The utility model relates to an automatic wafer detection system, which comprises a transmission device, an industrial camera, an image processing device, a controller and an alarm device. The wafer is transmitted to the detection position by the conveyor belt on the transmission device. The industrial camera takes pictures of the wafer surface and then transmits it to the image processing device. The image processing device compares the product standard parameters set in it to the image obtained by the industrial camera to determine whether the wafer is broken or not. The chip or the surface defect, and send out the judgment signal to the controller, after analysis, processing, and then the alarm device action instruction signal, remind the operator to disqualified wafer sorting processing. The wafer automatic detection system adopts pipeline continuous detection mode, which has the advantages of high detection efficiency and high accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动检测系统
本技术涉及晶圆加工
,尤其涉及一种晶圆自动检测系统。
技术介绍
在晶圆制造领域中,晶棒通过割刀分隔成多个片状晶圆,目前,基本依靠人工对晶圆表面情况进行目视检测,自动化程度低,劳动强度大,检测效率低且时有错检、漏检情况发生。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种结构简单,流水线连续检测,检测效率高,且确保检测准确的晶圆自动检测系统。为了解决上述技术问题,本技术涉及了一种晶圆自动检测系统,包括:传送装置,通过其上设置的传送带进行晶圆传送;工业相机,其设置于传输装置的正上方,用于采集晶圆影像信息;图像处理装置,用于根据对设于其内的产品标准参数和工业相机所取得图像进行对比,来判断晶圆是否合格,并发出判断信号;控制器,其实时接收图像处理装置得到的判断信号,并经过分析、处理后发生相应动作指令信号;报警装置,其与控制器相连,并根据所接收的上述动作指令信号发出警报。通过传送装置上的传送带将晶圆传送至检测位置,工业相机对晶圆表面进行拍照取像,而后将其传送至图像处理装置,该图像处理装置根据设置于其内的产品标准参数和工业相机所取得的图像进行对比,来判断该晶圆是否破片或具有表面缺陷,并发出判断信号。控制器实时接收上述判断信号,并经过分析、处理,而后对报警装置发生动作指令信号,提醒操作人员对不合格晶圆进行分拣处理。该晶圆自动检测系统采用流水线连续检测模式,具有检测效率高、准确性高的优点。作为本技术的进一步改进,该晶圆自动检测系统还包括与控制器相连的标识装置。当图像处理装置对该晶圆作出不合格的判定后,及时地对其进行标记,以防止由于工作人员 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆自动检测系统,其特征在于,包括:传送装置,通过其上设置的传送带进行晶圆传送;工业相机,其设置于所述传送装置的正上方,用于采集晶圆影像信息;图像处理装置,用于根据对设于其内的产品标准参数和所述工业相机所取得图像进行对比,来判断晶圆是否合格,并发出判断信号;控制器,其实时接收所述图像处理装置得到的判断信号,并经过分析、处理后发生相应动作指令信号;报警装置,其与上述控制器相连,并根据所接收的上述动作指令信号发出警报;还包括与所述控制器相连的标识装置;所述标识装置包括有喷墨单元;所述传送装置其上设置有用于承载、运送所述晶圆的传送带,其通过位于两端的传动轮进行驱动。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动检测系统,其特征在于,包括:传送装置,通过其上设置的传送带进行晶圆传送;工业相机,其设置于所述传送装置的正上方,用于采集晶圆影像信息;图像处理装置,用于根据对设于其内的产品标准参数和所述工业相机所取得图像进行对比,来判断晶圆是否合格,并发出判断信号;控制器,其实时接收所述图像处理装置得到的判断信号,并经过分析、处理后发生相应动作指令信号;报警装置,其与上述控制器相连,并根据所接收的上述动作指令信号发出警报;还包括与所述控制器相连的标识装置;所述标识装置包括有喷墨单元;所述传送装置其上设置有用于承载、运送所述晶圆的传送带,其通过位于两端的传动轮进行驱动。2....
【专利技术属性】
技术研发人员:黄雷,
申请(专利权)人:昆山成功环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。