红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备技术

本发明专利技术提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板。红外线吸收玻璃板(1)具有彼此相对的第一主面和第二主面(1a、1b)、以及将第一主面和第二主面(1a、1b)连接的侧面(1c)，该红外线吸收玻璃板(1)由磷酸盐系玻璃构成，厚度为0.2mm以下，在侧面(1c)不存在微裂纹。

Infrared absorbing glass panel and manufacturing method thereof, and solid camera element device

The invention provides an infrared absorbing glass panel capable of realizing the miniaturization of the solid camera element device. The infrared absorption glass plate (1) has the relative first main surface and second main surfaces (1a, 1b), and the side (1c) connecting the first main plane and the second main surface (1a, 1b). The infrared absorption glass plate (1) is made up of phosphate glass, and the thickness is below 0.2mm, and there is no micro crack in the side (1c).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备
本专利技术涉及红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及使用该红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备。
技术介绍
在数码相机等中，使用CCD或CMOS等固体摄像设备。这些固体摄像元件设备具有宽范围的感光灵敏度，因此，为了适应人的视觉，需要将红外区域的光除去。下述专利文献1中，作为用于将红外区域的光除去的近红外线阻隔滤光片，公开了由氟磷酸盐系玻璃形成的红外线吸收玻璃板。专利文献1中，通过利用两面研磨机的物理研磨等使玻璃板的厚度变薄。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010－168262号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题近年来，对于固体摄像元件设备，需要更进一步的小型化。因此，对于构成固体摄像元件设备的红外线吸收玻璃板，也需要更进一步的薄型化。然而，利用专利文献1那样通过物理研磨使其变薄的方法时，一旦玻璃板的厚度变得过薄，有时会导致玻璃板发生破裂。因此，无法使玻璃板充分地变薄，有时无法使固体摄像元件设备充分地小型化。本专利技术的目的在于提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板和该红外线吸收玻璃板的制造方法、以及固体摄像元件设备。用于解决技术问题的技术方案本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板的特征在于，具有彼此相对的第一主面和第二主面、以及将上述第一主面和第二主面连接的侧面，该红外线吸收玻璃板由磷酸盐系玻璃构成，厚度为0.2mm以下，在上述侧面不存在微裂纹。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选上述磷酸盐系玻璃以质量％计含有P2O525～60％、Al2O32～19％、RO(其中R为选自Mg、Ca、Sr和Ba中的至少1种)5～45％、ZnO0～13％、K2O8～20％、Na2O0～12％和CuO0.3～20％，并且实质上不含氟。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选在上述第一主面和第二主面不存在研磨痕。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面的面积为100mm2以上25000mm2以下。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面的面积为1000mm2以上25000mm2以下。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度在35N/mm2以上。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面的面积为1mm2以上且小于1000mm2。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选用于固体摄像元件设备。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板优选在上述第一主面和上述第二主面的至少一方上设有光学膜。上述光学膜优选为电介质多层膜。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板的排列组件具有支撑体、和在上述支撑体上以矩阵状配置的上述本专利技术的多个红外线吸收玻璃板。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法用于制造由本专利技术构成的红外线吸收玻璃板，该制造方法包括：对由磷酸盐系玻璃构成的板状的玻璃母材进行物理研磨的研磨工序；和将经上述物理研磨后的玻璃母材浸渍于碱性洗剂中对其进行蚀刻的蚀刻工序。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法优选在上述研磨工序中，通过上述物理研磨使上述玻璃母材的厚度达到0.23mm以上0.3mm以下。本专利技术所涉及的红外线吸收玻璃板的制造方法优选在上述蚀刻工序中，将经上述物理研磨后的玻璃母材浸渍于pH为7.1以上的碱性洗剂中对其进行蚀刻。上述碱性洗剂优选包含氨基多羧酸的碱盐。设有上述光学膜的红外线吸收玻璃板的制造方法还包括在蚀刻后的上述玻璃母材的上述第一主面和上述第二主面的至少一方上形成上述光学膜的工序。上述本专利技术的红外线吸收玻璃板的排列组件的制造方法包括：利用上述本专利技术的方法制作经蚀刻后的上述玻璃母材的工序；将上述玻璃母材载置在上述支撑体上的工序；将上述支撑体上的上述玻璃母材切割，分割成以矩阵状配置的上述多个红外线吸收玻璃板的工序；和将上述支撑体上的上述红外线吸收玻璃板浸渍于上述碱性洗剂中对其进行蚀刻的蚀刻工序。