适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过。本发明专利技术能够有效地阻止粉尘微粒的扩散，降低了激光通过光学镜片时的损耗。

An antifouling device suitable for pulsed laser deposition and its pulsed laser coating device

The invention provides an antifouling device for pulsed laser coating and a pulse laser coating device, including an optical path system (2), which includes a baffle system (213), a baffle system (213) including a multi-layer baffle (2131), a gear (2132), a baffle (2131) with a light hole (21311), and a multilayer baffle (2131) in a block (2132). The interior is sequentially arranged along the axis; the edge of the baffle (2131) is connected with the inner wall of the retaining wall (2132); the light holes (21311) of the multi-layer baffle (2131) are arranged in a coaxial or different axis, and a straight line is formed to allow a beam propagating along a straight line to pass through. The invention can effectively prevent the dispersion of dust particles and reduce the loss of laser through optical lenses.

【技术实现步骤摘要】
适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置
本专利技术涉及超导材料
，更具体地，涉及适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置，尤其是涉及一种第二代高温超导带材超导层的适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置。
技术介绍
1911年荷兰莱顿大学的卡末林·昂纳斯教授在实验室首次发现超导现象以来，超导材料及其应用一直是当代科学技术最活跃的前沿研究领域之一。在过去的十几年间，以超导为主的超导电力设备的研究飞速发展，在超导储能、超导电机、超导电缆、超导限流器、超导变压器、超导磁悬浮、核磁共振等领域取得显著成果。相对于低温超导材料而言，高温超导材料的冷却媒介由成本较高的液氦变为了成本较低的液氮，因此在高温超导材料发现之后，人们就致力于实现高温超导电性的应用。目前进入商业化的高温超导带材分为铋系和钇系。铋系超导体即第一代超导材料，也称BSCCO超导体；钇系超导体即第二代超导材料，也称YBCO或ReBCO超导体。以BSCCO为材料的第一代超导带材，采用银包套生产工艺，具有较高的超导转变温度(Tc～110K)。特别是其层状的晶体结构导致的片状晶体很容易在应力的作用下沿铜－氧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过。

【技术特征摘要】
1.一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过。2.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，所述光路系统(2)包括设置于镀膜腔体(3)内的挡片罩(281)；所述挡片罩(281)内设置有吸脏玻璃(27)；在脉冲激光光束(21)的光路上，脉冲激光光束(21)先经过吸脏玻璃(27)，然后经过挡板系统(213)。3.根据权利要求2所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，挡片罩(281)开设有入光口、出光口；脉冲激光光束(21)被引入镀膜腔体(3)内后依次经过入光口、吸脏玻璃(27)、出光口打向靶材(341)。4.根据权利要求2所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，吸脏玻璃(27)暴露于入光口、出光口的区域构成接收脉冲激光光束(21)通过的光束通过区域，吸脏玻璃(27)能够相对挡片罩(281)平动和/或转动，使得所述光束通过区域在吸脏玻璃(27)的不同区域之间切换；吸脏玻璃(27)除光束通过区域之外的区域通过挡片罩(281)的罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，朱佳敏，陈思侃，常同旭，
申请(专利权)人：上海超导科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31