrate; and a substrate is also provided with a penetrating first surface and a second table. In addition, the observation groove runs through the film on the first or second surface. The coordinate structure is set on the film, and the coordinate structure corresponds to the observation groove. The coordinate structure is used to locate the sample. A coordinate structure is arranged on the film, so that the coordinate structure can effectively locate the sample and record the position of the corresponding sample when the optical microscope and the transmission electron microscope are switched. Therefore, the observation film window of the invention can realize rapid positioning and improve the efficiency of sample observation.

【技术实现步骤摘要】
观测薄膜窗口
本专利技术涉及微纳米表征
，具体涉及一种观测薄膜窗口。
技术介绍
微纳米表征技术在科学研究中起着最为直观基础的作用，受到广泛科研人员的极度重视。对于纳米材料及生物样品如病毒、细胞，许多表征手段如TEM(透射电子显微镜)等需要一种能使电子束透过的支撑薄膜。而X-射线设备需要优质耐压及耐受高低能量X射线的透过率支撑载膜，支撑载膜需要满足超薄、耐高温、耐高压的要求，以保证X-射线的透射率和X-射线设备的真空要求。生物领域方面的样品如病毒、细胞等等的观测表征对于周围环境的变化较为敏感，易造成破损。因而在微纳米表征手段中，以上几点对于承载体有着许多方面的限制，现今市面上存在的铜网碳膜载体，虽然能满足大部分的观测需求，仍有许多不足的地方，如背景噪音大、对生物样品亲和性较差、难以定位等等。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种观测薄膜窗口。为了实现上述目的，本专利技术的提供了一种观测薄膜窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；坐标结构，所述坐标结构设置在所述薄膜上，且所述坐标结构与所述观测凹槽相对应，所述坐标结构用于对样品进行观测定位。可选地，所述坐标结构包括多个贯穿所述薄膜的通孔；其中，多个所述通孔交叉排列成一行和一列，以限定出四个象限区域，并且，处于同一行中的各所述通孔之间的距离相等，处于同一列中的各所述通孔之间的距离相等。可选地，所述坐标结构还包括多个通孔标识；其中，各象限区域中至少设置有一个所述通孔标识。可选地，处于同一行中的各所述通孔之间的距离为0.1～100μm；和/或，处于同一列中的各所述通孔之间的距离为0.1～100μm。可选地，处于同一行中的各所述通孔的直径为0.1～100μm；和/或，处于同一列中的各所述通孔的直径为0.1～100μm。可选地，所述观测凹槽的尺寸为0.05～20mm。可选地，所述薄膜的预定厚度为1-500nm。可选地，所述薄膜的制作材料包括硅、氮化硅、氧化硅和碳化硅中的任意一者。可选地，所述衬底的厚度为50-1000um。可选地，所述衬底为N型或P型单晶硅。本专利技术的观测薄膜窗口，其在薄膜上设置有所述坐标结构，这样，在对样品进行观测时，坐标结构能有效地进行对样品的观测定位，并且在光学显微镜和透射电镜观测切换的时候，有效记录对应样品的位置。因此，本专利技术的观测薄膜窗口可以实现快速定位，提高样品观测效率。此外，所设置的薄膜，其具有预定的厚度，这样，保证了X射线的高透射率，具有良好的生物亲和性。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为本专利技术一实施例中观测薄膜窗口的结构示意图；图2为图1中所示的观测薄膜窗口的剖视图；图3为本专利技术一实施例中坐标结构的示意图。附图标记说明100：观测薄膜窗口；110：衬底；111：第一表面；112：第二表面；113：观测凹槽；120：薄膜；130：坐标结构；131：通孔；132：通孔标识。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。如图1所示，本专利技术涉及一种观测薄膜窗口100，该观测薄膜窗口100包括衬底110和预定厚度的薄膜120。