晶圆电镀挂具锁紧机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆电镀挂具锁紧机构，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。本申请操作方便，能够在提高生产加工效率的同时，提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
晶圆电镀挂具锁紧机构


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，特别是涉及一种晶圆电镀挂具锁紧机构。

技术介绍

[0002]晶圆产品电镀设备中，晶圆是通过挂具投放在电镀槽液体内，进行电镀工艺的操作。晶圆每次只电镀一面，另一面需要被密封保护，目前是通过背板及相配的平面密封O型圈密封；传统的密封背板锁紧结构是用圆周均布的螺栓拧紧来对密封圈压缩实现密封，但这一锁紧结构存在诸多缺点，一是螺栓拆装频繁，螺纹副磨损严重并产生金属磨粒对电解液及产品造成污染；二是螺栓一般有10个，人工每次拆装费时费力，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]本技术目的是要提供一种晶圆电镀挂具锁紧机构，其操作方便，能够在提高生产加工效率的同时，提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响。
[0004]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]本技术提供了一种晶圆电镀挂具锁紧机构，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆电镀挂具锁紧机构，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，其特征在于，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄雷，
申请(专利权)人：昆山成功环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：