The utility model discloses a nine independent heating system of the flat vacuum furnace, including the upper heating area, the central heating area and the lower heating area, the upper heating area is fixed on the upper corner of the wall surface, the middle upper heating area is set on the side of the front heating area, and the other side of the middle and upper heating area is set with the rear heating area, and the central heating area is located on the other side. The center of the wall is fixed at the center of the wall and the middle and lower heating areas are set on both sides, the middle and lower heating areas are fixed on the bottom center of the wall surface, the rear and lower heating areas and the front and lower heating areas are fixed on both sides of the middle and lower heating areas respectively. The heating area on the side of the middle and lower heating areas is heated separately on the single side and divided into 9 ways of heating before, in the middle, after the upper, the middle and lower. Through the function of independent temperature control, the system has achieved the effect of accurate heating, and solved the problem of greater temperature difference in the vertical direction. By sharing a thermocouple on the front and back walls of the walls on both sides of the innovation set, the effect of heating synchronization is achieved, and the problem of different heating speed is solved.
【技术实现步骤摘要】
一种扁形真空炉九路独立加热系统
本技术涉及一种扁形真空炉,具体为一种扁形真空炉九路独立加热系统。
技术介绍
真空炉,即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内空气排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,炉腔内空间从而实现真空状态,这就是真空炉。而扁形真空炉是指形状为狭长扁形的真空炉。现有的扁形真空炉在使用时出现了很多问题,比如说:存在垂直方向温差较大的问题,扁形真空炉一般分为前、后两段或者前、中、后三段加热,而且加热器往往只有水平单面分布,在水平方向上的均温性有所保证,竖直方向上就难以保证,会出现在垂直方向上的均温性偏差较大的情况;存在升温速度不一致的问题,由于两侧墙面上均分布有加热器,而经过长时间的使用,部件的老化和灵敏度的降低往往会导致两侧加热器升温降温速度不一样,热电偶响应时间不一样,这样就造成了往往两侧的温度很难统一,出现较大的偏差的情况。综上所述,目前真空炉存在垂直方向温差较大和升温速度不一样等两大亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有真空炉在工作过程中,垂直方向温差较大和升温速度不一样的缺陷,提供一种扁形真空炉九路独立加热系统,从而解决上述问题。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:本技术一种扁形真空炉九路独立加热系统,包括上部加热区、中部加热区和下部加热区,上部加热区包括后上加热区、中上加热区和前上加热区,前上加热区固定在墙面的上部角落,中上加热区设置在前上加热区的一侧,中上加热区另一侧设置有后上加热区,中部加热区固定在墙面的中心且两侧分别设置有前中加热区和 ...
【技术保护点】
1.一种扁形真空炉九路独立加热系统,其特征在于,包括上部加热区(1)、中部加热区(2)和下部加热区(3),上部加热区(1)包括后上加热区(6)、中上加热区(5)和前上加热区(4),前上加热区(4)固定在墙面的上部角落,中上加热区(5)设置在前上加热区(4)的一侧,中上加热区(5)另一侧设置有后上加热区(6),中部加热区(2)固定在墙面的中心且两侧分别设置有前中加热区(8)和后中加热区(7),下部加热区(3)包括后下加热区(9)、中下加热区(10)和前下加热区(11),中下加热区(8)固定在墙面的底部中心,中下加热区(8)两侧分别固定有后下加热区(9)和前下加热区(11)。
【技术特征摘要】
1.一种扁形真空炉九路独立加热系统,其特征在于,包括上部加热区(1)、中部加热区(2)和下部加热区(3),上部加热区(1)包括后上加热区(6)、中上加热区(5)和前上加热区(4),前上加热区(4)固定在墙面的上部角落,中上加热区(5)设置在前上加热区(4)的一侧,中上加热区(5)另一侧设置有后上加热区(6),中部加热区(2)固定在墙面的中心且两侧分别设置有前中加热区(8)和后中加热区(7),下部加热区(3)包括后下加热区(9)、中下加热区(10)和前下加热区(11),中下加热区(8)固定在墙面的底部中心,中下加热区(8)两侧分别固定有后下加热区(9)和前下加热区(11)。2.根据权利要求1所述的一种扁形真空炉九路独立加热系统,其特征在于,装置上部加热区...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶祥,刘二强,
申请(专利权)人:上海三井真空设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。