该衬底110包括相对设置的第一表面111和第二表面112。并且，在第一表明111和第二表面112上均设置有所述薄膜120。该薄膜120可以通过镀膜等方式形成在所述衬底110的两个表面上。薄膜120的形状和尺寸应当与所述衬底110的形状和尺寸一致。所述衬底110上还设置有贯穿所述第一表面111和所述第二表面112的观测凹槽113；并且，所述观测凹槽113还贯穿位于所述第一表面111或所述第二表面112上的所述薄膜120，例如，如图1所示，观测凹槽113贯穿第一表面111(也即如图1中所示，衬底110的上表面)上的薄膜120。其中，上述观测薄膜窗口100还包括坐标结构130，所述坐标结构130设置在所述薄膜120上，且所述坐标结构130与所述观测凹槽113相对应。也就是说，在观测凹槽113所贯穿的薄膜120(也就是如图1所示的位于衬底110的上表面上的薄膜120)上，设置有所述坐标结构130，该坐标结构130对样品进行观测定位。本实施例结构的观测薄膜窗口100，其在薄膜120上设置有所述坐标结构130，这样，在对样品进行观测时，坐标结构130能有效地进行对样品的观测定位，并且在光学显微镜和透射电镜观测切换的时候，有效记录对应样品的位置。因此，本实施例结构的观测薄膜窗口100可以实现快速定位，提高样品观测效率。此外，所设置的薄膜120，其具有预定的厚度，这样，保证了X射线的高透射率，具有良好的生物亲和性。需要说明的是，对于坐标结构130的具体结构并没有作出限定，例如，该坐标结构130可以是设置在所述薄膜120上的通孔结构，或者，该坐标结构130也可以是设置在所述薄膜120上的盲孔结构等等。进一步需要说明的是，对于薄膜120的预定厚度并没有作出限定，可以根据实际需要，例如，在保证X射线高透射率的前提下，确定薄膜120所应当具有的厚度。可选地，如图1和图3所示，所述坐标结构130包括多个贯穿所述薄膜120的通孔131；其中，多个所述通孔131交叉排列成一行和一列(如图3所示，多个所述通孔131交叉垂直排列成一行和一列)，以限定出四个象限区域。处于同一行中的各所述通孔131之间的距离相等，处于同一列中的各所述通孔131之间的距离相等。本实施例结构的观测薄膜窗口100，其坐标结构130为贯穿薄膜120的多个通孔131，该多个通孔131交叉排列成一行和一列，并且，处于同一行中的各所述通孔131之间的距离相等，处于同一列中的各所述通孔131之间的距离相等。这样，可以根据样品所在的某一个通孔131位置处，实现对样品的定位，因此，本实施例结构的观测薄膜窗口100能够进一步实现快速定位，提高样品观测效率。需要说明的是，处于同一行中的各通孔131之间的距离也可以基于一定的规律递增或递减等；处于同一列中的各通孔131之间的距离也可以基于一定的规律递增或递减等。可选地，为了进一步实现对观测样品的快速定位，所述坐标结构130还包括多个通孔标识132；其中，各象限区域中至少设置有一个所述通孔标识132。可选地，为了进一步实现对观测样品的快速定位，处于同一行中的各所述通孔131之间的距离为0.1～100μm，优选地可以为3μm。处于同一列中的各所述通孔131之间的距离为0.1～100μm，优选地可以为3μm。可选地，为了进一步实现对观测样品的快速定位，处于同一行中的各所述通孔131的直径为0.1～100μm，优选地可以为3μm。处于同一列中的各所述通孔131的直径为0.1～100μm，优选地可以为3μm。可选地，所述观测凹槽113的尺寸为0.05～20mm，如图1和图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种观测薄膜窗口，其特征在于，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；坐标结构，所述坐标结构设置在所述薄膜上，且所述坐标结构与所述观测凹槽相对应，所述坐标结构用于对样品进行观测定位。

【技术特征摘要】
1.一种观测薄膜窗口，其特征在于，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；坐标结构，所述坐标结构设置在所述薄膜上，且所述坐标结构与所述观测凹槽相对应，所述坐标结构用于对样品进行观测定位。2.根据权利要求1所述的观测薄膜窗口，其特征在于，所述坐标结构包括多个贯穿所述薄膜的通孔；其中，多个所述通孔交叉排列成一行和一列，以限定出四个象限区域，并且，处于同一行中的各所述通孔之间的距离相等，处于同一列中的各所述通孔之间的距离相等。3.根据权利要求2所述的观测薄膜窗口，其特征在于，所述坐标结构还包括多个通孔标识；其中，各象限区域中至少设置有一个所述通孔标识。4.根据权利要求2所述的观测薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡慧珊，温赛赛，马硕，王新亮，
申请(专利权)人：苏州原位芯片科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32