The utility model discloses an air sampling joint for liquid chlorosilane, which includes a sample outlet pipe, a protective casing, a purge tube, a control valve on the blows. The inlet end of the sample outlet tube is provided with a sampling interface. The sample outlet is set in the protective sleeve, and the end of the protective sleeve is sealed with the outer wall of the sample outlet tube. The other end of the protective casing is provided with a protective cover; the tube wall of the sample outlet pipe is connected with the blows, and one end of the purge pipe is sealed and connected with the tube wall of the sample outlet pipe, and the other end of the purge pipe is equipped with a gas source joint. The utility model, on the one hand, reduces the pollution of the external environment to the sample in the air sampling, on the other hand, avoids the frequent clogging of the stainless steel sampling mouth in the air. At the same time, the corrosion of stainless steel pipe orifice and the contamination caused by corrosion of tube orifice were avoided.
【技术实现步骤摘要】
液体氯硅烷对空取样接头
:本技术涉及一种液体氯硅烷对空取样接头,属于多晶硅生产设备领域。
技术介绍
:氯硅烷是多晶硅生产领域中主要的中间过程化工物料,主要包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅,在常温下常压下呈现液体状态。在多晶硅生产的工艺流程中,这些氯硅烷的中间物质的组分含量、杂质含量直接关系着多晶硅的生产成本和质量因素。因此各个工艺环节中氯硅烷过程的监测分析十分重要,取样分析也是普遍频繁的。目前在国内多晶硅生产企业主要采用人工现场佩戴防护面罩和面具,打开取样管上的取样口,在空气中用取样瓶对空取样,再进行实验室内仪器分析。取样后在取样口往往有液体氯硅烷残留,由于氯硅烷具有很强的水解性和腐蚀性,在进行频繁地对空取样时,裸露在外部的取样口经常发生堵塞,和外表面逐渐腐蚀,给现场氯硅烷取样工作带来了一定的难度。操作人员在清理堵塞的孔口、进行对空取样时也存在一定的安全风险,受到腐蚀的取样口也会严重地影响着氯硅烷杂质分析的准确性。
技术实现思路
:为解决上述技术问题,本技术的目的在于提供一种液体氯硅烷对空取样接头。本技术由如下技术方案实施:液体氯硅烷对空取样接头,其包括样品出口管、保护套管、吹扫管,所述吹扫管上设有控制阀,所述样品出口管的进口端设有取样接口,所述样品出口管的出口端套设在所述保护套管内,所述保护套管的一端与所述样品出口管的外壁密封连接,所述保护套管的另一端活动设有保护盖;所述样品出口管的管壁与所述吹扫管连通,所述吹扫管的一端与所述样品出口管的管壁密封连通,所述吹扫管的另一端设有气源接头。进一步的,所述取样接口为与生产装置现场取样管线外螺纹相匹配的内螺纹接口。进一步 ...
【技术保护点】
1.液体氯硅烷对空取样接头,其特征在于,其包括样品出口管、保护套管、吹扫管,所述吹扫管上设有控制阀,所述样品出口管的进口端设有取样接口,所述样品出口管的出口端套设在所述保护套管内,所述保护套管的一端与所述样品出口管的外壁密封连接,所述保护套管的另一端活动设有保护盖;所述样品出口管的管壁与所述吹扫管连通,所述吹扫管的一端与所述样品出口管的管壁密封连通,所述吹扫管的另一端设有气源接头。
【技术特征摘要】
1.液体氯硅烷对空取样接头,其特征在于,其包括样品出口管、保护套管、吹扫管,所述吹扫管上设有控制阀,所述样品出口管的进口端设有取样接口,所述样品出口管的出口端套设在所述保护套管内,所述保护套管的一端与所述样品出口管的外壁密封连接,所述保护套管的另一端活动设有保护盖;所述样品出口管的管壁与所述吹扫管连通,所述吹扫管的一端与所述样品出口管的管壁密封连通,所述吹扫管的另一端设有气源接头。2.根据权利要求1所述的液体氯硅烷对空取样接头,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺珍俊,李辉,曹忠,赫兰英,杨媛丽,
申请(专利权)人:内蒙古神舟硅业有限责任公司,
类型:新型
国别省市:内蒙古,15
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