工件载台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种工件载台，该工件载台包括：载台本体；升降装置，可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在升降装置上，且位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。通过本实用新型专利技术提供的技术方案，能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
工件载台
本技术涉及除静电
，具体而言，涉及一种工件载台。
技术介绍
目前，USC清洗设备离子消除棒在去除静电时存在很多的不足，不能达到有效去除静电的效果。现有技术中的离子消除棒位置角度固定，其设置在玻璃板的上方，且位于玻璃板离开载台本体的一侧，在通过该离子消除棒进行除静电时，只能去除玻璃板上表面的静电，而无法去除玻璃板下表面的静电，使得玻璃板的下表面依然带电。因此通过现有装置无法对玻璃板的下表面进行除静电操作。
技术实现思路
本技术提供一种工件载台，以解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。本技术提供了一种工件载台，工件载台包括：载台本体；升降装置，可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在升降装置上，且位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。进一步地，第一除静电装置包括多个离子棒单元，多个离子棒单元均匀设置在升降装置上。进一步地，升降装置的顶端用于放置待除静电工件，每个离子棒单元距离升降装置顶端的距离均相同。进一步地，离子棒单元距离升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内。进一步地，升降装置包括多个升降顶针，多个升降顶针可升降地设置在载台本体上，至少部分升降顶针上设置有离子棒单元。进一步地，每个升降顶针上对应设置有一个离子棒单元。进一步地，载台本体上设置有多个通孔，多个升降顶针一一对应地穿设在多个通孔内。进一步地，第一除静电装置还包括控制装置，控制装置分别与多个离子棒单元相连接，控制装置用于控制多个离子棒单元工作。进一步地，每个离子棒单元的供气压力范围为0.1Mpa-0.8Mpa。进一步地，工件载台还包括第二除静电装置，第二除静电装置设置在载台本体的上方，待除静电工件位于第二除静电装置与升降装置之间。应用本技术的技术方案，该工件载台包括载台本体、升降装置和第一除静电装置。升降装置可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件。第一除静电装置固定设置在升降装置上，且第一除静电装置位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。采用本技术提供的工件载台，将待除静电工件放置于升降装置上，位于升降装置上的第一除静电装置便可去持续除该待除静电工件底面的静电，如此能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题，使该工件载台达到更好地除静电效果。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了本技术提供的工件载台的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、载台本体；20、升降顶针；30、离子棒单元；40、第二除静电装置；50、机械手。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术实施例提供一种工件载台。该工件载台包括载台本体10、升降装置和第一除静电装置。其中，升降装置可升降地设置在载台本体10上，升降装置用于升降待除静电工件。第一除静电装置，固定设置在升降装置上，且位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。使用本实施例中的工件载台，将待除静电工件放置于升降装置上，位于升降装置上的第一除静电装置便开始去除该待除静电工件底面的静电，该工件载台能够持续对该待除静电工件去除静电。同时，由于第一除静电装置固定设置在升降装置上，使得第一除静电装置与待除静电工件之间的距离值始终保持一致，能达到均一的除静电效果。因此，采用本实施例中的工件载台可以解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题，同时使用该工件载台可以达到更好、更均匀的除静电效果。由于该装置对待除静电工件进行持续去除静电，使得在该待除静电工件与载台本体10分离时，该待除静电工件上残留的静电较少，因而也不会存在较大的粘着力，减少了粘片和静电击伤现象的发生。具体地，第一除静电装置包括多个离子棒单元30，多个离子棒单元30均匀设置在升降装置上，采用这样的设置是为了更好地去除该待除静电工件底面的静电。当待除静电工件放置于升降装置上时，由于多个离子棒单元30均匀设置在升降装置上，使得该待除静电工件上的静电能被有效去除，以达到更好地除静电效果。在本实施例中，待除静电工件放置于升降装置的顶端，这样升降装置在升降时将带动待除静电工件的升降。为了保证均一的除静电效果，使每个离子棒单元30距离升降装置顶端的距离均相同。同时，由于每个离子棒单元30均固定设置在升降装置上，在升降装置的升降过程中，可以始终使每个离子棒单元30与待除静电工件在垂直方向的距离保持一致。具体地，离子棒单元30距离升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内，如此以达到更好的静电去除效果。在本实施例中，升降装置包括多个升降顶针20，多个升降顶针20可升降地设置在载台本体10上，以实现对待除静电工件的升降。同时，为了消除待除静电工件的静电，升降装置中至少部分升降顶针20上设置有离子棒单元30。具体地，每个升降顶针20上对应设置有一个离子棒单元30，如此以达到均一的除静电效果。在本实施例中，为了便于升降顶针20顺利的完成升降过程，在载台本体10上设置有多个通孔，多个升降顶针20一一对应地穿设在多个通孔内，使升降顶针20在升降过程中沿通孔伸出或缩回。具体地，第一除静电装置还包括控制装置，控制装置分别与多个离子棒单元30相连接，控制装置用于控制多个离子棒单元30工作。在本实施例中，该控制装置可以控制所有的离子棒单元30的供气压力，以达到均一的除静电效果，并且便于操作人员进行控制。经过反复试验验证，当每个离子棒单元30的供气压力范围在0.1Mpa-0.8Mpa时，该工件载台的除静电效果更好。操作人员可以根据实际的工作情况，调节每个离子棒单元30的最佳供气压力，如此可以达到快速且有效消除静电的效果。为了去除待除静电工件表面的静电，在本实施例中，工件载台还包括第二除静电装置40。该第二除静电装置40设置在载台本体10的上方，待除静电工件位于第二除静电装置40与升降装置之间。第二除静电装置40可放置于该工件载台的一侧，也可放置在工件载台的两侧。本实施例中的第二除静电装置40为整支横列式的离子棒。通过第二除静电装置40去除工件上表面的静电，通过第一除静电装置去除工件下表面的静电，如此可避免待除静电工件上的某些部分静电去除效果较好，而剩下部分仍残留有大量的静电的现象，提高了工件载台的除静电效果。在本实施例中，工件载台还包括机械手50。机械手50设置在工件载台的两侧，该机械手50用于搬运待除静电工件。为了保证机械手50能顺利搬运待除静电工件，机械手50的机械臂应与本实施例中的升降顶针20错位设置。具体地，先本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件载台，其特征在于，所述工件载台包括：载台本体(10)；升降装置，可升降地设置在所述载台本体(10)上，所述升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在所述升降装置上，且位于所述待除静电工件的下方，所述第一除静电装置用于去除所述待除静电工件上的静电。

【技术特征摘要】
1.一种工件载台，其特征在于，所述工件载台包括：载台本体(10)；升降装置，可升降地设置在所述载台本体(10)上，所述升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在所述升降装置上，且位于所述待除静电工件的下方，所述第一除静电装置用于去除所述待除静电工件上的静电。2.根据权利要求1所述的工件载台，其特征在于，所述第一除静电装置包括多个离子棒单元(30)，多个所述离子棒单元(30)均匀设置在所述升降装置上。3.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，所述升降装置的顶端用于放置所述待除静电工件，每个所述离子棒单元(30)距离所述升降装置顶端的距离均相同。4.根据权利要求3所述的工件载台，其特征在于，所述离子棒单元(30)距离所述升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内。5.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，所述升降装置包括多个升降顶针(20)，多个升降顶针(20)可升降地设置在所述载台本体(10)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：金忠盛，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32