下载工件载台的技术资料

文档序号:18288555

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本实用新型提供了一种工件载台,该工件载台包括:载台本体;升降装置,可升降地设置在载台本体上,升降装置用于升降待除静电工件;第一除静电装置,固定设置在升降装置上,且位于待除静电工件的下方,第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。通过本实用...
该专利属于张家港康得新光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港康得新光电材料有限公司授权不得商用。

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