蒸镀装置制造方法及图纸

一种蒸镀装置，用于将有机材料蒸镀到基板上，所述蒸镀装置包括真空腔室，设置在所述真空腔室内的材料槽、掩膜板和加热结构；所述材料槽与所述掩膜板之间形成有扁平的蒸发腔，所述有机材料设置在所述蒸发腔内，所述加热结构套设在所述材料槽的外侧以使所述蒸发腔内形成一致温度将所述有机材料垂直蒸镀到所述基板上。本发明专利技术的蒸镀装置可用于蒸镀大尺寸基板，其蒸镀材料垂直蒸镀到基板上，没有蒸发角的影响，有效防止了阴影现象。

Evaporation device

An evaporation device is used to steam an organic material onto a substrate. The evaporation device includes a vacuum chamber, a material slot, a mask plate and a heating structure in the true cavity chamber; a flat evaporation chamber is formed between the material groove and the mask plate, and the organic material is arranged in the evaporation chamber, and the evaporation chamber is arranged in the evaporation chamber. The heating structure is sleeved on the outer side of the material groove so as to form a uniform temperature in the evaporation chamber and vertically evaporate the organic material onto the substrate. The steam plating device of the invention can be used to steam plating large size substrate, and the steamed material is vertically evaporated to the substrate without the influence of evaporation angle, effectively preventing the shadow phenomenon.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本专利技术涉及一种蒸镀装置，属于显示产品周边蒸镀设备

技术介绍
OLED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，OELD)。OLED显示技术与传统的LCD显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基层，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能。OLED由N×M(N和M均为自然数)个发光象素单元按照矩阵结构排列组合而成，对于彩色OLED每个发光象素单元又包括红色子象素单元、绿色子象素单元和蓝色子象素单元。OLED的根据驱动方式分为主动式驱动(有源驱动)OLED(AMOLED)和被动式驱动(无源驱动)OLED(PMOLED)。无论是AMOLED和PMOLED，其有机发光材料层一般都通过对有机材料进行真空蒸发镀膜形成，为了在基板上形成显示面板的各种细节构造，一般采用掩膜板来控制有机材料在基板上的镀膜位置，由于OLED需要R/G/B子像素单元分别显示才能完美地显示现实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置(100)，用于将有机材料(200)蒸镀到基板(300)上，其特征在于，所述蒸镀装置(100)包括真空腔室(101)，设置在所述真空腔室(101)内的材料槽(110)、掩膜板(120)和加热结构(130)；所述材料槽(110)与所述掩膜板(120)之间形成有扁平的蒸发腔(140)，所述有机材料(200)设置在所述蒸发腔(140)内，所述加热结构(130)套设在所述材料槽(110)的外侧以使所述蒸发腔(140)内形成一致温度将所述有机材料(200)垂直蒸镀到所述基板(300)上。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置(100)，用于将有机材料(200)蒸镀到基板(300)上，其特征在于，所述蒸镀装置(100)包括真空腔室(101)，设置在所述真空腔室(101)内的材料槽(110)、掩膜板(120)和加热结构(130)；所述材料槽(110)与所述掩膜板(120)之间形成有扁平的蒸发腔(140)，所述有机材料(200)设置在所述蒸发腔(140)内，所述加热结构(130)套设在所述材料槽(110)的外侧以使所述蒸发腔(140)内形成一致温度将所述有机材料(200)垂直蒸镀到所述基板(300)上。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述材料槽(110)包括槽底(111)和侧壁(112)，所述侧壁(112)由所述槽底(111)的边缘向垂直于所述槽底(111)的方向向外延伸形成容置槽。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热结构(130)包括加热底板(131)和加热侧板(132)，所述加热底板(131)设置在所述材料槽(110)的槽底(111)远离所述掩膜板(120)的外侧表面，所述加热侧板(132)设置在所述材料槽(110)的侧壁(112)的外侧。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜板(120)包括掩膜基板(121)和边框(122)，所述边框(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘周英，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32