The invention discloses a lifting type silicon wafer cleaning auxiliary device. The device comprises a box body and a lifting device inside the box. One side of the box is provided with a support for placing a silicon chip to carry a flower basket. The lifting device comprises a driving motor, a wire rod, a connecting rod, and a connecting sleeve. The driving motor is set in the box. On the bottom end of the body, the driving motor is rotated by the gear driving the silk rod, and there is a limit slot in the lower part of the silk rod, in which the limit slot is provided with a limit block that matches the limit slot, and a nut is provided on the silk rod, the inner thread of the nut is threaded with the silk rod. When the wire rod is driven by the motor drive, the nut rises or drops along the axial direction of the wire rod with the connecting sleeve and connecting rod, thus driving the silicon chip to carry the upper and lower movements of the flower basket, thus realizing the continuous movement of the silicon wafer in the cleaning tank, and improving the cleaning quality and cleaning efficiency of the silicon wafer.
【技术实现步骤摘要】
一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法
本专利技术属于硅片生产
，具体涉及一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法。
技术介绍
硅片在生产过程中，需要对硅片的表面进行清洗，现有的硅片清洗工艺普遍是将硅片放置在硅片承载花篮内采用清洗液进行浸泡清洗，或者通过流动水来冲洗承载花篮中的硅片，从而实现清洗液冲洗硅片的表面实现硅片的清洗。利用该工艺清洗时，因为硅片相对于硅片承载花篮几乎不产生运动，硅片承载花篮也不运动，单单依靠水流来冲洗硅片表面，清洗力度小，清洗速度慢，并且会致使硅片的表面清洗不均匀且很难清洗干净。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法，能够大大提高硅片的清洗效率和清洗效果。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种升降式硅片清洗辅助装置，该装置包括箱体，在所述箱体内部设有升降装置，在所述箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽...
【技术保护点】
1.一种升降式硅片清洗辅助装置，其特征在于，该装置包括箱体（1），在所述箱体（1）内部设有升降装置，在所述箱体（1）的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机（3）、丝杆（4）、连接杆（5）、连接套筒（6），所述驱动电机（3）设置在箱体（1）的底端面上，所述驱动电机（3）通过齿轮驱动丝杆（4）旋转，在所述丝杆（4）的下部设有限位槽（7），在所述限位槽（7）中设有与限位槽（7）相匹配的限位块（8），在所述丝杆（4）上设有螺母（9），所述螺母（9）的内螺纹与丝杆（4）之间螺纹连接，所述螺母（9）位于限位槽（7）的上方，所述螺母（9）与连接套筒（6）固定连接，...
【技术特征摘要】
1.一种升降式硅片清洗辅助装置，其特征在于，该装置包括箱体（1），在所述箱体（1）内部设有升降装置，在所述箱体（1）的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机（3）、丝杆（4）、连接杆（5）、连接套筒（6），所述驱动电机（3）设置在箱体（1）的底端面上，所述驱动电机（3）通过齿轮驱动丝杆（4）旋转，在所述丝杆（4）的下部设有限位槽（7），在所述限位槽（7）中设有与限位槽（7）相匹配的限位块（8），在所述丝杆（4）上设有螺母（9），所述螺母（9）的内螺纹与丝杆（4）之间螺纹连接，所述螺母（9）位于限位槽（7）的上方，所述螺母（9）与连接套筒（6）固定连接，所述连接杆（5）设置在连接套筒（6）内部，所述连接杆（5）与连接套筒（6）之间固定连接，在所述连接套筒（6）上设有延伸板（10），在所述延伸板（10）上设有滑块固定孔（11），在延伸板（10）上通过滑块固定孔（11）固定有滑块（12），所述滑块（12）与设置在箱体（1）内部的滑轨（2）相匹配；所述连接杆（5）的上端伸出箱体（1）的上端部与调整架（13）的一端相连，所述调整架（13）通过连接板（14）固定在连接杆（5）的顶端，所述调整架（13）的另一端设有连接轴（15），所述硅片承载花篮的支架包括连接板（16）和承载底板（17），在所述连接板（16）的背面设有固定套筒（18），固定套筒（18）套设并固定在连接轴（15）上，所述承载底板（17）上设有漏水孔（19）和凹槽，所述承载底板（17）上放置有硅片承载花篮（20），在所述硅片承载花篮（20）底部设有凸块，所述凸块和凹槽相互配合将硅片承载花篮（20）嵌设在承载底板（17）上。2.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置，其特征在于，所述限位槽（7）为环形限位槽、梯形限位槽或V型限位槽。3.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛林新，葛林五，陈景韶，李杰，丁高生，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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