下载适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置的技术资料

文档序号:18441442

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本发明提供一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置,包括光路系统(2);所述光路系统(2)包括挡板系统(213);挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132);挡板(2131)设置有通光孔(21311);多层挡板...
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