上述支撑体优选为粘接强度因紫外线照射而下降的UV带。本专利技术所涉及的固体摄像元件设备具有由本专利技术构成的红外线吸收玻璃板。专利技术的效果通过本专利技术，可以提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板。附图说明图1为表示本专利技术的一个实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的立体示意图。图2为表示本专利技术的一个实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的变形例的截面示意图。图3为表示使用本专利技术的一个实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备的截面示意图。图4为用于说明本专利技术的其它实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的排列组件的制造工序的截面示意图。图5为用于说明本专利技术的其它实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的排列组件的制造工序的俯视示意图。图6为表示本专利技术的其它实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的排列组件的俯视示意图。具体实施方式以下对优选实施方式进行说明。但以下的实施方式仅为例示，本专利技术并不限定于以下实施方式。另外，在各附图中，有时实质上具有相同功能的部件以相同符号进行对照。(红外线吸收玻璃板)图1为表示本专利技术的一个实施方式所涉及的红外线吸收玻璃板的立体示意图。如图1所示，红外线吸收玻璃板1的平面形状为矩形。可以对红外线吸收玻璃板1的角部进行倒角。红外线吸收玻璃板1具有第一主面和第二主面1a、1b、以及侧面1c。第一主面和第二主面1a、1b彼此相对。在红外线吸收玻璃板1中，第一主面和第二主面1a、1b均为光学面。侧面1c将第一主面和第二主面1a、1b连接。红外线吸收玻璃板1由含有CuO的磷酸盐系玻璃构成。因此红外线吸收玻璃板1的红外线吸收功能优异。红外线吸收玻璃板1的厚度为0.2mm以下。优选为0.19mm以下，更优选为0.15mm以下。红外线吸收玻璃板1的厚度薄至0.2mm以下，因此在用于固体摄像元件设备时，能够实现固体摄像元件设备的小型化。而在厚度过薄时，在搬运工序中将红外线吸收玻璃板1拿起时，有时容易出现破裂，因此厚度优选为0.05mm以上，更优选为0.08mm以上。如此，红外线吸收玻璃板1的红外线吸收功能优异，并且能够实现固体摄像元件设备的小型化，因此能够适用于固体摄像元件设备。一般而言，磷酸盐系玻璃的强度低，在使其变薄时容易破裂，但是在本专利技术中，由于红外线吸收玻璃板1的侧面1c不存在微裂纹，因此，即使使厚度达到0.2mm以下，也不易发生破裂。微裂纹是指长度为1μm～15μm的裂纹。在将红外线吸收玻璃板1弯曲时，微裂纹有时会成为破裂的起点。特别是在侧面1c存在微裂纹时，容易成为破裂的起点。因此，在侧面1c不存在微裂纹的情况下，能够使红外线吸收玻璃板1更加不易发生破裂。其中，微裂纹的有无可以利用光学显微镜确认。另外，不仅是侧面1c，在第一主面和第二主面1a、1b存在微裂纹的情况下，有时也会成为破裂的起点。由此，从使红外线吸收玻璃板1更不易发生破裂的观点考虑，更优选不仅在侧面1c不存在微裂纹、在第一主面和第二主面1a、1b也不存在微裂纹。另外，优选在红外线吸收玻璃板1的第一主面和第二主面1a、1b不存在制造时的研磨痕。在这种情况下，能够使红外线吸收玻璃板1更不易发生破裂。从使红外线吸收玻璃板1更不易发生破裂的观点考虑，更优选不仅在第一主面和第二主面1a、1b不存在研磨痕、在侧面1c也不存在研磨痕。其中，研磨痕可以利用原子力显微镜确认。红外线吸收玻璃板1的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外线吸收玻璃板，其特征在于：具有彼此相对的第一主面和第二主面、以及将所述第一主面和第二主面连接的侧面，所述红外线吸收玻璃板由磷酸盐系玻璃构成，厚度为0.2mm以下，在所述侧面不存在微裂纹。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.11 JP 2016-078768;2016.08.04 JP 2016-153681.一种红外线吸收玻璃板，其特征在于：具有彼此相对的第一主面和第二主面、以及将所述第一主面和第二主面连接的侧面，所述红外线吸收玻璃板由磷酸盐系玻璃构成，厚度为0.2mm以下，在所述侧面不存在微裂纹。2.如权利要求1所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述磷酸盐系玻璃以质量％计含有P2O525～60％、Al2O32～19％、RO5～45％、ZnO0～13％、K2O8～20％、Na2O0～12％和CuO0.3～20％，并且实质上不含氟，其中，R为选自Mg、Ca、Sr和Ba中的至少1种。3.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：在所述第一主面和第二主面不存在研磨痕。4.如权利要求1～3中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述第一主面的面积为100mm2以上25000mm2以下。5.如权利要求4所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述第一主面的面积为1000mm2以上25000mm2以下。6.如权利要求1～5中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度在35N/mm2以上。7.如权利要求1～3中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述第一主面的面积为1mm2以上且小于1000mm2。8.如权利要求1～7中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述红外线吸收玻璃板用于固体摄像元件设备。9.如权利要求1～8中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：在所述第一主面和所述第二主面的至少一方上设有光学膜。10.如权利要求9所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：所述光学膜为电介质多层膜。11.一种红外线吸收玻璃板的排列组件，其特征在于，具有：支撑体；和在...

【专利技术属性】
技术研发人员：中堀宏亮，乾武志，笹井辰夫，东乡敦史，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP